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XPS结合氩离子溅射剖析Si/C多层膜的化学状态
被引量:
3
1
作者
卢洋藩
王君
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期46-50,共5页
采用X射线光电子能谱结合氩离子溅射对用作锂离子电池负极的Si/C多层膜进行了表面测试及深度剖析,获得了Si/C多层膜结构中不同深度位置的成分及化学状态。分析结果表明,Si/C多层膜中各层Si、C薄膜之间存在界面元素相互扩散,扩散至相邻...
采用X射线光电子能谱结合氩离子溅射对用作锂离子电池负极的Si/C多层膜进行了表面测试及深度剖析,获得了Si/C多层膜结构中不同深度位置的成分及化学状态。分析结果表明,Si/C多层膜中各层Si、C薄膜之间存在界面元素相互扩散,扩散至相邻层薄膜中的Si、C元素主要以化合物SiC形式存在,且处于不同位置的SiC的化学键能受周围环境影响有所差别;氩离子对Si的溅射速率大于对C的溅射速率,存在择优溅射。
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关键词
X射线光电子能谱
氩离子溅射
深度剖析
锂
离子
电池负极
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职称材料
CeO_2乙苯脱氢催化剂的XRD、XPS研究
被引量:
6
2
作者
韩伟
林仁存
+1 位作者
谢兆雄
王水菊
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期701-704,共4页
利用XPS中的Ar+溅射技术,发现CeO2是一种Ce3+和Ce4+共存的混合价态氧化物,其表面Ce3+/Ce4+比是0.1.在乙苯脱氢条件下,CeO2催化剂表面存在如下动态平衡:CeO2■CeO2-x(0<x<0.3),CeO2和CeO2-x存在于同一晶体中,CaF2型晶体结构并没有...
利用XPS中的Ar+溅射技术,发现CeO2是一种Ce3+和Ce4+共存的混合价态氧化物,其表面Ce3+/Ce4+比是0.1.在乙苯脱氢条件下,CeO2催化剂表面存在如下动态平衡:CeO2■CeO2-x(0<x<0.3),CeO2和CeO2-x存在于同一晶体中,CaF2型晶体结构并没有发生改变.实验表明,稳定的苯乙烯收率与表面CeO2-CeO2-x稳定物相密切相关,乙苯催化脱氢的活性相可能是CeO2-CeO2-x.CeO2催化剂表面Ce3+/Ce4+比值下降,其副产物(苯和甲苯)含量随之减少,乙苯脱氢选择性随之提高.
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关键词
CEO2
乙苯脱氢
XPS
氩离子溅射
XRD
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职称材料
Ar^+刻蚀对MoS_2润滑膜分子结构的影响
被引量:
2
3
作者
齐尚奎
余来贵
+1 位作者
吕晋军
杨生荣
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期47-50,共4页
采用 Ar+ 离子溅射源进行 XPS和 AES剖面分析 ,结果发现 ,Ar+ 对 Mo S2 分子中的 S原子产生“择优”选择刻蚀并随之生成非化学计量比的 Mo Sx,Mo原子被还原 ,Mo3d结合能值向低端位移约 1.7e V.应该注意的是 ,采用 Ar+ 溅射进行 XPS剖面...
采用 Ar+ 离子溅射源进行 XPS和 AES剖面分析 ,结果发现 ,Ar+ 对 Mo S2 分子中的 S原子产生“择优”选择刻蚀并随之生成非化学计量比的 Mo Sx,Mo原子被还原 ,Mo3d结合能值向低端位移约 1.7e V.应该注意的是 ,采用 Ar+ 溅射进行 XPS剖面分析时不能确定材料表面和界面元素的化学价态 ,S/ Mo原子比同实验值之间亦存在差异 ,故应采用有关软件对实验结果进行修正 .
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关键词
氩离子溅射
择优刻蚀
XPS
AES
二硫化钼润滑膜
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职称材料
题名
XPS结合氩离子溅射剖析Si/C多层膜的化学状态
被引量:
3
1
作者
卢洋藩
王君
机构
浙江大学材料科学与工程学院
兰州大学物理科学与技术学院
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期46-50,共5页
基金
浙江省基础公益研究计划资助项目(LGC19E020002)
浙江大学实验技术研究资助项目(Zdjg08002)。
文摘
采用X射线光电子能谱结合氩离子溅射对用作锂离子电池负极的Si/C多层膜进行了表面测试及深度剖析,获得了Si/C多层膜结构中不同深度位置的成分及化学状态。分析结果表明,Si/C多层膜中各层Si、C薄膜之间存在界面元素相互扩散,扩散至相邻层薄膜中的Si、C元素主要以化合物SiC形式存在,且处于不同位置的SiC的化学键能受周围环境影响有所差别;氩离子对Si的溅射速率大于对C的溅射速率,存在择优溅射。
关键词
X射线光电子能谱
氩离子溅射
深度剖析
锂
离子
电池负极
Keywords
X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)
Ar ion sputtering
Depth analysis
Lithium ion battery anode
分类号
TH838 [机械工程—精密仪器及机械]
TH842 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
CeO_2乙苯脱氢催化剂的XRD、XPS研究
被引量:
6
2
作者
韩伟
林仁存
谢兆雄
王水菊
机构
厦门大学化学化工学院
固体表面物理化学国家重点实验室
出处
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期701-704,共4页
基金
厦门市创新基金(3502Z20031083)资助
文摘
利用XPS中的Ar+溅射技术,发现CeO2是一种Ce3+和Ce4+共存的混合价态氧化物,其表面Ce3+/Ce4+比是0.1.在乙苯脱氢条件下,CeO2催化剂表面存在如下动态平衡:CeO2■CeO2-x(0<x<0.3),CeO2和CeO2-x存在于同一晶体中,CaF2型晶体结构并没有发生改变.实验表明,稳定的苯乙烯收率与表面CeO2-CeO2-x稳定物相密切相关,乙苯催化脱氢的活性相可能是CeO2-CeO2-x.CeO2催化剂表面Ce3+/Ce4+比值下降,其副产物(苯和甲苯)含量随之减少,乙苯脱氢选择性随之提高.
关键词
CEO2
乙苯脱氢
XPS
氩离子溅射
XRD
Keywords
ceria ethylbenzene dehydrogenation XPS, Ar^+ ion-beam etching XRD
分类号
O643.3 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
Ar^+刻蚀对MoS_2润滑膜分子结构的影响
被引量:
2
3
作者
齐尚奎
余来贵
吕晋军
杨生荣
机构
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期47-50,共4页
文摘
采用 Ar+ 离子溅射源进行 XPS和 AES剖面分析 ,结果发现 ,Ar+ 对 Mo S2 分子中的 S原子产生“择优”选择刻蚀并随之生成非化学计量比的 Mo Sx,Mo原子被还原 ,Mo3d结合能值向低端位移约 1.7e V.应该注意的是 ,采用 Ar+ 溅射进行 XPS剖面分析时不能确定材料表面和界面元素的化学价态 ,S/ Mo原子比同实验值之间亦存在差异 ,故应采用有关软件对实验结果进行修正 .
关键词
氩离子溅射
择优刻蚀
XPS
AES
二硫化钼润滑膜
Keywords
Argon
Coatings
Crystal structure
Etching
Ion beam lithography
Lubrication
Molybdenum compounds
X ray photoelectron spectroscopy
分类号
TE626.4 [石油与天然气工程—油气加工工程]
O614.612 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
XPS结合氩离子溅射剖析Si/C多层膜的化学状态
卢洋藩
王君
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
CeO_2乙苯脱氢催化剂的XRD、XPS研究
韩伟
林仁存
谢兆雄
王水菊
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
Ar^+刻蚀对MoS_2润滑膜分子结构的影响
齐尚奎
余来贵
吕晋军
杨生荣
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
2
在线阅读
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职称材料
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