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氩氧流量比对CeO_x-SnO_x膜微观结构及光学性能的影响: 1; 作者那聪姜宏 +2 位作者蔡思翔冯建王红燕《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期861-866,873,共7页; 采用磁控反应共溅射的方法,以金属Ce和Sn为金属源,成功地制备出CeO_x-SnO_x薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜的结构、表面形貌及成分进行了分析和表征。结... 展开更多; 关键词磁控反应共溅射 CE Ox-Sn Ox薄膜氩氧流量比紫外截止; 在线阅读下载PDF 职称材料

氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响被引量：2: 2; 作者汪小小夏齐萍 +2 位作者吕建国宋学萍孙兆奇《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期393-396,共4页; 在室温下,利用射频磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备ZnO薄膜。通过控制O2/Ar流量比,研究O2/Ar流量比对ZnO薄膜的微结构、表面形貌及其光致发光特性的影响。X射线衍射仪和原子力显微镜结果显示,当O2/Ar流量比为3∶4时,所得薄膜... 展开更多; 关键词 ZNO薄膜反应溅射光致发光氧氩流量比; 在线阅读下载PDF 职称材料

氧氩流量比对氧化铋纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究: 3; 作者陈真英周际越 +1 位作者邓文彭富平《广西大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2021年第6期1620-1627,共8页; 为了制备出不同光电性能的氧化铋薄膜,并明晰其性能机理,以便后续研究与氧化锌薄膜复合成压敏薄膜。采用磁控溅射法,改变溅射气氛中氧气和氩气的流量比,在玻璃衬底上制备出了三个氧化铋薄膜样品,并对其微观形貌、结构及光电性能进行了... 展开更多; 关键词氧化铋薄膜磁控溅射氧氩流量比微结构光电性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜制备及其日盲紫外光电探测器性能研究: 4; 作者张献岳志昂 +6 位作者赵恩钦魏帅康叶文轩黄敏怡辛美波赵洋王辉《人工晶体学报》北大核心 2025年第3期462-469,共8页; 日盲紫外光电探测器(SBPDs)在军事、民用、医疗等领域存在巨大的应用潜力。本文采用射频磁控溅射技术制备Si掺杂氧化镓(Ga_(2)O_(3))薄膜,研究了氩氧流量比对其物理特性的影响。晶体结构、光学性质和表面形貌分析结果表明,当氩氧流量比... 展开更多; 关键词 Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜氩氧流量比磁控溅射异质结日盲紫外光电探测器; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氩氧流量比对CeO_x-SnO_x膜微观结构及光学性能的影响: 1; 作者那聪姜宏蔡思翔冯建王红燕; 机构海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室海南省特种玻璃国家重点实验室; 出处《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期861-866,873,共7页; 基金国家重点研发计划(2016YFC0700804); 文摘采用磁控反应共溅射的方法,以金属Ce和Sn为金属源,成功地制备出CeO_x-SnO_x薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜的结构、表面形貌及成分进行了分析和表征。结果表明薄膜以岛状模式生长,随氩氧比降低,结晶性增强,出现CeO_2和SnO相。此外,利用紫外-可见分光光度计对薄膜的光学性能进行了研究,测试结果表明薄膜对紫外光有极强的吸收作用。当氩氧流量比为3∶1时,紫外光平均透过率仅为5.80%,而可见光平均透过率为81.48%。; 关键词磁控反应共溅射 CE Ox-Sn Ox薄膜氩氧流量比紫外截止; Keywords reactive magnetron co-sputtering CeOx-SnOx thin film Ar/O2 flow ratio ultraviolet-shielding; 分类号 O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响被引量：2: 2; 作者汪小小夏齐萍吕建国宋学萍孙兆奇; 机构安徽大学物理与材料科学学院合肥师范学院物理与电子工程系; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期393-396,共4页; 基金国家自然科学基金(No.50872001 51072001) +2 种基金安徽高校省级自然科学研究重点项目(No.KJ2010A284); 文摘在室温下,利用射频磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备ZnO薄膜。通过控制O2/Ar流量比,研究O2/Ar流量比对ZnO薄膜的微结构、表面形貌及其光致发光特性的影响。X射线衍射仪和原子力显微镜结果显示,当O2/Ar流量比为3∶4时,所得薄膜结晶度最佳,表面粗糙度为0.725 nm;荧光光谱显示,ZnO薄膜在波长407 nm附近出现紫光发光峰,该发光峰源于氧空位浅施主能级到价带顶的电子跃迁,发射强度随O2/Ar流量比的增加先减小后增加。; 关键词 ZNO薄膜反应溅射光致发光氧氩流量比; Keywords ZnO films； Reactive sputtering； Photoluminescence； O2/Ar flow ratio；; 分类号 TN383.2 [电子电信—物理电子学] O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氧氩流量比对氧化铋纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究: 3; 作者陈真英周际越邓文彭富平; 机构北部湾大学理学院广西大学物理科学与工程技术学院; 出处《广西大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2021年第6期1620-1627,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(51862031) 北部湾大学高层次人才科研启动项目(18KYQD50)。; 文摘为了制备出不同光电性能的氧化铋薄膜,并明晰其性能机理,以便后续研究与氧化锌薄膜复合成压敏薄膜。采用磁控溅射法,改变溅射气氛中氧气和氩气的流量比,在玻璃衬底上制备出了三个氧化铋薄膜样品,并对其微观形貌、结构及光电性能进行了测试分析。结果表明:溅射气氛中的氧氩流量比对薄膜微结构及光电性能影响显著;不同氧氩流量比制备的Bi_(2)O_(3)薄膜中均含BiO_(2)和Bi杂相,且随着氧氩流量比由0∶40增大至4∶36,薄膜中Bi含量减少,BiO_(2)增加;薄膜颜色由黑变黄;沉积速率由14 nm/min减少至12 nm/min;晶粒尺寸增大,表面趋向致密均匀,可见光区透过率由0.25%增加到56.73%;禁带宽度由0增加到3.17 eV;载流子浓度、导电性能急剧降低,调节溅射气氛中氧氩流量比可有效控制氧化铋薄膜的禁带宽度,载流子浓度等,从而获得不同光电性能的薄膜样品。; 关键词氧化铋薄膜磁控溅射氧氩流量比微结构光电性能; Keywords bismuth oxide film magnetron sputtering the ratio of oxygen to argon microstructure photoelectric performance; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜制备及其日盲紫外光电探测器性能研究: 4; 作者张献岳志昂赵恩钦魏帅康叶文轩黄敏怡辛美波赵洋王辉; 机构河南科技大学物理工程学院; 出处《人工晶体学报》北大核心 2025年第3期462-469,共8页; 基金国家自然科学基金(61674052,52002120) 河南省自然科学基金(242300420280) 河南省科技研发计划联合基金(242103810049)。; 文摘日盲紫外光电探测器(SBPDs)在军事、民用、医疗等领域存在巨大的应用潜力。本文采用射频磁控溅射技术制备Si掺杂氧化镓(Ga_(2)O_(3))薄膜,研究了氩氧流量比对其物理特性的影响。晶体结构、光学性质和表面形貌分析结果表明,当氩氧流量比为30∶20时,薄膜的结晶质量最好。Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜沿(402)晶面择优生长,表面平整光滑,无微孔洞,400~800 nm波段的平均透过率为90%。基于优化的Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜制备条件,本文制备了p-GaN/n-Ga_(2)O_(3)∶Si自供电SBPDs,其在0 V偏压254 nm光照下的上升时间和衰减时间分别为0.450和0.509 s,光暗电流比(PDCR)、响应度(R)和比探测率(D*)分别为23、0.24 mA/W和1.67×10^(8)Jones。研究了器件在0~-6 V偏压下的周期性时间响应特性,在0 V偏压下,器件在254 nm辐照瞬间出现尖峰,当施加反向偏压时,尖峰消失。最后分析了p-GaN/Ga_(2)O_(3)∶Si异质结在接触前、后及反向偏压下的能带图。; 关键词 Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜氩氧流量比磁控溅射异质结日盲紫外光电探测器; Keywords Ga_(2)O_(3)∶Si thin film argon-oxyge flow ratio magnetron sputtering heterojunction solar-blind ultraviolet photodetector; 分类号 TN304 [电子电信—物理电子学] O475 [理学—半导体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	氩氧流量比对CeO_x-SnO_x膜微观结构及光学性能的影响	那聪姜宏蔡思翔冯建王红燕	《人工晶体学报》 CSCD 北大核心	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响	汪小小夏齐萍吕建国宋学萍孙兆奇	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	氧氩流量比对氧化铋纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究	陈真英周际越邓文彭富平	《广西大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心	2021	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜制备及其日盲紫外光电探测器性能研究	张献岳志昂赵恩钦魏帅康叶文轩黄敏怡辛美波赵洋王辉	《人工晶体学报》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料