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面向OCT应用的氮化硅波导基超宽带片上光源
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作者 惠战强 李佳颖 +2 位作者 李田甜 韩冬冬 巩稼民 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期671-683,共13页
光学相干层析成像(Optical Coherence Tomography,OCT)技术具有非侵入、高分辨率、可实时成像等优点,在生物医学、材料学及红外传感等众多领域被广泛应用。设计了一种基于氮化硅(Si3N4)的脊形悬空光波导,基于时域有限差分法对所设计波... 光学相干层析成像(Optical Coherence Tomography,OCT)技术具有非侵入、高分辨率、可实时成像等优点,在生物医学、材料学及红外传感等众多领域被广泛应用。设计了一种基于氮化硅(Si3N4)的脊形悬空光波导,基于时域有限差分法对所设计波导的主要结构参数进行了优化,并研究了该波导中产生的超连续谱特性。数值模拟结果表明,在脊宽=750 nm、脊高=700 nm、平板厚度=200 nm以及上覆层高=150 nm的优化结构下,当入射泵浦光波长为1.3µm,峰值功率为2 kW,和脉宽为50 fs时,基于该光波导可以产生波长覆盖可见光至中红外(703~4014 nm)的宽带超连续谱。这一结果对于促进片上集成宽带光源在生物医学等领域的应用具有重要作用。 展开更多
关键词 光学相干层析成像 超连续谱 氮化硅波导 色散工程 非线性效应
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基于氮化硅波导的超宽带偏振不敏感光分束器
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作者 谢雅婷 洪艺涵 +2 位作者 张翼 曾志红 卢益民 《光通信研究》 北大核心 2024年第4期85-89,共5页
【目的】为了解决偏振不敏感光分束器带宽受限问题,文章提出了一种基于氮化硅(Si 3N 4)波导的超宽带偏振不敏感光分束器。【方法】所提光分束器采用绝热耦合波导结构设计,可在1400~1700 nm波长范围内实现横电(TE)模式和横磁(TM)模式的... 【目的】为了解决偏振不敏感光分束器带宽受限问题,文章提出了一种基于氮化硅(Si 3N 4)波导的超宽带偏振不敏感光分束器。【方法】所提光分束器采用绝热耦合波导结构设计,可在1400~1700 nm波长范围内实现横电(TE)模式和横磁(TM)模式的光均匀分束(光学带宽为300 nm)。【结果】在工作波长范围内,TE和TM模式的损耗分别小于0.10和0.15 dB。而且文章所提光分束器的结构尺寸小,仅为60.00μm×2.75μm,便于实现大规模集成。此外,文章还研究了所提光分束器各结构参数对器件性能的影响。【结论】仿真结果显示,各结构参数在±50 nm的范围内变化时,对光分束器的性能基本没有影响,表示该超宽带偏振不敏感光分束器具备较大的制备容差,易于制备。 展开更多
关键词 氮化硅波导 光分束器 偏振不敏感
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基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感技术 被引量:2
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作者 刘明慧 马麟 +1 位作者 邱辞源 何祖源 《光通信技术》 北大核心 2020年第10期6-8,共3页
针对微环谐振器用于折射率传感时动态范围较窄的问题,提出了一种基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感技术,使谐振波长漂移的计算能够不用考虑原始参考值以及增大折射率探测范围,并验证高阶模对环境变化更敏感。通过理论分析,建立仿真... 针对微环谐振器用于折射率传感时动态范围较窄的问题,提出了一种基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感技术,使谐振波长漂移的计算能够不用考虑原始参考值以及增大折射率探测范围,并验证高阶模对环境变化更敏感。通过理论分析,建立仿真模型,验证了该方法的可行性,并使用具有不同折射率的待测溶液开展传感实验,得到了91.79 nm/RIU的折射率灵敏度与10-5 RIU的分辨率。 展开更多
关键词 微环谐振器 折射率传感器 氮化硅波导
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用于单片集成传感系统的多晶硅级联自发光器件研究
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作者 唐宇 罗谦 +2 位作者 刘斯扬 SNYMAN Lukas W 徐开凯 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期180-188,共9页
针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结... 针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结果表明,多晶硅光源发光特征峰为635 nm、700 nm和785 nm,该特征峰作为波导入射光源时,设计的全硅波导检测结构能够实现检测目的。 展开更多
关键词 单片集成 硅基光源 氮化硅波导 生物传感器 折射率传感
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一种高性能硅基锗单行载流子光电探测器设计 被引量:1
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作者 马鹏程 孙思维 +5 位作者 刘丰满 薛海韵 孙瑜 何慧敏 李志雄 曹立强 《光通信研究》 北大核心 2019年第3期26-30,共5页
光电探测器作为光通信系统的核心器件之一,其性能对通信质量起着决定性的作用。随着光通信数据量的剧增,传统的光电探测器已经不能满足需求。文章提出一种集成氮化硅波导的高性能硅基锗单行载流子光电探测器。借助Lumerical FDTD和DEVIC... 光电探测器作为光通信系统的核心器件之一,其性能对通信质量起着决定性的作用。随着光通信数据量的剧增,传统的光电探测器已经不能满足需求。文章提出一种集成氮化硅波导的高性能硅基锗单行载流子光电探测器。借助Lumerical FDTD和DEVICE软件进行建模仿真,通过对波导结构以及探测器尺寸进行设计,最终该结构在1 550 nm波长和-1 V偏压下,响应度高达0.97 A/W,光电流线性输出>30 mA,3 dB带宽高达28 GHz。 展开更多
关键词 光通信 氮化硅波导 硅基锗 单行载流子光电探测器
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