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氮直流辉光放电活性粒子(N^+,N)的产生率
被引量：
3
1
作者
张连珠
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期113-118,共6页
在氮直流辉光放电等离子体中采用快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e+N2→N+ N+N+2e e和N+2+N2→N++N+N2过程中粒子(N+,N)产生率的轴向分布随放电参数(工作气压、放电电压和温度)的变化规律。结果表明:两种离解过程中...
在氮直流辉光放电等离子体中采用快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e+N2→N+ N+N+2e e和N+2+N2→N++N+N2过程中粒子(N+,N)产生率的轴向分布随放电参数(工作气压、放电电压和温度)的变化规律。结果表明:两种离解过程中氮活性粒子(N+,N)的产生率都随气压和电压的增加而增大,随放电气体温度的升高而降低;但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近。电压较高时,阴极处的离子N+主要由N+2-N2离解过程产生;电压较低时,N+2-N2离解过程可忽略。中性原子N主要由电子碰撞离解过程产生。
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关键词
氮直流辉光放电
活性粒子
产生率
蒙特卡罗模拟
轴向分布
放电
参数
氮
化物薄膜
等离子体
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职称材料
直流辉光放电氮原子离子的Monte Carlo模拟研究
2
作者
张连珠
何琪
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期77-80,共4页
采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e-+N2N++N+2e和N+2+N2N++N+N2过程离子N+的产生率轴向分布随放电参数的变化规律及其轰击阴极的能量分布.结果表明,两种离解过程中氮原子离子(N+)的产生...
采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e-+N2N++N+2e和N+2+N2N++N+N2过程离子N+的产生率轴向分布随放电参数的变化规律及其轰击阴极的能量分布.结果表明,两种离解过程中氮原子离子(N+)的产生率均随气压和电压的增加而增大,随放电气体温度的升高而降低;但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近.在电压较高时,阴极处的N+主要由N+2-N2离解过程产生;在电压较低时,N+2-N2离解过程可忽略.
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关键词
氮直流辉光放电
氮
原子离子
MONTECARLO模拟
蒙特卡罗模拟方法
离解碰撞
等离子体
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职称材料
题名
氮直流辉光放电活性粒子(N^+,N)的产生率
被引量：
3
1
作者
张连珠
机构
河北师范大学物理系
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期113-118,共6页
基金
河北省教育厅资助项目(2002117)
河北师范大学资助项目(L2001Y04)
文摘
在氮直流辉光放电等离子体中采用快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e+N2→N+ N+N+2e e和N+2+N2→N++N+N2过程中粒子(N+,N)产生率的轴向分布随放电参数(工作气压、放电电压和温度)的变化规律。结果表明:两种离解过程中氮活性粒子(N+,N)的产生率都随气压和电压的增加而增大,随放电气体温度的升高而降低;但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近。电压较高时,阴极处的离子N+主要由N+2-N2离解过程产生;电压较低时,N+2-N2离解过程可忽略。中性原子N主要由电子碰撞离解过程产生。
关键词
氮直流辉光放电
活性粒子
产生率
蒙特卡罗模拟
轴向分布
放电
参数
氮
化物薄膜
等离子体
Keywords
Nitrogen dc glow discharge
Monte Carlo simulation
Nitrogen active species
Creation rate
分类号
O461.21 [理学—电子物理学]
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
直流辉光放电氮原子离子的Monte Carlo模拟研究
2
作者
张连珠
何琪
机构
河北师范大学物理系
出处
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期77-80,共4页
基金
河北省自然科学基金(批准号:100064).
文摘
采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e-+N2N++N+2e和N+2+N2N++N+N2过程离子N+的产生率轴向分布随放电参数的变化规律及其轰击阴极的能量分布.结果表明,两种离解过程中氮原子离子(N+)的产生率均随气压和电压的增加而增大,随放电气体温度的升高而降低;但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近.在电压较高时,阴极处的N+主要由N+2-N2离解过程产生;在电压较低时,N+2-N2离解过程可忽略.
关键词
氮直流辉光放电
氮
原子离子
MONTECARLO模拟
蒙特卡罗模拟方法
离解碰撞
等离子体
Keywords
nitrogen direct current glow discharge
Monte Carlo simulation
nitrogen atomic ion
dissociation collision
分类号
O461.21 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
氮直流辉光放电活性粒子(N^+,N)的产生率
张连珠
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2003
3
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职称材料
2
直流辉光放电氮原子离子的Monte Carlo模拟研究
张连珠
何琪
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2003
0
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职称材料
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