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基于波像差检测的大口径RC光学系统装调分析
被引量:
4
1
作者
段学霆
周仁魁
+2 位作者
陈建军
付兴
李华
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期36-38,共3页
通过对520mm口径RC系统进行面形波像差检测,并将其主、次镜各光学零件实际面形的干涉检测结果输入Code V软件进行了系统成像质量的波像差分析.分析结果与实际系统装调完成后的系统成像质量波像差检测结果对比,具有高度的一致性,说明在...
通过对520mm口径RC系统进行面形波像差检测,并将其主、次镜各光学零件实际面形的干涉检测结果输入Code V软件进行了系统成像质量的波像差分析.分析结果与实际系统装调完成后的系统成像质量波像差检测结果对比,具有高度的一致性,说明在计算机辅助装调工艺中应用该仿真工具仿真度高,可以用于实际光学装调的仿真分析、指导光学装调.
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关键词
光学装调
计算机辅助装调
CODE
v软件
波像差检测
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职称材料
基于哈特曼波前探测的显微物镜像差检测方法研究
2
作者
布一帆
邹有云
+3 位作者
杜文杰
邓杰
葛鑫磊
马剑强
《光电工程》
北大核心
2025年第7期123-132,共10页
显微物镜的光学性能决定显微成像质量,这对波前像差检测具有重要意义。因此,提出一种基于哈特曼波前传感器的显微物镜像差检测方法。该方法可利用双球面法标定系统误差,实现显微物镜像差的检测。建立仿真模型并模拟分析,结果表明,该方...
显微物镜的光学性能决定显微成像质量,这对波前像差检测具有重要意义。因此,提出一种基于哈特曼波前传感器的显微物镜像差检测方法。该方法可利用双球面法标定系统误差,实现显微物镜像差的检测。建立仿真模型并模拟分析,结果表明,该方法测量的显微物镜像差与实际像差近似相等,验证了该方法的有效性。搭建实验装置并对显微物镜进行像差检测,结果表明,物镜的均方根值(RMS)检测精度≤10 nm,重复性精度<0.3 nm,验证了该方法的可行性,为中低倍数显微物镜波前像差检测提供了一种检测方法。
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关键词
波
前
像差
检测
哈特曼
波
前传感器
绝对
检测
技术
显微物镜
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职称材料
基于矢量波像差理论的两反光学系统装调研究
被引量:
5
3
作者
史广维
张新
+2 位作者
张鹰
伍雁雄
张继真
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期540-544,共5页
为了实现对两反光学系统的精密装调,提出一种基于矢量波像差理论和波像差检测技术对失调量精确求解的装调方法。使用矢量波像差理论,将已设计的两反光学系统参数、失调量和失调光学系统的波像差之间建立方程;然后通过干涉测量法得到某...
为了实现对两反光学系统的精密装调,提出一种基于矢量波像差理论和波像差检测技术对失调量精确求解的装调方法。使用矢量波像差理论,将已设计的两反光学系统参数、失调量和失调光学系统的波像差之间建立方程;然后通过干涉测量法得到某一个视场的干涉图,利用条纹分析软件得到表征失调系统三阶彗差和三阶像散的泽尼克项系数,将泽尼克项系数代入方程从而求解出失调量。运用此方法对4 m口径RITCHEY-CHRTIEN结构的天文望远镜进行模拟装调,最终求解的失调量与引入的失调量结果相互吻合,说明该装调方法正确。
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关键词
光学装调
矢量
波像
差
理论
波像差检测
两反射光学系统
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职称材料
大口径望远镜波像差的外场检验方法
被引量:
3
4
作者
李宏壮
王志臣
+2 位作者
王富国
张振铎
刘欣悦
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期39-42,共4页
为在外场环境下对大口径望远镜进行系统波像差的检验,研制了一套具有高探测能力的Shack-Hartmann波前传感器.利用恒星作为光源,对口径1m、焦距11m的大口径望远镜进行了波像差检验实验,测量结果为系统波像差在0.39λ~0.46λRMS之间,且...
为在外场环境下对大口径望远镜进行系统波像差的检验,研制了一套具有高探测能力的Shack-Hartmann波前传感器.利用恒星作为光源,对口径1m、焦距11m的大口径望远镜进行了波像差检验实验,测量结果为系统波像差在0.39λ~0.46λRMS之间,且随着俯仰角的增加而增大,主要像差形式为3阶0°像散,与星点检验的结果一致.
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关键词
大口径望远镜
波像差检测
Shack-Hartmann传感器
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职称材料
波像差的梯度偏离值评价方法(英文)
5
作者
宋淑梅
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期64-69,共6页
针对成像光学系统的波像差检测,提出波像差梯度偏离值评价方法,用于表征波前的成像性能.定义波像差梯度偏离值为波前成像点与成像能量中心的偏离值,相对波像差梯度偏离值为波像差梯度偏离值与艾里斑大小的比值.相对波像差梯度偏离值与...
针对成像光学系统的波像差检测,提出波像差梯度偏离值评价方法,用于表征波前的成像性能.定义波像差梯度偏离值为波前成像点与成像能量中心的偏离值,相对波像差梯度偏离值为波像差梯度偏离值与艾里斑大小的比值.相对波像差梯度偏离值与波前口径、形状、焦距均无关,其与波像差梯度偏离值均可以用成像尺寸、成像集中度以及成像能量分布等方式进行评价.大量的波像差实际检测结果表明,成像集中度和成像能量分布在不同的检测分辨率条件下的稳定性较好,分辨率每相差一倍产生的差异通常小于10%.中频误差含量不同的两个球面和非球面波像差的实例比较结果表明波像差梯度偏离值可以很好地评价波像差的空间频率分布特征.根据出瞳位置的波像差梯度偏离值分布和像面位置的波像差梯度分布情况,可以方便地指导光学加工和系统装调.该方法可以用于制定波像差指标,进行波前质量控制.
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关键词
光学工程
光学
检测
波像差检测
波像
差
梯度
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职称材料
Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用
被引量:
5
6
作者
李宏壮
王志臣
+3 位作者
刘欣悦
卫沛峰
明名
孟浩然
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期134-138,共5页
介绍用于光学检测的Shack-Hartmann(S-H)波前传感器,以及相应的检测实验结果。在实验室内,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出传感器的测量精度优于λ/50RMS(λ=632.8nm)。在外场利用星光作为光源,对口径1m、焦距11m的望远镜进行了系...
介绍用于光学检测的Shack-Hartmann(S-H)波前传感器,以及相应的检测实验结果。在实验室内,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出传感器的测量精度优于λ/50RMS(λ=632.8nm)。在外场利用星光作为光源,对口径1m、焦距11m的望远镜进行了系统波像差检验,测量结果为0.39λ~0.46λRMS之间,并随着俯仰角的增加而增大,主要像差形式为三阶像散。
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关键词
Shack-Hartmann
波
前传感器
面形
检测
波像差检测
光学检验
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职称材料
题名
基于波像差检测的大口径RC光学系统装调分析
被引量:
4
1
作者
段学霆
周仁魁
陈建军
付兴
李华
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
中国科学院研究生院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期36-38,共3页
文摘
通过对520mm口径RC系统进行面形波像差检测,并将其主、次镜各光学零件实际面形的干涉检测结果输入Code V软件进行了系统成像质量的波像差分析.分析结果与实际系统装调完成后的系统成像质量波像差检测结果对比,具有高度的一致性,说明在计算机辅助装调工艺中应用该仿真工具仿真度高,可以用于实际光学装调的仿真分析、指导光学装调.
关键词
光学装调
计算机辅助装调
CODE
v软件
波像差检测
Keywords
Optical alignment
Computer aided alignment
CODE V software
Wavefront aberration testing
分类号
V556.5 [航空宇航科学与技术—人机与环境工程]
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于哈特曼波前探测的显微物镜像差检测方法研究
2
作者
布一帆
邹有云
杜文杰
邓杰
葛鑫磊
马剑强
机构
宁波大学机械工程与力学学院
出处
《光电工程》
北大核心
2025年第7期123-132,共10页
基金
国家自然科学基金(5247051023,U23A20618)。
文摘
显微物镜的光学性能决定显微成像质量,这对波前像差检测具有重要意义。因此,提出一种基于哈特曼波前传感器的显微物镜像差检测方法。该方法可利用双球面法标定系统误差,实现显微物镜像差的检测。建立仿真模型并模拟分析,结果表明,该方法测量的显微物镜像差与实际像差近似相等,验证了该方法的有效性。搭建实验装置并对显微物镜进行像差检测,结果表明,物镜的均方根值(RMS)检测精度≤10 nm,重复性精度<0.3 nm,验证了该方法的可行性,为中低倍数显微物镜波前像差检测提供了一种检测方法。
关键词
波
前
像差
检测
哈特曼
波
前传感器
绝对
检测
技术
显微物镜
Keywords
wavefront aberration detection
Hartmann wavefront sensor
absolute detection technique
microscope objective lens
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于矢量波像差理论的两反光学系统装调研究
被引量:
5
3
作者
史广维
张新
张鹰
伍雁雄
张继真
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期540-544,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61007009)
文摘
为了实现对两反光学系统的精密装调,提出一种基于矢量波像差理论和波像差检测技术对失调量精确求解的装调方法。使用矢量波像差理论,将已设计的两反光学系统参数、失调量和失调光学系统的波像差之间建立方程;然后通过干涉测量法得到某一个视场的干涉图,利用条纹分析软件得到表征失调系统三阶彗差和三阶像散的泽尼克项系数,将泽尼克项系数代入方程从而求解出失调量。运用此方法对4 m口径RITCHEY-CHRTIEN结构的天文望远镜进行模拟装调,最终求解的失调量与引入的失调量结果相互吻合,说明该装调方法正确。
关键词
光学装调
矢量
波像
差
理论
波像差检测
两反射光学系统
Keywords
optical assembly and tuning
vector wavefront aberration theory
vavefront aberration measurement
two-mirror optical system
分类号
TN206 [电子电信—物理电子学]
O435.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
大口径望远镜波像差的外场检验方法
被引量:
3
4
作者
李宏壮
王志臣
王富国
张振铎
刘欣悦
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期39-42,共4页
文摘
为在外场环境下对大口径望远镜进行系统波像差的检验,研制了一套具有高探测能力的Shack-Hartmann波前传感器.利用恒星作为光源,对口径1m、焦距11m的大口径望远镜进行了波像差检验实验,测量结果为系统波像差在0.39λ~0.46λRMS之间,且随着俯仰角的增加而增大,主要像差形式为3阶0°像散,与星点检验的结果一致.
关键词
大口径望远镜
波像差检测
Shack-Hartmann传感器
Keywords
Large aperture telescope
Wavefront error test
Shack-Hartmann wavefront sensor
分类号
TH751 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
波像差的梯度偏离值评价方法(英文)
5
作者
宋淑梅
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期64-69,共6页
基金
The Third Phase of Knowledge Innovation Project of CAS(No.XXX)
文摘
针对成像光学系统的波像差检测,提出波像差梯度偏离值评价方法,用于表征波前的成像性能.定义波像差梯度偏离值为波前成像点与成像能量中心的偏离值,相对波像差梯度偏离值为波像差梯度偏离值与艾里斑大小的比值.相对波像差梯度偏离值与波前口径、形状、焦距均无关,其与波像差梯度偏离值均可以用成像尺寸、成像集中度以及成像能量分布等方式进行评价.大量的波像差实际检测结果表明,成像集中度和成像能量分布在不同的检测分辨率条件下的稳定性较好,分辨率每相差一倍产生的差异通常小于10%.中频误差含量不同的两个球面和非球面波像差的实例比较结果表明波像差梯度偏离值可以很好地评价波像差的空间频率分布特征.根据出瞳位置的波像差梯度偏离值分布和像面位置的波像差梯度分布情况,可以方便地指导光学加工和系统装调.该方法可以用于制定波像差指标,进行波前质量控制.
关键词
光学工程
光学
检测
波像差检测
波像
差
梯度
Keywords
Optical engineering
Optical testing
Wavefront testing
Wavefront gradient
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用
被引量:
5
6
作者
李宏壮
王志臣
刘欣悦
卫沛峰
明名
孟浩然
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期134-138,共5页
文摘
介绍用于光学检测的Shack-Hartmann(S-H)波前传感器,以及相应的检测实验结果。在实验室内,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出传感器的测量精度优于λ/50RMS(λ=632.8nm)。在外场利用星光作为光源,对口径1m、焦距11m的望远镜进行了系统波像差检验,测量结果为0.39λ~0.46λRMS之间,并随着俯仰角的增加而增大,主要像差形式为三阶像散。
关键词
Shack-Hartmann
波
前传感器
面形
检测
波像差检测
光学检验
Keywords
Shack-Hartmann wavefront sensor, surface error test, wavefront error test, optical test
分类号
TN206 [电子电信—物理电子学]
TH751 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于波像差检测的大口径RC光学系统装调分析
段学霆
周仁魁
陈建军
付兴
李华
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
4
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职称材料
2
基于哈特曼波前探测的显微物镜像差检测方法研究
布一帆
邹有云
杜文杰
邓杰
葛鑫磊
马剑强
《光电工程》
北大核心
2025
0
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职称材料
3
基于矢量波像差理论的两反光学系统装调研究
史广维
张新
张鹰
伍雁雄
张继真
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
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职称材料
4
大口径望远镜波像差的外场检验方法
李宏壮
王志臣
王富国
张振铎
刘欣悦
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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职称材料
5
波像差的梯度偏离值评价方法(英文)
宋淑梅
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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职称材料
6
Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用
李宏壮
王志臣
刘欣悦
卫沛峰
明名
孟浩然
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2012
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