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覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析
被引量：
3
1
作者
谢晓
王文
+1 位作者
刘明华
何世堂
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1627-1630,共4页
采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应...
采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响。计算结果表明,SH-SAW气体传感器对于不同浓度的甲基磷酸二甲酯(DMMP)气体响应随FPOL膜厚和传感器工作频率的改变呈现非线性变化。为了获得线性特性的传感器响应及较小的声波衰减,在一定的DMMP气体浓度检测范围内,通过理论计算提取出了优化的FPOL敏感膜膜厚和传感器工作频率等参数。
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关键词
气体传感器
响应机理
水平剪切型声表面波
聚合物敏感膜
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职称材料
题名
覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析
被引量：
3
1
作者
谢晓
王文
刘明华
何世堂
机构
中国科学院声学研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1627-1630,共4页
基金
国家自然科学基金重点项目(10834010)
国家自然科学基金项目(11074268)
文摘
采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响。计算结果表明,SH-SAW气体传感器对于不同浓度的甲基磷酸二甲酯(DMMP)气体响应随FPOL膜厚和传感器工作频率的改变呈现非线性变化。为了获得线性特性的传感器响应及较小的声波衰减,在一定的DMMP气体浓度检测范围内,通过理论计算提取出了优化的FPOL敏感膜膜厚和传感器工作频率等参数。
关键词
气体传感器
响应机理
水平剪切型声表面波
聚合物敏感膜
Keywords
gas sensor
response mechanism
shear horizontal surface acoustic wave
polymer sensitive film
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析
谢晓
王文
刘明华
何世堂
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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