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覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析被引量：3: 1; 作者谢晓王文 +1 位作者刘明华何世堂《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1627-1630,共4页; 采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应... 展开更多; 关键词气体传感器响应机理水平剪切型声表面波聚合物敏感膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于声表面波传感器的洗涤剂残留量检测被引量：2: 2; 作者徐辅庆陈智军 +3 位作者彭福强姜建利韩超郭佳佳《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第2期217-221,共5页; 该文建立了声表面波传感器的液体传感模型,分析了水平剪切声表面波(SH-SAW)对洗涤剂残留量的敏感机理,通过洗涤剂浓度变化引起液体特征参数变化并导致声表面波传播参数的变化来实现检测功能。设计并制作了包括自由化通道、金属化通道的... 展开更多; 关键词液体传感水平剪切声表面波液体特征参数洗涤剂残留量谐振频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计被引量：1: 3; 作者温福军王园园 +5 位作者钱莉荣王荔田李翠平熊阳田亚会李红浪《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期290-295,共6页; 铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器... 展开更多; 关键词 X切铌酸锂薄膜水平剪切声表面波有效机电耦合系数频率温度系数声表面波谐振器超宽带声表面波滤波器; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于SH-SAW谐振器的无线温度传感器研究被引量：1: 4; 作者房赛彭斌 +2 位作者杨云涛何鹏朱加良《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第8期11-14,24,共5页; 基于128°YX铌酸锂压电衬底设计制作了窄带、高Q值的水平剪切声表面波(SH-SAW)谐振器,研究了其温度特性,并基于该谐振器制作了无线温度传感器。研究结果表明,该SH-SAW谐振器在常温至250℃内保持良好的谐振性能,频率温度系数为-24.33... 展开更多; 关键词水平剪切声表面波谐振器铌酸锂无线温度传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析被引量：3: 1; 作者谢晓王文刘明华何世堂; 机构中国科学院声学研究所; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1627-1630,共4页; 基金国家自然科学基金重点项目(10834010) 国家自然科学基金项目(11074268); 文摘采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响。计算结果表明,SH-SAW气体传感器对于不同浓度的甲基磷酸二甲酯(DMMP)气体响应随FPOL膜厚和传感器工作频率的改变呈现非线性变化。为了获得线性特性的传感器响应及较小的声波衰减,在一定的DMMP气体浓度检测范围内,通过理论计算提取出了优化的FPOL敏感膜膜厚和传感器工作频率等参数。; 关键词气体传感器响应机理水平剪切型声表面波聚合物敏感膜; Keywords gas sensor response mechanism shear horizontal surface acoustic wave polymer sensitive film; 分类号 TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于声表面波传感器的洗涤剂残留量检测被引量：2: 2; 作者徐辅庆陈智军彭福强姜建利韩超郭佳佳; 机构南京航空航天大学自动化学院中电科技德清华莹电子有限公司; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第2期217-221,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(51475240)。; 文摘该文建立了声表面波传感器的液体传感模型,分析了水平剪切声表面波(SH-SAW)对洗涤剂残留量的敏感机理,通过洗涤剂浓度变化引起液体特征参数变化并导致声表面波传播参数的变化来实现检测功能。设计并制作了包括自由化通道、金属化通道的双通道传感器,以及与之配套的液槽面板和测试板。实验测试结果表明,可通过对传感器自由化通道谐振频率的测量来实现对洗涤剂残留量的检测,在(0~240)×10^(-6)范围内测量误差小于16.8×10^(-6)。; 关键词液体传感水平剪切声表面波液体特征参数洗涤剂残留量谐振频率; Keywords liquid sensing shear-horizontal surface acoustic wave liquid characteristic parameter detergent residues resonant frequency; 分类号 TN9 [电子电信—信息与通信工程] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计被引量：1: 3; 作者温福军王园园钱莉荣王荔田李翠平熊阳田亚会李红浪; 机构天津理工大学集成电路科学与工程学院天津理工大学光电器件与通信技术教育部工程研究中心中国科学院声学研究所国家纳米科学中心; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期290-295,共6页; 基金国家重点研发计划项目(2022YFB3606702) 广东省重点研发计划项目(2023B0101190002) +3 种基金中国科学院青年创新促进会(2022024)。; 文摘铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器的可用有效带宽,同时也会限制器件的功率处理能力。采用3D周期有限元模型对基于X切LN/SiO2/Si结构SH声表面波(SH-SAW)谐振器进行了优化研究。研究结果表明,当SH-SAW传播角ψ=-10°~-20°、LN和SiO2膜厚分别为hLN=0.1λ和hSiO_(2)=0.2λ(λ为叉指换能器周期)、铝电极金属化率η=0.4、电极相对厚度hAl/λ=5%~10%时,SH-SAW谐振器的k_(eff)^(2)约为30%,且其TCF<-20×10^(-6)/℃,有望用于开发新一代的低温漂、超宽带5G SAW滤波器。; 关键词 X切铌酸锂薄膜水平剪切声表面波有效机电耦合系数频率温度系数声表面波谐振器超宽带声表面波滤波器; Keywords X-cut lithium niobate SH-SAW effective electromechanical coupling coefficient temperature; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统] TN713 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于SH-SAW谐振器的无线温度传感器研究被引量：1: 4; 作者房赛彭斌杨云涛何鹏朱加良; 机构电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室中国核动力研究设计院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第8期11-14,24,共5页; 文摘基于128°YX铌酸锂压电衬底设计制作了窄带、高Q值的水平剪切声表面波(SH-SAW)谐振器,研究了其温度特性,并基于该谐振器制作了无线温度传感器。研究结果表明,该SH-SAW谐振器在常温至250℃内保持良好的谐振性能,频率温度系数为-24.33 kHz/℃。基于该SH-SAW的无线温度传感器在常温至250℃温度范围内实现了温度的准确无线测试,测温误差为0.93%,且具有良好的重复性。; 关键词水平剪切声表面波谐振器铌酸锂无线温度传感器; Keywords SH-SAW resonator lithium niobate wireless temperature sensor; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析	谢晓王文刘明华何世堂	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2012	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于声表面波传感器的洗涤剂残留量检测	徐辅庆陈智军彭福强姜建利韩超郭佳佳	《压电与声光》 CAS 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计	温福军王园园钱莉荣王荔田李翠平熊阳田亚会李红浪	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于SH-SAW谐振器的无线温度传感器研究	房赛彭斌杨云涛何鹏朱加良	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2022	1	在线阅读下载PDF 职称材料