检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的XPS研究被引量：6: 1; 作者李庚伟吴正龙 +3 位作者杨锡震杨少延张建辉刘志凯《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期174-179,共6页; 利用X射线光电子能谱深度剖析方法对ZnO/Si异质结构进行了分析 .用该法可生长出正化学比的ZnO ,不过生长的ZnO薄膜存在孔隙 ,工艺还有待进一步改进 .; 关键词 ZnO/Si异质结构 X射线光电子能谱氧离子束辅助薄膜激光器; 在线阅读下载PDF 职称材料

氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的研究被引量：5: 2; 作者李庚伟吴正龙 +2 位作者邵素珍张建辉刘志凯《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期109-111,共3页; 利用 X 射线衍射(XRD),X 射线摇摆曲线(XRC)和 X 射线光电子能谱(XPS)分析方法对氧离子束辅助激光淀积生长的 ZnO/Si 异质结薄膜进行了分析。结果表明:用该法可生长出高度 c 轴单一取向 ZnO 薄膜,XRC 的半高宽度(FWHM)仅为2.918°... 展开更多; 关键词 ZnO/Si 氧离子束辅助激光淀积生长异质结薄膜 X射线摇摆曲线 X射线光电子能谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

氧离子束辅助激光淀积生长ZnO／Si的XPS探究被引量：3: 3; 作者李庚伟吴正龙 +1 位作者邵素珍刘志凯《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期255-258,263,共5页; 为了探究ZnO/Si内部化学成分及有关信息,用氧离子束辅助(O+-assisted)脉冲激光淀积(PLD)法在不同实验条件下生长成ZnO/Si(111)样品.利用X射线光电子能谱(XPS)对长成的ZnO/Si异质结构进行了异位测试.通过对O1s峰及其肩状结构进行拟合、分... 展开更多; 关键词 ZnO/N异质结构氧离子束辅助PLD X射线光电子能谱(XPS); 在线阅读下载PDF 职称材料

X光电子能谱研究氧离子束辅助PLD共淀积ZnO薄膜被引量：3: 4; 作者吴正龙李庚伟《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期373-376,372,共5页; 在ZnO的XPS分析中,ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态,结合O1s光电子峰的分析,可表征ZnO中缺氧程度。通过XPS的对比实验,表明采用氧(O)离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜,能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题,降低薄膜层中的孔隙率,提... 展开更多; 关键词 X光电子能谱俄歇电子能谱氧化锌氧离子束辅助PLD共淀积; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的XPS研究被引量：6: 1; 作者李庚伟吴正龙杨锡震杨少延张建辉刘志凯; 机构北京师范大学分析测试中心中国科学院半导体材料科学实验室; 出处《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期174-179,共6页; 基金国家"八六三"计划资助; 文摘利用X射线光电子能谱深度剖析方法对ZnO/Si异质结构进行了分析 .用该法可生长出正化学比的ZnO ,不过生长的ZnO薄膜存在孔隙 ,工艺还有待进一步改进 .; 关键词 ZnO/Si异质结构 X射线光电子能谱氧离子束辅助薄膜激光器; Keywords ZnO/Si heterostructure X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) O + -assisted pulsed laser deposition (PLD); 分类号 O484.1 [理学—固体物理] TN248.25 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的研究被引量：5: 2; 作者李庚伟吴正龙邵素珍张建辉刘志凯; 机构中国地质大学材料科学与工程学院北京师范大学分析测试中心北京市第四十七中学中国科学院半导体材料科学实验室; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期109-111,共3页; 基金国家"863"计划资助项目(863-715-001-0162); 文摘利用 X 射线衍射(XRD),X 射线摇摆曲线(XRC)和 X 射线光电子能谱(XPS)分析方法对氧离子束辅助激光淀积生长的 ZnO/Si 异质结薄膜进行了分析。结果表明:用该法可生长出高度 c 轴单一取向 ZnO 薄膜,XRC 的半高宽度(FWHM)仅为2.918°。表明此生长方法经优化,可生长出单晶质量很好的 ZnO/Si 薄膜。; 关键词 ZnO/Si 氧离子束辅助激光淀积生长异质结薄膜 X射线摇摆曲线 X射线光电子能谱; Keywords ZnO/Si heterostrueture O^+-assisted pulsed laser deposition X-ray diffraction(PLD) X-ray rocking curve X-ray photoelectron spectroscopy full width of half height c-axis aligned; 分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氧离子束辅助激光淀积生长ZnO／Si的XPS探究被引量：3: 3; 作者李庚伟吴正龙邵素珍刘志凯; 机构中国地质大学(北京)材料科学与工程学院北京师范大学分析测试中心北京市第四十七中学中国科学院半导体材料科学实验室; 出处《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期255-258,263,共5页; 基金国家高技术研究发展计划资助项目(7150010162) 中国地质大学(北京)科技基金资助项目(200524); 文摘为了探究ZnO/Si内部化学成分及有关信息,用氧离子束辅助(O+-assisted)脉冲激光淀积(PLD)法在不同实验条件下生长成ZnO/Si(111)样品.利用X射线光电子能谱(XPS)对长成的ZnO/Si异质结构进行了异位测试.通过对O1s峰及其肩状结构进行拟合、分析,得到了原子数密度比n(O)∶n(Zn),进而探究了原子数密度比与生长质量的关系.结果表明,用氧离子束辅助PLD法,可在较低的衬底温度190℃和适当O+束流条件下,生长出正化学比接近于1,且c轴单一取向最佳的ZnO/Si薄膜.用氧离子束辅助PLD淀积法生长ZnO薄膜,可以改善缺氧状况,能提供一个富氧环境.; 关键词 ZnO/N异质结构氧离子束辅助PLD X射线光电子能谱(XPS); Keywords ZnO/Si heterostrueture O^＋ -assisted pulsed laser deposition （PLD） X-ray photoelectron spec-troscopy （ XPS ）; 分类号 O484.1 [理学—固体物理] TN248.1 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名X光电子能谱研究氧离子束辅助PLD共淀积ZnO薄膜被引量：3: 4; 作者吴正龙李庚伟; 机构北京师范大学分析测试中心中国地质大学材料科学与工程学院; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期373-376,372,共5页; 基金国家863高科技计划项目(No.715-001-0162) 中国地质大学(北京)科学技术基金资助项目(No.200524); 文摘在ZnO的XPS分析中,ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态,结合O1s光电子峰的分析,可表征ZnO中缺氧程度。通过XPS的对比实验,表明采用氧(O)离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜,能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题,降低薄膜层中的孔隙率,提高淀积ZnO薄膜质量。XPS深度剖析结果还表明采用O离子辅助PLD共淀积后膜层中Zn的氧化组分和孔隙率随深度变化平缓。; 关键词 X光电子能谱俄歇电子能谱氧化锌氧离子束辅助PLD共淀积; Keywords X-ray photoelectron spectroscopy （XPS） auger electron spectroscopy （AES） zenic oxide PLD with assisted oxygen ion beam; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的XPS研究	李庚伟吴正龙杨锡震杨少延张建辉刘志凯	《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心	2001	6	在线阅读下载PDF 职称材料
2	氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的研究	李庚伟吴正龙邵素珍张建辉刘志凯	《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	氧离子束辅助激光淀积生长ZnO／Si的XPS探究	李庚伟吴正龙邵素珍刘志凯	《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	X光电子能谱研究氧离子束辅助PLD共淀积ZnO薄膜	吴正龙李庚伟	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料