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驱动波形对氯化氪准分子灯222nm辐射效率的影响
被引量：
7
1
作者
庄晓波
张豪俊
+1 位作者
朱绍龙
张善端
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期565-569,共5页
提出了一种测量KrCl*准分子灯222 nm辐射效率的辐射度学方法。KrCl*准分子灯为同轴结构,内管和外管的内,外径分别为14,16和37,40 mm。灯中充有总气压为2×104Pa的氯气(Cl2)和氪气(Kr),其中含0.5%的氯气。KrCl*准分子灯用正弦和脉冲...
提出了一种测量KrCl*准分子灯222 nm辐射效率的辐射度学方法。KrCl*准分子灯为同轴结构,内管和外管的内,外径分别为14,16和37,40 mm。灯中充有总气压为2×104Pa的氯气(Cl2)和氪气(Kr),其中含0.5%的氯气。KrCl*准分子灯用正弦和脉冲电源来驱动。用紫外功率计测量222 nm辐照度,辐射功率由Keitz公式计算。灯的电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器测量得出。结果表明,KrCl*准分子灯在脉冲电源驱动下的最佳效率(11.4%)是正弦电源的2倍。
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关键词
介质阻挡放电
氯化氪准分子灯
222nm辐射
辐射效率
脉冲
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职称材料
题名
驱动波形对氯化氪准分子灯222nm辐射效率的影响
被引量：
7
1
作者
庄晓波
张豪俊
朱绍龙
张善端
机构
复旦大学电光源研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期565-569,共5页
基金
西门子中国有限公司提供部分研究经费和实验设备支持
文摘
提出了一种测量KrCl*准分子灯222 nm辐射效率的辐射度学方法。KrCl*准分子灯为同轴结构,内管和外管的内,外径分别为14,16和37,40 mm。灯中充有总气压为2×104Pa的氯气(Cl2)和氪气(Kr),其中含0.5%的氯气。KrCl*准分子灯用正弦和脉冲电源来驱动。用紫外功率计测量222 nm辐照度,辐射功率由Keitz公式计算。灯的电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器测量得出。结果表明,KrCl*准分子灯在脉冲电源驱动下的最佳效率(11.4%)是正弦电源的2倍。
关键词
介质阻挡放电
氯化氪准分子灯
222nm辐射
辐射效率
脉冲
Keywords
Dielectric barrier discharge
KrCl＊ excilamp
222 nm radiation
Radiant efficiency
Pulsed
分类号
O434.2 [机械工程—光学工程]
TM923.322 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
驱动波形对氯化氪准分子灯222nm辐射效率的影响
庄晓波
张豪俊
朱绍龙
张善端
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
7
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