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极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的影响
被引量：
2
1
作者
庄娟
王德真
刘莉莹
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期3015-3019,共5页
基于1维流体力学模型,对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究。模型中考虑了氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等7个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子,包括电子、氩原子离子Ar+、氩分子离子Ar2+和氩激发态Ar*等...
基于1维流体力学模型,对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究。模型中考虑了氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等7个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子,包括电子、氩原子离子Ar+、氩分子离子Ar2+和氩激发态Ar*等,建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了极板电压、极板间距对上述粒子数密度分布的影响。给出了电子,Ar+,Ar*和Ar2+密度随极板电压及间距变化的时空演化过程。得出极板电压或极板间距的改变会使放电空间的电场发生改变,对应一定的极板间距,极板电压有一个最佳值,极板电压和间距的变化会使对应的极板间有一个最佳电场值,而对应最佳电场有一个等离子体气体间最佳反应系数,从而使放电空间粒子数密度发生改变。
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关键词
极板电压
极板间距
大气压
射频
氩
等
离子
体
放电参数
atmospheric
pressure
粒子数密度
放电空间
放电过程
流体力学模型
反应系数
电场
氩原子离子
流平衡方程
连续性方程
演化过程
密度分布
金属电极
激发态
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职称材料
惯性约束聚变应用中全套原子参数研制
2
作者
方泉玉
李萍
+2 位作者
李月明
颜君
王建国
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第B04期191-192,共2页
基于Cowan的准相对论程序包 ,文中扩充和发展了一系列组态平均、单组态和多组态不同层次的程序包 ,计算惯性约束聚变数值模拟及光谱诊断中需要的各种原子参数。本文以类氢、类氦和类锂的氩原子离子为例 ,计算了主量子数n≤ 6所有组态平...
基于Cowan的准相对论程序包 ,文中扩充和发展了一系列组态平均、单组态和多组态不同层次的程序包 ,计算惯性约束聚变数值模拟及光谱诊断中需要的各种原子参数。本文以类氢、类氦和类锂的氩原子离子为例 ,计算了主量子数n≤ 6所有组态平均层次相关的电子碰撞激发和电离 ,光激发和电离 ,自电离 ,辐射复合、双电子复合、三体复合过程截面和速率系数等全套原子参数。截面和速率系数被拟合成可以方便使用的解析公式。
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关键词
准相对论理论
全套
原子
参数
解析拟合公式
氩原子离子
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职称材料
题名
极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的影响
被引量：
2
1
作者
庄娟
王德真
刘莉莹
机构
School of Physics and Optoelectronic Technology
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期3015-3019,共5页
基金
国家自然科学基金项目(10775026)
文摘
基于1维流体力学模型,对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究。模型中考虑了氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等7个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子,包括电子、氩原子离子Ar+、氩分子离子Ar2+和氩激发态Ar*等,建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了极板电压、极板间距对上述粒子数密度分布的影响。给出了电子,Ar+,Ar*和Ar2+密度随极板电压及间距变化的时空演化过程。得出极板电压或极板间距的改变会使放电空间的电场发生改变,对应一定的极板间距,极板电压有一个最佳值,极板电压和间距的变化会使对应的极板间有一个最佳电场值,而对应最佳电场有一个等离子体气体间最佳反应系数,从而使放电空间粒子数密度发生改变。
关键词
极板电压
极板间距
大气压
射频
氩
等
离子
体
放电参数
atmospheric
pressure
粒子数密度
放电空间
放电过程
流体力学模型
反应系数
电场
氩原子离子
流平衡方程
连续性方程
演化过程
密度分布
金属电极
激发态
Keywords
Atmospheric pressure
Atmospherics
Radio
Radio waves
分类号
O4 [理学—物理]
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职称材料
题名
惯性约束聚变应用中全套原子参数研制
2
作者
方泉玉
李萍
李月明
颜君
王建国
机构
北京应用物理与计算数学研究所
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第B04期191-192,共2页
基金
国家自然科学基金 ( 10 1740 0 6)
国家 863惯性约束聚变主题的资助项目
文摘
基于Cowan的准相对论程序包 ,文中扩充和发展了一系列组态平均、单组态和多组态不同层次的程序包 ,计算惯性约束聚变数值模拟及光谱诊断中需要的各种原子参数。本文以类氢、类氦和类锂的氩原子离子为例 ,计算了主量子数n≤ 6所有组态平均层次相关的电子碰撞激发和电离 ,光激发和电离 ,自电离 ,辐射复合、双电子复合、三体复合过程截面和速率系数等全套原子参数。截面和速率系数被拟合成可以方便使用的解析公式。
关键词
准相对论理论
全套
原子
参数
解析拟合公式
氩原子离子
分类号
O562.4 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的影响
庄娟
王德真
刘莉莹
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
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职称材料
2
惯性约束聚变应用中全套原子参数研制
方泉玉
李萍
李月明
颜君
王建国
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
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