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XPS结合氩离子溅射剖析Si/C多层膜的化学状态 被引量:3
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作者 卢洋藩 王君 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期46-50,共5页
采用X射线光电子能谱结合氩离子溅射对用作锂离子电池负极的Si/C多层膜进行了表面测试及深度剖析,获得了Si/C多层膜结构中不同深度位置的成分及化学状态。分析结果表明,Si/C多层膜中各层Si、C薄膜之间存在界面元素相互扩散,扩散至相邻... 采用X射线光电子能谱结合氩离子溅射对用作锂离子电池负极的Si/C多层膜进行了表面测试及深度剖析,获得了Si/C多层膜结构中不同深度位置的成分及化学状态。分析结果表明,Si/C多层膜中各层Si、C薄膜之间存在界面元素相互扩散,扩散至相邻层薄膜中的Si、C元素主要以化合物SiC形式存在,且处于不同位置的SiC的化学键能受周围环境影响有所差别;氩离子对Si的溅射速率大于对C的溅射速率,存在择优溅射。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱 氩离子溅射 深度剖析 离子电池负极
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CeO_2乙苯脱氢催化剂的XRD、XPS研究 被引量:6
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作者 韩伟 林仁存 +1 位作者 谢兆雄 王水菊 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期701-704,共4页
利用XPS中的Ar+溅射技术,发现CeO2是一种Ce3+和Ce4+共存的混合价态氧化物,其表面Ce3+/Ce4+比是0.1.在乙苯脱氢条件下,CeO2催化剂表面存在如下动态平衡:CeO2■CeO2-x(0<x<0.3),CeO2和CeO2-x存在于同一晶体中,CaF2型晶体结构并没有... 利用XPS中的Ar+溅射技术,发现CeO2是一种Ce3+和Ce4+共存的混合价态氧化物,其表面Ce3+/Ce4+比是0.1.在乙苯脱氢条件下,CeO2催化剂表面存在如下动态平衡:CeO2■CeO2-x(0<x<0.3),CeO2和CeO2-x存在于同一晶体中,CaF2型晶体结构并没有发生改变.实验表明,稳定的苯乙烯收率与表面CeO2-CeO2-x稳定物相密切相关,乙苯催化脱氢的活性相可能是CeO2-CeO2-x.CeO2催化剂表面Ce3+/Ce4+比值下降,其副产物(苯和甲苯)含量随之减少,乙苯脱氢选择性随之提高. 展开更多
关键词 CEO2 乙苯脱氢 XPS 氩离子溅射 XRD
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Ar^+刻蚀对MoS_2润滑膜分子结构的影响 被引量:2
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作者 齐尚奎 余来贵 +1 位作者 吕晋军 杨生荣 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期47-50,共4页
采用 Ar+ 离子溅射源进行 XPS和 AES剖面分析 ,结果发现 ,Ar+ 对 Mo S2 分子中的 S原子产生“择优”选择刻蚀并随之生成非化学计量比的 Mo Sx,Mo原子被还原 ,Mo3d结合能值向低端位移约 1.7e V.应该注意的是 ,采用 Ar+ 溅射进行 XPS剖面... 采用 Ar+ 离子溅射源进行 XPS和 AES剖面分析 ,结果发现 ,Ar+ 对 Mo S2 分子中的 S原子产生“择优”选择刻蚀并随之生成非化学计量比的 Mo Sx,Mo原子被还原 ,Mo3d结合能值向低端位移约 1.7e V.应该注意的是 ,采用 Ar+ 溅射进行 XPS剖面分析时不能确定材料表面和界面元素的化学价态 ,S/ Mo原子比同实验值之间亦存在差异 ,故应采用有关软件对实验结果进行修正 . 展开更多
关键词 氩离子溅射 择优刻蚀 XPS AES 二硫化钼润滑膜
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