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氮化硅微腔中的光学频率梳(特邀)
1
作者
李锦
王丕屿
+4 位作者
王正瑜
牛睿
万帅
郭光灿
董春华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第5期11-17,共7页
具有高品质因子(Q值)的光学谐振腔能够长时间将光束缚在较小的模式体积内,极大地增强了光与物质的相互作用,成为集成光学器件中具有重大潜力的重要组成部分。聚焦于目前广泛应用于集成非线性光学领域的氮化硅材料平台,为了解决大尺寸氮...
具有高品质因子(Q值)的光学谐振腔能够长时间将光束缚在较小的模式体积内,极大地增强了光与物质的相互作用,成为集成光学器件中具有重大潜力的重要组成部分。聚焦于目前广泛应用于集成非线性光学领域的氮化硅材料平台,为了解决大尺寸氮化硅微环腔由拼接误差、表面粗糙等因素导致的散射损耗较大的问题,进行了一系列的工艺改进以提高大尺寸氮化硅微环腔的品质因子。结果表明:通过薄膜再沉积工艺可以有效降低氮化硅波导的散射损耗,半径为560μm的大尺寸氮化硅微环腔的本征Q值得到了平均26%的提升。得益于提高的微腔Q值,在氮化硅微环腔中实现了重复频率40 GHz的光学频率梳。
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关键词
氮化硅微环腔
品质因子
光学频率梳
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职称材料
题名
氮化硅微腔中的光学频率梳(特邀)
1
作者
李锦
王丕屿
王正瑜
牛睿
万帅
郭光灿
董春华
机构
中国科学技术大学中国科学院量子信息重点实验室
中国科学技术大学中国科学院量子信息和量子物理协同创新中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第5期11-17,共7页
基金
国家自然科学基金(12104442,11934012)。
文摘
具有高品质因子(Q值)的光学谐振腔能够长时间将光束缚在较小的模式体积内,极大地增强了光与物质的相互作用,成为集成光学器件中具有重大潜力的重要组成部分。聚焦于目前广泛应用于集成非线性光学领域的氮化硅材料平台,为了解决大尺寸氮化硅微环腔由拼接误差、表面粗糙等因素导致的散射损耗较大的问题,进行了一系列的工艺改进以提高大尺寸氮化硅微环腔的品质因子。结果表明:通过薄膜再沉积工艺可以有效降低氮化硅波导的散射损耗,半径为560μm的大尺寸氮化硅微环腔的本征Q值得到了平均26%的提升。得益于提高的微腔Q值,在氮化硅微环腔中实现了重复频率40 GHz的光学频率梳。
关键词
氮化硅微环腔
品质因子
光学频率梳
Keywords
silicon nitride microring resonator
quality factor
optical frequency comb
分类号
O437 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
氮化硅微腔中的光学频率梳(特邀)
李锦
王丕屿
王正瑜
牛睿
万帅
郭光灿
董春华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
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