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氧化对GaN基LED透明电极接触特性的影响 被引量:8
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作者 秦志新 陈志忠 +5 位作者 于彤军 张昊翔 胡晓东 杨志坚 李忠辉 张国义 《液晶与显示》 CAS CSCD 2004年第1期1-4,共4页
研究了热退火对InGaN/GaN多量子阱LED的Ni/Au p GaN欧姆接触的影响。发现在空气和N2气氛中交替地进行热退火的过程中Ni/Au接触特性显示出可逆现象。Ni/Au p GaN接触的串联电阻在空气中随合金化时间逐渐减小,在随后的N2中的热退火后会使... 研究了热退火对InGaN/GaN多量子阱LED的Ni/Au p GaN欧姆接触的影响。发现在空气和N2气氛中交替地进行热退火的过程中Ni/Au接触特性显示出可逆现象。Ni/Au p GaN接触的串联电阻在空气中随合金化时间逐渐减小,在随后的N2中的热退火后会使该串联电阻增加,但在空气中再次热退火能使接触特性得到恢复。同时对Ni/Au p GaN接触在空气中合金化过程中的层反转的成因进行了讨论。 展开更多
关键词 氮化镓基发光二极管 欧姆接触 氧化作用 量子阱 热退火 载流子浓度
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硅基与蓝宝石衬底上的GaN-LEDs性能差异分析 被引量:2
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作者 王美玉 朱友华 +3 位作者 施敏 黄静 邓洪海 马青兰 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2016年第3期62-65,共4页
在简要阐述硅基与蓝宝石衬底的GaN研究与发展基础上,就此两种不同衬底上GaN-LEDs性能进行了对比分析,并对这两种衬底上的LED进行了相应的表征实验。通过AFM和XRD等分析手段揭示了器件的结构特性,对器件性能(I-V和EL以及I-L测试)进行了... 在简要阐述硅基与蓝宝石衬底的GaN研究与发展基础上,就此两种不同衬底上GaN-LEDs性能进行了对比分析,并对这两种衬底上的LED进行了相应的表征实验。通过AFM和XRD等分析手段揭示了器件的结构特性,对器件性能(I-V和EL以及I-L测试)进行了相应的评价。通过分析相关实验数据得出:在电学特性与光学性能两方面,蓝宝石衬底上的LED均优于硅衬底上的LED。 展开更多
关键词 氮化镓基发光二极管 硅衬底 蓝宝石衬底 电学特性 光学特性
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二氧化硅钝化膜提高GaN基LED光提取效率的研究
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作者 高芬 《工具技术》 2012年第7期80-82,共3页
介绍了通过二氧化硅增透膜来提高GaN基LED光提取效率,采用等离子体增强气相沉积法(PECVD)制备了二氧化硅钝化膜,经对器件的测试表明,在器件上沉积二氧化硅增透膜能够使器件的出光效率提高28.4%,同时提高了器件的可靠性。
关键词 氮化镓基发光二极管 等离子体增强化学气相增强 增透膜
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磁控反应溅射AlN缓冲层对GaN基LED器件性能的影响 被引量:1
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作者 农明涛 苗振林 +5 位作者 梁智勇 周佐华 蔡炳杰 卢国军 林传强 张宇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1452-1457,共6页
以直流磁控反应溅射法(RMS)在图形化蓝宝石衬底上制备的AlN薄膜作为缓冲层,采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)外延生长了GaN基LED。与MOCVD生长的低温GaN缓冲层相比,RMS制备的AlN缓冲层具有表面更平整、颗粒更小的形核岛,有利于促进Ga... 以直流磁控反应溅射法(RMS)在图形化蓝宝石衬底上制备的AlN薄膜作为缓冲层,采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)外延生长了GaN基LED。与MOCVD生长的低温GaN缓冲层相比,RMS制备的AlN缓冲层具有表面更平整、颗粒更小的形核岛,有利于促进GaN外延的横向生长,减少了形核岛合并时的界面数量和高度差异,降低了缺陷和位错产生的几率。研究结果表明,溅射AlN缓冲层取代传统低温GaN缓冲层后,外延生长的GaN材料具有更高的晶体质量,LED器件在亮度、漏电和抗静电能力等光电特性上均有明显提升。 展开更多
关键词 直流磁控反应溅射 氮化铝缓冲层 氮化镓基发光二极管 金属有机化学气相沉积
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