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利用部分补偿透镜进行非球面面形测量 被引量:10
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作者 刘惠兰 郝群 +1 位作者 朱秋东 沙定国 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期625-628,共4页
提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补偿透镜的非球面度补偿范围,证明用简单且易于制造的部分补偿透... 提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补偿透镜的非球面度补偿范围,证明用简单且易于制造的部分补偿透镜补偿不同相对孔径和非球面度的非球面.测量精度可达到λ/10. 展开更多
关键词 部分补偿透镜 非球面测量 法线像差 干涉术
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非球面干涉仪零检验的补偿器设计 被引量:10
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作者 伍凡 《应用光学》 CAS CSCD 1997年第2期10-13,共4页
根据三级像差理论推导非球面干涉仪零检验的单透镜补偿器在几种检验光路中的初始结构参数计算公式。讨论最佳化设计方法,并给出设计实例。
关键词 法线像差 零检验 补偿器 干涉仪 非球面
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