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题名离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究
被引量：8
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作者
初国强
王子君
刘星元
王立军
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机构
中国科学院激发态物理开放研究实验室
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2001年第2期135-139,共5页
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基金
中国科学院"九五"重大资助项目
高等学校重点实验室访问学者基金资助项目
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文摘
报道了采用离子辅助电子枪蒸发技术制备优质氧化锌透明导电膜的工艺和结果 ,分析了源掺杂 ,镀膜气氛 ,衬底温度等参数与膜的电导率及透光特性的关系 ,作出了电阻率低达 2× 1 0 - 3Ω· cm,厚为 40 0 nm的膜的方块电阻为 1× 1 0 3Ω/□ ,可见光透过率大于 80 %的优质透明导电膜。实验表明氧离子辅助蒸发可增加氧化锌分子的能量 ,提高其迁移率 ,显著提高薄膜的致密程度 ;氧离子能使分解的锌原子充分氧化 ;离子轰击可平滑薄膜表面。总之 。
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关键词
氧化锌透明导电膜
离子辅助蒸发
电子束蒸发
氧化物半导体
电导率
透光特性
源参杂
镀膜气氛
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Keywords
zinc oxide
transparent conductive film
IAD
electron beam evaporation
oxide semiconductor
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分类号
O484.4
[理学—固体物理]
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题名掺杂透明导电半导体薄膜的光电性能研究
被引量：8
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作者
葛春桥
郭爱云
胡小峰
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机构
武汉理工大学材料科学与工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2006年第1期40-42,共3页
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文摘
掺杂氧化锌透明导电膜(AZO)是一种重要的光电子信息材料,其制备方法有真空蒸镀法、磁控溅射法,化学气相沉积和脉冲激光沉积法等。该文采用溶胶-凝胶(so l-gel)工艺在普通玻璃基片上成功地制备出A l3+掺杂型ZnO透明导电薄膜。将这种薄膜在空气和真空中以不同的温度进行了退火处理,并对薄膜进行了XRD分析和光电性能研究。结果表明,所制备的薄膜为钎锌矿型结构,在c轴方向择优生长,真空退火有利于薄膜结晶状况的改善,并使薄膜的载流子浓度大幅度地增加而电阻率下降,并且真空退火对薄膜的透射率影响不大。
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关键词
溶胶-凝胶
AZO薄膜
真空退火
掺杂氧化锌透明导电膜
光电性能
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Keywords
sol-gel technique
AZO thin film
vacuum annealing
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分类号
O484.41
[理学—固体物理]
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