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一种微纳多齿谐振光栅偏振分束器
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作者 张永棠 《电子器件》 CAS 北大核心 2020年第6期1222-1227,共6页
微纳光学器件是光路集成、片上光电转换和检测的重要基础器件。基于硅基微纳多齿谐振光栅,设计了一种高性能的微纳多齿谐振光栅偏振分束器(PBS)。应用光栅对于TE和TM偏振光表现出不同的衍射性质,从而实现偏振分束的目的。通过严格耦合... 微纳光学器件是光路集成、片上光电转换和检测的重要基础器件。基于硅基微纳多齿谐振光栅,设计了一种高性能的微纳多齿谐振光栅偏振分束器(PBS)。应用光栅对于TE和TM偏振光表现出不同的衍射性质,从而实现偏振分束的目的。通过严格耦合波理论分析,研究了光栅PBS的性能。结果表明,在1.53~1.62μm(90 nm)的宽带光谱上,该PBS的衍射效率大于97%,消光比(ER)大于16dB,以及角度带宽为8°等的优越性能。此外,还研究了结构参数对光栅PBS性能的影响,数值分析表明,该装置具有良好的工艺容差,可广泛应用于通信系统的路由和交换设备。 展开更多
关键词 衍射光栅 偏振分束器 泄露模谐振 光学器件 光通信
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