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直流辉光放电氮原子离子的Monte Carlo模拟研究
1
作者
张连珠
何琪
《吉林大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期77-80,共4页
采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e-+N2N++N+2e和N+2+N2N++N+N2过程离子N+的产生率轴向分布随放电参数的变化规律及其轰击阴极的能量分布.结果表明,两种离解过程中氮原子离子(N+)的产生...
采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e-+N2N++N+2e和N+2+N2N++N+N2过程离子N+的产生率轴向分布随放电参数的变化规律及其轰击阴极的能量分布.结果表明,两种离解过程中氮原子离子(N+)的产生率均随气压和电压的增加而增大,随放电气体温度的升高而降低;但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近.在电压较高时,阴极处的N+主要由N+2-N2离解过程产生;在电压较低时,N+2-N2离解过程可忽略.
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关键词
氮
直流辉光放电
氮原子离子
MONTECARLO模拟
蒙特卡罗模拟方法
离解碰撞
等
离子
体
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职称材料
氮原子离子束源的设计研制与应用
2
作者
王培元
沈宏
+2 位作者
秦宗益
应萱同
王培南
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2003年第1期47-49,共3页
本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计 ,对放电参数进行了分析 ,根据离子束流的质谱测量可知 ,氮离子束中N+ 与N+ 2 之比可高达 5∶1,大大优于其他的一些离子束源。
关键词
氮原子离子
束源
设计
应用
直流辉光放电
质谱
氮
化物
制备
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职称材料
氮气快脉冲放电等离子体的光谱分析
被引量:
4
3
作者
王培南
郑家骠
+2 位作者
陈叔琦
潘崎
张豪
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第S1期97-98,共2页
对氮气快脉冲放电等离子体进行了光谱分析,并与其它放电方法进行了比较;对使用铝电极和石墨电极的放电光谱也进行了分析和比较。
关键词
脉冲放电等
离子
体
谱分析
石墨电极
快脉冲放电
空心阴极放电
电光谱
氮原子离子
氮
化物
氮
气气压
电方法
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职称材料
题名
直流辉光放电氮原子离子的Monte Carlo模拟研究
1
作者
张连珠
何琪
机构
河北师范大学物理系
出处
《吉林大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期77-80,共4页
基金
河北省自然科学基金(批准号:100064).
文摘
采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e-+N2N++N+2e和N+2+N2N++N+N2过程离子N+的产生率轴向分布随放电参数的变化规律及其轰击阴极的能量分布.结果表明,两种离解过程中氮原子离子(N+)的产生率均随气压和电压的增加而增大,随放电气体温度的升高而降低;但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近.在电压较高时,阴极处的N+主要由N+2-N2离解过程产生;在电压较低时,N+2-N2离解过程可忽略.
关键词
氮
直流辉光放电
氮原子离子
MONTECARLO模拟
蒙特卡罗模拟方法
离解碰撞
等
离子
体
Keywords
nitrogen direct current glow discharge
Monte Carlo simulation
nitrogen atomic ion
dissociation collision
分类号
O461.21 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
氮原子离子束源的设计研制与应用
2
作者
王培元
沈宏
秦宗益
应萱同
王培南
机构
上海市机电工业学校
先进光子学材料与器件国家重点实验室复旦大学光科学与工程系
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2003年第1期47-49,共3页
基金
国家自然科学基金资助 (No 60 1780 3 1
10 0 75 0 12 )
文摘
本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计 ,对放电参数进行了分析 ,根据离子束流的质谱测量可知 ,氮离子束中N+ 与N+ 2 之比可高达 5∶1,大大优于其他的一些离子束源。
关键词
氮原子离子
束源
设计
应用
直流辉光放电
质谱
氮
化物
制备
Keywords
DC glow discharge,Nitrogen ion beam,Mass spectroscopy analysis
分类号
O613.61 [理学—无机化学]
O461.21 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
氮气快脉冲放电等离子体的光谱分析
被引量:
4
3
作者
王培南
郑家骠
陈叔琦
潘崎
张豪
机构
复旦大学物理系国家三束材料改性重点联合实验室
香港浸会大学物理系
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第S1期97-98,共2页
基金
国家自然科学基金
文摘
对氮气快脉冲放电等离子体进行了光谱分析,并与其它放电方法进行了比较;对使用铝电极和石墨电极的放电光谱也进行了分析和比较。
关键词
脉冲放电等
离子
体
谱分析
石墨电极
快脉冲放电
空心阴极放电
电光谱
氮原子离子
氮
化物
氮
气气压
电方法
分类号
O562.3 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流辉光放电氮原子离子的Monte Carlo模拟研究
张连珠
何琪
《吉林大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2003
0
在线阅读
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职称材料
2
氮原子离子束源的设计研制与应用
王培元
沈宏
秦宗益
应萱同
王培南
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2003
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
氮气快脉冲放电等离子体的光谱分析
王培南
郑家骠
陈叔琦
潘崎
张豪
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1998
4
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
统计分析
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