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题名一种二维光栅结构衍射场计算中的快速收敛方案
被引量：1
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作者
邓浩
陈树强
全军
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机构
电子科技大学物理电子学院
岭南师范学院物理科学与技术学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期79-86,共8页
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基金
国家自然科学基金(No.11304276)
广东省自然科学基金(No.408224939030)资助
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文摘
基于Lalanne经验法与Gtz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,给出了傅里叶模态层吸收法的一个快速收敛方案.通过求解解析边界轮廓函数的梯度矢量,简化了Gtz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,使其单波长点计算时间降低两个量级.通过距离反比权重法构造4个典型方向的法向矢量场,降低了法向矢量法在傅里叶因式分解过程中的不确定性.根据这4个典型法向矢量场与Lalanne经验法,提供了5个傅里叶模态层吸收法的收敛性改进矩阵.预先对5个收敛性改进矩阵优选分析,选择一个最优矩阵进行傅里叶模态层吸收法的衍射模拟计算,可以实现快速收敛.计算结果表明,对于硅材料简单结构,优选的改进矩阵相比于非优选矩阵收敛性提高2阶左右,能有效提高衍射场计算速度.该方案可提高光栅设计和集成电路结构分析/测试的效率.
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关键词
衍射
模拟算法
层吸收法
光栅
严格耦合波分析
法向矢量法
收敛性
测试
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Keywords
Diffraction
Simulation method
Slice absorption method
Grating
Rigorous couple wave analysis
Normal vector method
Convergence
Measurement
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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