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氮气退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响
被引量：
3
1
作者
居勇峰
祖小涛
向霞
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期143-146,共4页
提出了一种利用离子注入和后续退火制备氮掺杂TiO2薄膜的方法。首先在室温下向石英玻璃中注入Ti离子,随后在氮气中退火到900℃,从而制备了氮掺杂的玻璃基TiO2薄膜。SRIM2006程序模拟和卢瑟福背散射谱(RBS)研究表明注入离子从样品表面开...
提出了一种利用离子注入和后续退火制备氮掺杂TiO2薄膜的方法。首先在室温下向石英玻璃中注入Ti离子,随后在氮气中退火到900℃,从而制备了氮掺杂的玻璃基TiO2薄膜。SRIM2006程序模拟和卢瑟福背散射谱(RBS)研究表明注入离子从样品表面开始呈高斯分布,实验结果和模拟结果吻合很好。X射线光电子能谱(XPS)研究结果表明注入态样品中形成了金属Ti和TiO2,900℃退火后金属Ti转变成TiO2,同时N原子替代少量的晶格O原子形成了O-Ti-N化合物。紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)结果显示,当退火温度至500℃时,在吸收光谱中开始出现TiO2的吸收边,随退火温度升高到900℃,由于O-Ti-N化合物形成,TiO2的吸收边从3.98 eV红移到3.30 eV,TiO2吸收边末端延伸到可见光区,在可见光区的吸收强度明显增加。
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关键词
离子注入
氮掺杂tio2薄膜
光学带隙
退火
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职称材料
题名
氮气退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响
被引量：
3
1
作者
居勇峰
祖小涛
向霞
机构
电子科技大学应用物理系
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期143-146,共4页
基金
教育部博士点基金资助课题(20050614013)
文摘
提出了一种利用离子注入和后续退火制备氮掺杂TiO2薄膜的方法。首先在室温下向石英玻璃中注入Ti离子,随后在氮气中退火到900℃,从而制备了氮掺杂的玻璃基TiO2薄膜。SRIM2006程序模拟和卢瑟福背散射谱(RBS)研究表明注入离子从样品表面开始呈高斯分布,实验结果和模拟结果吻合很好。X射线光电子能谱(XPS)研究结果表明注入态样品中形成了金属Ti和TiO2,900℃退火后金属Ti转变成TiO2,同时N原子替代少量的晶格O原子形成了O-Ti-N化合物。紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)结果显示,当退火温度至500℃时,在吸收光谱中开始出现TiO2的吸收边,随退火温度升高到900℃,由于O-Ti-N化合物形成,TiO2的吸收边从3.98 eV红移到3.30 eV,TiO2吸收边末端延伸到可见光区,在可见光区的吸收强度明显增加。
关键词
离子注入
氮掺杂tio2薄膜
光学带隙
退火
Keywords
Ion implanta
tio
n
Nitrogen-doped
tio
2
film
Energy gap
Annealing
分类号
TQ174.4 [化学工程—陶瓷工业]
O433.4 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮气退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响
居勇峰
祖小涛
向霞
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
3
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职称材料
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