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用等离子体辅助分子束外延生长氧化锌单晶薄膜
被引量：
9
1
作者
梁红伟
颜建锋
+7 位作者
吕有明
申德振
刘益春
赵东旭
李炳辉
张吉英
范希武
范景田
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期147-150,共4页
利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)方法,通过优化生长条件,在c平面蓝宝石(Al_2O_3)上生长出氧化锌(ZnO)单晶薄膜。使用反射式高能衍射仪(RHEED)原位监测到样品表面十分平整,X射线摇摆曲线(XRC)测得ZnO薄膜的<002>取向半峰全宽为0...
利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)方法,通过优化生长条件,在c平面蓝宝石(Al_2O_3)上生长出氧化锌(ZnO)单晶薄膜。使用反射式高能衍射仪(RHEED)原位监测到样品表面十分平整,X射线摇摆曲线(XRC)测得ZnO薄膜的<002>取向半峰全宽为0.20°,证实为ZnO单晶薄膜。室温下吸收谱(ABS)和光致发光(PL)谱显示了较强的激子吸收和发射,且无深能级(DL)发光。电学性能测量表明,生长的ZnO为n型半导体,室温下载流于浓度为7×10^(16) cm^(-3),与体单晶ZnO中的载流子浓度相当。
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关键词
氧化锌单晶薄膜
薄膜
生长
分子束外延
等离子体辅助
蓝宝石衬底
反射式高能衍射仪
光电材料
在线阅读
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职称材料
一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法
2
《无机盐工业》
CAS
北大核心
2005年第2期61-61,共1页
本发明公开了一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法，其步骤为：对蓝宝石(0001)衬底表面进行预处理和氮化处理，修正和控制蓝宝石(0001)衬底的原子结构，以实现ZnO基薄膜的极性控制生长和消除旋转畴；采用在低、中、高3个温度分别生长...
本发明公开了一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法，其步骤为：对蓝宝石(0001)衬底表面进行预处理和氮化处理，修正和控制蓝宝石(0001)衬底的原子结构，以实现ZnO基薄膜的极性控制生长和消除旋转畴；采用在低、中、高3个温度分别生长ZnO基薄膜的缓冲层、三维岛状层和外延层，从而实现失配应变的充分释放，得到单一Zn极性和O极性的原子级光滑的高质量ZnO基薄膜。
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关键词
制备方法
氧化
锌
基
单晶
薄膜
蓝宝石
氮化处理
ZNO
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职称材料
题名
用等离子体辅助分子束外延生长氧化锌单晶薄膜
被引量：
9
1
作者
梁红伟
颜建锋
吕有明
申德振
刘益春
赵东旭
李炳辉
张吉英
范希武
范景田
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室
长春职业技术学院
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期147-150,共4页
基金
国家"863"高技术项目
新材料领域(2001AA31112)
+3 种基金
中国科学院创新项目
中国科学院百人计划项目
国家自然科学基金(60176003
60278031)
文摘
利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)方法,通过优化生长条件,在c平面蓝宝石(Al_2O_3)上生长出氧化锌(ZnO)单晶薄膜。使用反射式高能衍射仪(RHEED)原位监测到样品表面十分平整,X射线摇摆曲线(XRC)测得ZnO薄膜的<002>取向半峰全宽为0.20°,证实为ZnO单晶薄膜。室温下吸收谱(ABS)和光致发光(PL)谱显示了较强的激子吸收和发射,且无深能级(DL)发光。电学性能测量表明,生长的ZnO为n型半导体,室温下载流于浓度为7×10^(16) cm^(-3),与体单晶ZnO中的载流子浓度相当。
关键词
氧化锌单晶薄膜
薄膜
生长
分子束外延
等离子体辅助
蓝宝石衬底
反射式高能衍射仪
光电材料
Keywords
ZnO single crystal thin film
RF plasma
molecular beam epitacy
sapphire substrate
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法
2
出处
《无机盐工业》
CAS
北大核心
2005年第2期61-61,共1页
文摘
本发明公开了一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法，其步骤为：对蓝宝石(0001)衬底表面进行预处理和氮化处理，修正和控制蓝宝石(0001)衬底的原子结构，以实现ZnO基薄膜的极性控制生长和消除旋转畴；采用在低、中、高3个温度分别生长ZnO基薄膜的缓冲层、三维岛状层和外延层，从而实现失配应变的充分释放，得到单一Zn极性和O极性的原子级光滑的高质量ZnO基薄膜。
关键词
制备方法
氧化
锌
基
单晶
薄膜
蓝宝石
氮化处理
ZNO
分类号
TQ132.41 [化学工程—无机化工]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用等离子体辅助分子束外延生长氧化锌单晶薄膜
梁红伟
颜建锋
吕有明
申德振
刘益春
赵东旭
李炳辉
张吉英
范希武
范景田
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法
《无机盐工业》
CAS
北大核心
2005
0
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