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氮氩流量比对AlCrTiVNbN薄膜结构和摩擦学性能的影响: 1; 作者阎红娟米智丰 +2 位作者郑彩丽司丽娜程方赢《润滑与密封》北大核心 2025年第4期31-39,共9页; 通过磁控溅射方法在304不锈钢表面制备AlCrTiVNbN高熵合金氮化物薄膜,探究在不同氮氩流量比下薄膜的微观组织结构、力学性能和摩擦学性能。结果表明:随着氮氩流量比增加,AlCrTiVNbN薄膜呈现面心立方(FCC)结构,(111)晶面衍射峰消失,在(2... 展开更多; 关键词 AlCrTiVNbN薄膜磁控溅射摩擦学性能氮氩流量比薄膜结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

氮氩流量比对磁控溅射CrAgCeN涂层摩擦学性能的影响被引量：5: 2; 作者畅为航蔡海潮 +2 位作者薛玉君雷贤卿李航《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期262-271,共10页; 目的研究不同氮氩流量比对磁控溅射制备CrAgCeN涂层微观组织结构和摩擦学性能的影响。方法采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对涂层表面形貌、成分和微观组织进行分析。采用纳米压痕仪、球盘式摩擦磨损试验机和白光干涉三维形貌仪,测试... 展开更多; 关键词氮氩流量比磁控溅射 CrAgCeN涂层摩擦磨损; 在线阅读下载PDF 职称材料

氮氩流量比对磁控溅射Zn3N2薄膜微观结构的影响被引量：2: 3; 作者王燕陈俊芳 +1 位作者熊文文王勇《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期456-461,共6页; 采用射频感应耦合等离子体增强磁控溅射装置在p型Si〈100〉基片上制备Zn3N2薄膜,用于研究不同氮氩流量比对薄膜结晶质量及微观结构的影响。用X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、原子力显微镜（AFM）和四探针测试仪表... 展开更多; 关键词 Zn3N2薄膜磁控溅射氮氩流量比晶体结构微观结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

氮氩流量比对玻璃基TiN薄膜的结构和硬度的影响: 4; 作者顾宝宝赵青南 +3 位作者刘旭罗乐平丛芳玲赵修建《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期4076-4081,共6页; 采用直流磁控溅射镀膜工艺,在不同的氮氩流量比条件下,制备了玻璃基Ti N薄膜。通过X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（SEM、EDS）、纳米显微硬度仪,研究了Ti N薄膜的组织结构、物相组成、表面形貌、元素成份、维氏硬度,分析了... 展开更多; 关键词磁控溅射玻璃基Ti N薄膜硬度氮氩流量比; 在线阅读下载PDF 职称材料

HiPIMS溅射AlCrN涂层结构对抗铝黏着性能的影响: 5; 作者秦亚东高方圆 +1 位作者许亿夏原《中国表面工程》北大核心 2025年第1期216-227,共12页; 一体化压铸模具在汽车产业轻量化和节能环保政策的背景下应时而生,在服役过程中受到高温、高速铝液冷热交替作用,传统的表面处理技术不能满足如此苛刻的服役条件,采用Hi PIMS技术制备Al Cr N涂层是提升一体化压铸模具表面抗铝黏着性能... 展开更多; 关键词 HIPIMS AlCrN涂层氮氩流量比光学发射光谱铝液腐蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

Ti6Al4V合金表面钼-氮渗镀复合层的制备及性能: 6; 作者李咏梅张敏范爱兰《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1-3,45,共4页; 利用等离子表面合金化技术在Ti6Al4V合金表面制备了钼-氮渗镀复合层,通过调整氮氩流量比获得3种表面渗镀复合层,对渗镀复合层的组织结构、显微硬度、耐腐蚀性能进行了研究。结果表明:氮氩流量比影响合金表面渗镀复合层的组织结构、硬度... 展开更多; 关键词等离子表面合金化技术钼-氮渗镀复合层氮氩流量比耐腐蚀性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

高氮掺杂对类金刚石薄膜的结构和摩擦磨损性能的影响被引量：2: 7; 作者张志龙刘竹波 +3 位作者王永胜于盛旺吴玉程周兵《热加工工艺》北大核心 2021年第20期91-95,共5页; 采用Si层作为过渡层,通过射频磁控溅射辅助直流脉冲磁控溅射技术在n型(100)单晶Si和硬质合金(YG8)基底上制备掺氮类金刚石薄膜。采用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪及场发射扫描电镜对薄膜的结构、组成和形貌进行表征;采用显微硬度计测... 展开更多; 关键词类金刚石薄膜氮掺杂氮氩流量比磁控溅射摩擦磨损; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氮氩流量比对AlCrTiVNbN薄膜结构和摩擦学性能的影响: 1; 作者阎红娟米智丰郑彩丽司丽娜程方赢; 机构北方工业大学机械与材料工程学院; 出处《润滑与密封》北大核心 2025年第4期31-39,共9页; 基金北京市自然科学基金项目(3212003) 北方工业大学毓优团队计划项目(22XN746)。; 文摘通过磁控溅射方法在304不锈钢表面制备AlCrTiVNbN高熵合金氮化物薄膜,探究在不同氮氩流量比下薄膜的微观组织结构、力学性能和摩擦学性能。结果表明:随着氮氩流量比增加,AlCrTiVNbN薄膜呈现面心立方(FCC)结构,(111)晶面衍射峰消失,在(200)晶面择优取向且向小角度方向偏移;不同氮氩流量比下AlCrTiVNbN薄膜表面光滑、平整无孔隙,截面呈现典型的柱状结构。硬度(H)、弹性模量(E)、H/E、H^(3)/E^(2)随氮氩流量比的增加先增大后减小,氮氩流量比为3∶4时薄膜具有最高的硬度和弹性模量;摩擦因数和磨痕宽度随着氮氩流量比的增加先减小后增大,氮氩流量比为3∶4时摩擦因数和磨痕宽度最小,薄膜具有良好的耐磨性。AlCrTiVNbN薄膜的磨损机制为磨粒磨损、黏着磨损和氧化磨损。摩擦学性能改善的原因有2个:一是溅射过程中合金元素与N原子形成氮化物,具有固溶强化效应,有助于强化薄膜的性能;二是薄膜具有较高的H/E和H3/E2,具有较好抵抗弹性变形和塑性变形的能力,有助于改善薄膜摩擦学性能。; 关键词 AlCrTiVNbN薄膜磁控溅射摩擦学性能氮氩流量比薄膜结构; Keywords AlCrTiVNbN film magnetron sputtering tribological properties flow ratio of nitrogen and argon microstructure; 分类号 TH117.1 [机械工程—机械设计及理论] TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氮氩流量比对磁控溅射CrAgCeN涂层摩擦学性能的影响被引量：5: 2; 作者畅为航蔡海潮薛玉君雷贤卿李航; 机构河南科技大学机电工程学院河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室南阳理工学院洛阳LYC轴承有限公司航空精密轴承国家重点实验室; 出处《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期262-271,共10页; 基金国家重点研发计划(2021YFB3400401) 河南省科技攻关项目(202102210073) 国家国防基础科研计划项目(JCKY2018419C101)。; 文摘目的研究不同氮氩流量比对磁控溅射制备CrAgCeN涂层微观组织结构和摩擦学性能的影响。方法采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对涂层表面形貌、成分和微观组织进行分析。采用纳米压痕仪、球盘式摩擦磨损试验机和白光干涉三维形貌仪,测试涂层的力学性能和摩擦学性能。结果在给定的氮氩流量比下,CrAgCeN涂层主要有CrN、Cr_(2)N、Ag、AgN_(3)和Ce相构成,引入Ce、Ag可改变组织结构,随着氮氩流量比的增加,CrAgCeN涂层表面形貌由三角锥状转变为球状,在氮氩流量比为1.5时,涂层组织更加致密。涂层硬度和弹性模量随着氮氩流量比的增加呈现先升高后降低的趋势,在氮氩流量比为1.5时,硬度(H)和弹性模量(E)最大,分别为14.1 GPa和213.8 GPa;H/E值最高,为0.066,反映涂层具有较好的抗塑性变形能力。随着氮氩流量比的增加,摩擦因数和磨损率先减小后增大,在氮氩流量比为1.5时,涂层的摩擦因数和磨损率最小,分别为0.381和1.1×10^(-6) mm^(3)/(N·m),相比于氮氩流量比为0.6、1、3时,对磨球磨损表面能谱表明Ce、Ag含量最高,减摩耐磨效应最优,对磨球磨损表面最平整。结论通过调整氮氩流量比可以获得摩擦磨损性能良好的CrAgCeN涂层。; 关键词氮氩流量比磁控溅射 CrAgCeN涂层摩擦磨损; Keywords nitrogen-to-argon flow ratios magnetron sputtering CrAgCeN coating friction and wear; 分类号 TH117 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氮氩流量比对磁控溅射Zn3N2薄膜微观结构的影响被引量：2: 3; 作者王燕陈俊芳熊文文王勇; 机构华南师范大学物理与电信工程学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期456-461,共6页; 文摘采用射频感应耦合等离子体增强磁控溅射装置在p型Si〈100〉基片上制备Zn3N2薄膜,用于研究不同氮氩流量比对薄膜结晶质量及微观结构的影响。用X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、原子力显微镜（AFM）和四探针测试仪表征薄膜的微观结构、表面形貌和电学特性。实验结果表明：不同氮氩流量比条件下制备的Zn3N2薄膜均为多晶态,（400）,（411）和（332）晶面生长明显。随着氮氩流量比增加,（400）晶面衍射峰逐渐增加,在3∶1时达到极值,结晶度逐渐变佳;（332）晶面衍射峰逐渐减小,结晶度随之变弱;（411）晶面则无明显变化。随氮氩流量比增加,薄膜结晶度、晶粒尺寸和表面平整度先增加后减小。氮氩流量比为2∶1时,结晶质量和表面平整度达到最佳且导电性能最好,较大的氮氩流量比有利于磁控溅射制备性能更好的Zn3N2薄膜。; 关键词 Zn3N2薄膜磁控溅射氮氩流量比晶体结构微观结构; Keywords Zn3N2 thin film magnetron sputtering flow ratio of N2 and Ar crystalstructure microstructure; 分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氮氩流量比对玻璃基TiN薄膜的结构和硬度的影响: 4; 作者顾宝宝赵青南刘旭罗乐平丛芳玲赵修建; 机构武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室江苏秀强玻璃工艺股份有限公司; 出处《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期4076-4081,共6页; 基金湖北省重大科技创新计划项目(2013AAA005); 文摘采用直流磁控溅射镀膜工艺,在不同的氮氩流量比条件下,制备了玻璃基Ti N薄膜。通过X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（SEM、EDS）、纳米显微硬度仪,研究了Ti N薄膜的组织结构、物相组成、表面形貌、元素成份、维氏硬度,分析了氮氩流量比对Ti N薄膜结晶取向、硬度的影响机理。结果表明,在低的氮氩流量比条件下,Ti N薄膜以（111）晶面择优取向;随着氮氩流量比增加,择优取向由（111）晶面向（200）晶面过渡;氮氩流量比为1∶2时薄膜以（200）晶面择优取向;继续增加氮氩流量比（1∶2~2∶1）,Ti N薄膜衍射峰强度降低,晶粒尺寸减小;当氮氩流量比增加到2∶1时,薄膜开始呈现非晶态。随着氮氩流量比的增加,薄膜硬度呈现先增加后减小的趋势;当氮氩流量比为1∶1时,Ti N薄膜以（200）晶面择优取向结晶,组织致密均匀,晶粒尺寸最小,具有最大的硬度值（825 HV）,相比未镀膜的玻璃基片,硬度值增加了20.44%。; 关键词磁控溅射玻璃基Ti N薄膜硬度氮氩流量比; Keywords magnetron sputtering TiN films deposited the glass substrate hardness flow ratio of N2/Ar; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名HiPIMS溅射AlCrN涂层结构对抗铝黏着性能的影响: 5; 作者秦亚东高方圆许亿夏原; 机构中国科学院力学研究所宽域飞行工程科学与应用中心中国科学院大学工程科学学院中国科学院大学材料科学与光电工程中心; 出处《中国表面工程》北大核心 2025年第1期216-227,共12页; 基金国家重点研发计划(022YFB3404203) 吉林省、长春市重大科技专项(20210301017GX)。; 文摘一体化压铸模具在汽车产业轻量化和节能环保政策的背景下应时而生,在服役过程中受到高温、高速铝液冷热交替作用,传统的表面处理技术不能满足如此苛刻的服役条件,采用Hi PIMS技术制备Al Cr N涂层是提升一体化压铸模具表面抗铝黏着性能的重要措施之一。基于等离子体发射光谱(OES),采用高能脉冲磁控溅射(Hi PIMS)技术在不同的N_(2)/Ar流量比下制备具有致密结构的高性能AlCrN涂层。利用数字示波器、高压探针、电流探针和等离子体发射监测器开展Hi PIMS放电特征和时间平均的OES光谱研究,采用X射线衍射仪和扫描电镜分析涂层的晶相结构、晶粒尺寸及表面截面形貌,采用纳米压痕仪测试薄膜的纳米硬度和弹性模量。设计进行抗铝黏着测试来观测涂层在铝液中的行为。结果表明,随着N_(2)/Ar流量比的增加,Hi PIMS下的峰值电流随之升高,峰值功率密度也随之升高;沉积速率先增大后降低;涂层的晶粒尺寸和微观结构也会出现明显变化;成膜环境出现大量的离子态,CrⅡ、AlⅡ、NⅡ的强度明显提升,且CrⅡ/CrⅠ强度上升,说明离化率也会随之上升;涂层结构随着N_(2)/Ar流量的变化主要呈现三种状态:非晶结构、hcp-AlN与fcc-AlCrN混合相、单一fcc-AlCrN相,实验中涂层氮含量始终保持较高水平且随着N_(2)/Ar流量比整体呈上升趋势,并最终在fcc-AlCrN结构中接近化学计量组成;在最高的N_(2)/Ar流量下制备出择优取向为(220)的fcc-AlCrN相涂层,具有最高的硬度和弹性模量,同时有着最高的H/E与H^(3)/E^(2)比值。在抗铝黏着测试中此结构也表现出无铝黏附的良好特性,且涂层相结构和成分均无明显变化,fcc-AlCrN结构在铝液中的稳定性是表现优异出抗铝黏着性能的关键。通过改变N_(2)/Ar流量比制备出高性能AlCrN涂层,给出提升一体化压铸模具表面抗铝黏着性能的可能性。; 关键词 HIPIMS AlCrN涂层氮氩流量比光学发射光谱铝液腐蚀; Keywords HiPIMS AlCrN coating nitrogen-argon flow ratio optical emission spectroscopy(OES) aluminum liquid corrosion; 分类号 TG156 [金属学及工艺—热处理] TB114 [理学—概率论与数理统计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Ti6Al4V合金表面钼-氮渗镀复合层的制备及性能: 6; 作者李咏梅张敏范爱兰; 机构太原理工大学材料科学与工程学院太原理工大学表面工程研究所; 出处《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1-3,45,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(50771070) 国家"863"科技支撑计划资助项目(2007AA03Z521); 文摘利用等离子表面合金化技术在Ti6Al4V合金表面制备了钼-氮渗镀复合层,通过调整氮氩流量比获得3种表面渗镀复合层,对渗镀复合层的组织结构、显微硬度、耐腐蚀性能进行了研究。结果表明:氮氩流量比影响合金表面渗镀复合层的组织结构、硬度;渗镀复合层可明显提高Ti6Al4V合金在质量分数为37%沸腾盐酸溶液中的耐腐蚀性能;随着氮氩流量比的增加,复合层的厚度增加,硬度提高,耐腐蚀性能变差。; 关键词等离子表面合金化技术钼-氮渗镀复合层氮氩流量比耐腐蚀性能; Keywords plasma surface alloying technique diffusion and deposition composite layer of Mo-N ratio of N2to Ar resistant corrosion property; 分类号 TG115.22 [金属学及工艺—物理冶金]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高氮掺杂对类金刚石薄膜的结构和摩擦磨损性能的影响被引量：2: 7; 作者张志龙刘竹波王永胜于盛旺吴玉程周兵; 机构太原理工大学新型碳材料研究院; 出处《热加工工艺》北大核心 2021年第20期91-95,共5页; 基金国家自然科学基金项目(51811530058) 2019-2020年中-白政府间科技交流项目(CB02-03) +2 种基金山西省“1331工程”工程研究中心项目(PT201801)。; 文摘采用Si层作为过渡层,通过射频磁控溅射辅助直流脉冲磁控溅射技术在n型(100)单晶Si和硬质合金(YG8)基底上制备掺氮类金刚石薄膜。采用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪及场发射扫描电镜对薄膜的结构、组成和形貌进行表征;采用显微硬度计测试薄膜的维氏硬度;采用用球-盘往复摩擦试验机和白光干涉仪测试薄膜的摩擦磨损性能。结果表明:复合薄膜中碳氮原子主要以C=N键形式存在,随着掺氮量的增加,C=N键含量降低。氮掺杂DLC复合薄膜的硬度随掺氮量的增加而降低,摩擦系数在掺氮量为12.7 at%时最低,为0.10;而在掺氮量为6.6 at%时比磨损率最低,为5.1×10^(-15)mm^(3)/(N·m)。; 关键词类金刚石薄膜氮掺杂氮氩流量比磁控溅射摩擦磨损; Keywords diamond like carbon(DLC) nitrogen doping nitrogen-argon flow ratio magnetron sputtering friction and wear; 分类号 TG147 [金属学及工艺—金属材料]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	氮氩流量比对AlCrTiVNbN薄膜结构和摩擦学性能的影响	阎红娟米智丰郑彩丽司丽娜程方赢	《润滑与密封》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	氮氩流量比对磁控溅射CrAgCeN涂层摩擦学性能的影响	畅为航蔡海潮薛玉君雷贤卿李航	《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2022	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	氮氩流量比对磁控溅射Zn3N2薄膜微观结构的影响	王燕陈俊芳熊文文王勇	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2018	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	氮氩流量比对玻璃基TiN薄膜的结构和硬度的影响	顾宝宝赵青南刘旭罗乐平丛芳玲赵修建	《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心	2016	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	HiPIMS溅射AlCrN涂层结构对抗铝黏着性能的影响	秦亚东高方圆许亿夏原	《中国表面工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	Ti6Al4V合金表面钼-氮渗镀复合层的制备及性能	李咏梅张敏范爱兰	《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心	2011	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	高氮掺杂对类金刚石薄膜的结构和摩擦磨损性能的影响	张志龙刘竹波王永胜于盛旺吴玉程周兵	《热加工工艺》北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料