不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性 被引量：2

1

作者 张东平 邵淑英 +3 位作者 黄建兵 占美琼 范正修 邵建达 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期37-40,52,共5页

在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了氧化锆薄膜。用扫描探针显微镜、X射线衍射仪和分光光度计分别对薄膜的表面粗糙度、微结构和透射谱等特性进行了表征。实验发现,薄膜沉积中氧分压与薄膜性质及微结构有密切的关系。当氧分压... 在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了氧化锆薄膜。用扫描探针显微镜、X射线衍射仪和分光光度计分别对薄膜的表面粗糙度、微结构和透射谱等特性进行了表征。实验发现,薄膜沉积中氧分压与薄膜性质及微结构有密切的关系。当氧分压由3.0×10-3Pa升高到11×10-3Pa,薄膜的表面粗糙度由3.012nm降低到1.562nm,而薄膜的折射率由2.06降低到2.01。此外,X射线的衍射还发现,薄膜是以四方相为主多相共存的,随着氧分压的增加,特征衍射峰强度逐渐减弱,最后完全变成非晶。 展开更多

关键词 氧化锆薄膜 氧分压 表面迁移率 薄膜特性

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钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工 被引量：5

2

作者 张卫华 赵高扬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期424-428,共5页

以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫... 以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相. 展开更多

关键词 氧化锆薄膜 溶胶-凝胶法 感光性 微细图形 制备 微细加工 YSZ薄膜

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反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究 被引量：3

3

作者 马春雨 李智 张庆瑜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1206-1210,共5页

采用反应射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了不同微结构的铝掺杂氧化锆薄膜.利用高分辨透射电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了退火温度对铝掺杂氧化锫薄膜热学稳定性、界面稳定性和表面粗糙度的影响,探讨了铝掺杂氧化锆薄膜... 采用反应射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了不同微结构的铝掺杂氧化锆薄膜.利用高分辨透射电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了退火温度对铝掺杂氧化锫薄膜热学稳定性、界面稳定性和表面粗糙度的影响,探讨了铝掺杂氧化锆薄膜的I-V特性与薄膜的微观状态之间的关系.研究结果显示:在铝掺杂氧化锆薄膜中掺入不同量的Al对薄膜的微结构有较大影响,随着薄膜中Al/Zr原子含量比的增大,薄膜微结构经历从α-ZrO_2(未掺杂)到t-(Zr,Al)O_2相和c-(Zr,Al)O_2相(Al/Zr=1/4)再到α-(Zr,Al)O_2(Al/Zr=4/5)的变化;与纯ZrO_2薄膜相比,Al掺杂氧化锫(Al/Zr=4/5)薄膜的结晶化温度明显提高,薄膜热学稳定性得到改善. 展开更多

关键词 薄膜物理学 铝掺杂氧化锆薄膜 磁控溅射 热稳定性

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反应射频磁控溅射制备高k氧化锆薄膜及介电性能的研究 被引量：3

4

作者 马春雨 李智 张庆瑜 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期453-456,共4页

　在氧气和氩气的混合气体中,在O2/Ar混和气总流量固定的条件下,通过调节O2/Ar流量比,采用反应RF磁控溅射法制备了具有高介电常数的氧化锆薄膜。通过透射电子显微镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)研究了O2/Ar流量比与薄膜微观组织和结构、表... 　在氧气和氩气的混合气体中,在O2/Ar混和气总流量固定的条件下,通过调节O2/Ar流量比,采用反应RF磁控溅射法制备了具有高介电常数的氧化锆薄膜。通过透射电子显微镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)研究了O2/Ar流量比与薄膜微观组织和结构、表面平整度之间的关系,并测试分析了在不同O2/Ar流量比下溅射沉积的Al/ZrO2/SiO2/n型Si叠层结构的C V特性曲线。实验结果表明O2/Ar流量比与薄膜微观组织和结构有一定的关系。纯氧气氛下沉积的ZrO2薄膜基本上为纳米级的微晶,晶体结构为单斜结构(a=5.17、b=5.26、c=5.3、α=γ=90°,β=80.17°),在O2/Ar流量比为1∶4混合气氛下制备出了具有非晶结构的均质ZrO2薄膜;低的O2/Ar流量比下溅射得到的ZrO2薄膜样片,均方根粗糙度较低,表面平整度较好;在O2/Ar流量比为1∶4左右时,ZrO2薄膜的相对介电常数达到25。 展开更多

关键词 反应RF磁控溅射法 氧化锆薄膜 表面粗糙度 高介电常数

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退火温度对溶胶-凝胶法制备氧化锆薄膜性能影响的研究 被引量：1

5

作者 刘莹 章德发 +2 位作者 殷艳飞 刘小龙 王军 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第24期160-164,共5页

采用溶胶-凝胶法,在316L不锈钢基底上以5 cm/min的提拉速度制备氧化锆(ZrO_2)薄膜。用XRD分析了不同退火温度下制备的氧化锆干凝胶粉末的物相结构;采用扫描电镜观察了薄膜表面的显微结构;对比了不同退火温度对薄膜亲/疏水性能的影响;通... 采用溶胶-凝胶法,在316L不锈钢基底上以5 cm/min的提拉速度制备氧化锆(ZrO_2)薄膜。用XRD分析了不同退火温度下制备的氧化锆干凝胶粉末的物相结构;采用扫描电镜观察了薄膜表面的显微结构;对比了不同退火温度对薄膜亲/疏水性能的影响;通过计算薄膜的表面能及其与血液组分的界面张力,分析了退火温度对氧化锆薄膜血液相容性的影响;测试了试样的动电位极化曲线并分析其耐腐蚀性能。结果表明:采用500℃退火可以得到晶粒颗粒小、表面平整的四方相结构氧化锆薄膜,其与血液相容性最好,耐腐蚀性较强。 展开更多

关键词 氧化锆薄膜 316L不锈钢 溶胶-凝胶法 血液相容性 耐腐蚀性

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溅射功率对二氧化锆薄膜结构及力学性能的影响研究 被引量：6

6

作者 彭塞奥 王天齐 +12 位作者 金克武 杨扬 李刚 姚婷婷 杨勇 沈洪雪 鲍田 汤永康 金良茂 王东 苏文静 沈鸿烈 甘治平 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2019年第10期3133-3138,3144,共7页

为了研究溅射功率对二氧化锆薄膜结构及力学性能的影响,使用射频反应磁控溅射技术在常温下以玻璃为基底使用不同功率镀制了800 nm左右的ZrO2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品结晶情况,表面和断面形貌进行表征,结... 为了研究溅射功率对二氧化锆薄膜结构及力学性能的影响,使用射频反应磁控溅射技术在常温下以玻璃为基底使用不同功率镀制了800 nm左右的ZrO2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品结晶情况,表面和断面形貌进行表征,结果显示镀制的ZrO2薄膜均为单斜晶体,晶粒尺寸变化不大;随着功率的升高,薄膜从纳米晶结构转变为柱状晶结构。使用纳米压痕仪对薄膜表面进行硬度和弹性模量测试,发现随着功率升高,硬度和弹性模量均出现上升趋势,进一步增加功率出现下降,再上升的变化;在沉积功率为65 W时,可得到厚度为800 nm,弹性恢复量,硬度,弹性模量和塑性指数均最高,分别为88.55%,25.42 GPa,228.6 GPa和0.314的ZrO2薄膜。不同的溅射功率会镀制出不同结构的二氧化锆薄膜,在常温低功率溅射条件下二氧化锆薄膜结构是影响其力学性能的重要因素。 展开更多

关键词 氧化锆薄膜 射频反应磁控溅射 弹性恢复量 硬度 弹性模量 功率 结构

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双层干压制备阳极支撑的氧化锆薄膜燃料电池 被引量：5

7

作者 刘克艳 吕喆 +4 位作者 贾莉 陈孔发 魏波 李淑彦 苏文辉 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期737-740,共4页

采用一种既简单又经济的双层干压法,NiO-YSZ阳极基底上制备致密的氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)固体电解质薄膜,经1400!共烧结后,得到厚度约60"130mm的YSZ薄膜。薄膜的厚度可以通过调整YSZ粉体质量来控制。测试了NiO-YSZ支撑体材料和YS... 采用一种既简单又经济的双层干压法,NiO-YSZ阳极基底上制备致密的氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)固体电解质薄膜,经1400!共烧结后,得到厚度约60"130mm的YSZ薄膜。薄膜的厚度可以通过调整YSZ粉体质量来控制。测试了NiO-YSZ支撑体材料和YSZ的干压坯体烧结曲线,以确定烧结收缩率。对薄膜进行的X-射线衍射(XRD)测量结果表明,薄膜为YSZ的立方萤石结构,NiO与YSZ在烧结条件下未发生反应。以此方法制备的不同厚度的YSZ薄膜为电解质,NiO-YSZ金属陶瓷为阳极,La0.7Sr0.3MnO(LSM)阴极制成固体氧化物燃料电池(SOFC)单电池,对单电池的放电性能及其在工作条件下的阻抗谱进行了测试。电池的开路电压始终在1V左右,900!最大电流密度达1.3A·cm#2。分别在800!和900!时得到了175mW·cm#2和300mW·cm#2的最大比功率。 展开更多

关键词 YSZ薄膜 双层干压法 共烧结 固体氧化物燃料电池 氧化锆薄膜 阳极基底 制备 支撑 固体电解质薄膜 X-射线衍射

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O_(2)/Ar流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学性能的影响 被引量：2

8

作者 许文举 鞠鹏飞 +3 位作者 李红轩 吉利 刘晓红 陈建敏 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期65-74,共10页

采用多弧离子镀(MAIP)方法在Inconel 718高温合金基体上沉积了氧化锆(ZrOx)薄膜,并对该薄膜进行了800℃退火处理;研究了O2/Ar两种气体流量比RO2/Ar(0.25、0.43、0.67、1.00、1.50)及退火处理对沉积态薄膜的微观结构、力学性能及摩擦学... 采用多弧离子镀(MAIP)方法在Inconel 718高温合金基体上沉积了氧化锆(ZrOx)薄膜,并对该薄膜进行了800℃退火处理;研究了O2/Ar两种气体流量比RO2/Ar(0.25、0.43、0.67、1.00、1.50)及退火处理对沉积态薄膜的微观结构、力学性能及摩擦学性能的影响。结果表明:随着RO2/Ar从0.25升高到1.50,沉积态薄膜的主要物相组成由不稳定的锆的氧化物(h-ZrO0.35、h-ZrO2、h-Zr3O)逐渐转变为稳定的m-ZrO2,薄膜截面结构由起初疏松的柱状晶逐渐转变为排列致密的柱状晶,薄膜硬度逐渐升高,O2/Ar比为1.50时最大为16.7 GPa。低RO2/Ar下沉积的薄膜摩擦学性能很差,很快磨穿失效。当RO2/Ar超过0.67时,薄膜的摩擦寿命显著提高,RO2/Ar为1.50时薄膜磨损率最低为1.45×10-6mm3/(N·m)。沉积态薄膜经过退火处理后主要物相转变为m-ZrO2,薄膜表面变得更加光滑致密,薄膜硬度、弹性模量以及摩擦学性能均较退火前明显改善。 展开更多

关键词 多弧离子镀 氧化锆薄膜 退火处理 力学性能 摩擦学性能

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掺钇二氧化锆薄膜制备及其特性测量 被引量：1

9

作者 任树喜 马洪良 +3 位作者 徐国庆 高召顺 周炯 张义炳 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期173-176,共4页

采用电子束蒸发法在室温下制备出掺钇二氧化锆薄膜.借助紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)方法研究了薄膜的透射率、表面结构.同时研究了不同退火温度下对薄膜光学性质的影响.研究的结果表明:退火温度的增加,使得二氧... 采用电子束蒸发法在室温下制备出掺钇二氧化锆薄膜.借助紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)方法研究了薄膜的透射率、表面结构.同时研究了不同退火温度下对薄膜光学性质的影响.研究的结果表明:退火温度的增加,使得二氧化锆薄膜的漏电流增大,从而导致其热稳定性变差.不同浓度三氧化二钇的掺杂对其透射率影响很小. 展开更多

关键词 电子束蒸发 掺钇氧化锆薄膜 退火温度 透射率

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二氧化锆薄膜制备及其特性测量 被引量：2

10

作者 任树喜 马洪良 +1 位作者 徐国庆 张义炳 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期222-224,共3页

在室温下采用电子束蒸发的办法制备二氧化锆(ZrO2)薄膜。借助紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)等方法研究了薄膜的透射率和表面结构。同时研究了不同退火温度对薄膜物理性质的影响。在退火温度700,900,1 050 ℃时显... 在室温下采用电子束蒸发的办法制备二氧化锆(ZrO2)薄膜。借助紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)等方法研究了薄膜的透射率和表面结构。同时研究了不同退火温度对薄膜物理性质的影响。在退火温度700,900,1 050 ℃时显微镜图像没有明显差别。随着退火温度的变大,薄膜表面的晶粒的直径逐渐变大,但粒径均在25 nm左右。当退火温度达到 1 150 ℃时,粒径变得很大(约 400 nm)。在700,900,1 050 ℃下退火后的薄膜的X射线衍射谱没有明显差别。在退火温度1 150 ℃下出现了较高的峰,研究结果表明:退火温度的增加,大量大粒径二氧化锆单晶晶粒出现,使得二氧化锆薄膜的漏电流增大,从而导致其热稳定性变差。 展开更多

关键词 电子束蒸发 氧化锆(ZrO2)薄膜 退火温度 透射率

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流延工艺制备氧化锆燃料电池薄膜的研究进展

11

作者 刘庆 欧阳雪琼 +2 位作者 刘文财 吕洋 王双喜 《材料导报》 北大核心 2025年第10期1-10,共10页

8%(摩尔分数,如无特别说明,下同)氧化钇稳定的氧化锆(8YSZ)薄膜是固体氧化物燃料电池(SOFC)的核心部件,直接影响SOFC的输出性能。本文介绍了氧化锆电解质薄膜化工艺,详细地分析了烧结助剂、粘结剂体系以及浆料流变性对氧化锆浆料的影响... 8%(摩尔分数,如无特别说明,下同)氧化钇稳定的氧化锆(8YSZ)薄膜是固体氧化物燃料电池(SOFC)的核心部件,直接影响SOFC的输出性能。本文介绍了氧化锆电解质薄膜化工艺,详细地分析了烧结助剂、粘结剂体系以及浆料流变性对氧化锆浆料的影响,总结了流延速度、干燥环境等流延工艺参数对氧化锆流延生带厚度以及品质的作用,并对近年来氧化锆生带的先进烧结方式进行了阐述,讨论了电解质厚度及结构对氧化锆电解质薄膜致密度与离子电导率的影响,最后对流延成型工艺制备高品质的氧化锆薄膜的前景和方向进行了展望。 展开更多

关键词 流延成型 氧化锆薄膜 8YSZ 电解质 SOFC 烧结助剂 离子电导率

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旋涂法制备氧化锆介质层及其在薄膜晶体管中的应用 被引量：4

12

作者 钟云肖 周尚雄 +6 位作者 姚日晖 蔡炜 朱镇南 魏靖林 徐海涛 宁洪龙 彭俊彪 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期214-219,共6页

采用旋涂法制备了氧化锆介质层薄膜,重点讨论了退火温度以及旋涂转速对薄膜性能的影响及作用机制。研究发现高温后退火一方面使得氧化锆水合物脱水形成氧化锆,另一方面促使氧化锆薄膜结晶。此外,转速较高时,其变化对薄膜厚度及粗糙度无... 采用旋涂法制备了氧化锆介质层薄膜,重点讨论了退火温度以及旋涂转速对薄膜性能的影响及作用机制。研究发现高温后退火一方面使得氧化锆水合物脱水形成氧化锆,另一方面促使氧化锆薄膜结晶。此外,转速较高时,其变化对薄膜厚度及粗糙度无显著影响。当转速为5 000 r/min、退火温度为300℃时,制备的绝缘层厚度具有良好的厚度均匀性,粗糙度为0.7 nm,漏电流为3.13×10-5A/cm2(电场强度1 MV/cm)。最终,利用Zr O2薄膜作为栅极绝缘层,在玻璃基板上制备了铟镓锌氧化物-薄膜晶体管(IGZO-TFT),其迁移率为6.5 cm2/(V·s),开关比为2×104。 展开更多

关键词 氧化锆薄膜 溶液法 旋涂转速 退火温度

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氧化参数对锆合金表面原位薄膜性能的影响规律

13

作者 袁祖浩 鲍曼雨 +1 位作者 汪瑞军 关成君 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期291-294,共4页

通过高温氧化工艺原位形成氧化锆膜技术是提高生物医学植入用锆合金材料使用性能的有效手段。采用扫描电子显电镜(SEM)、表面硬度测试、X射线衍射(XRD)及球盘式摩擦试验等方法研究了氧化温度及保温时间对氧化锆膜性能的影响规律。结果表... 通过高温氧化工艺原位形成氧化锆膜技术是提高生物医学植入用锆合金材料使用性能的有效手段。采用扫描电子显电镜(SEM)、表面硬度测试、X射线衍射(XRD)及球盘式摩擦试验等方法研究了氧化温度及保温时间对氧化锆膜性能的影响规律。结果表明:氧化温度与保温时间增加,均会使氧化薄膜厚度增加,其中氧化温度对氧化薄膜厚度影响更大;氧化薄膜中t-ZrO_2体积分数是影响氧化薄膜表面硬度的重要因素,当氧化温度为500℃时,随着保温时间增加,氧化薄膜t-ZrO_2体积分数相应增加,其表面硬度增大;而当氧化温度为550℃时,氧化薄膜的t-ZrO_2体积分数和表面硬度均先增加后降低;获得氧化薄膜厚度、硬度与摩擦性能综合性能最优的参数为氧化温度550℃,保温时间6 h。 展开更多

关键词 锆合金 高温氧化 氧化锆薄膜 生物医学材料 摩擦性能

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钽-氧化锆光纤黑体腔温度传感器特性参数测试 被引量：5

14

作者 郝晓剑 桑涛 +1 位作者 潘保武 周汉昌 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期373-378,共6页

为了实现恶劣环境、狭小空间瞬态高温的测量,采用溅射、等离子体喷涂技术研制了蓝宝石光纤钽(熔点为2 997℃)-氧化锆(熔点为2 715℃)薄膜黑体腔瞬态高温传感器。设计了3支水电解的氢氧焰枪组成的恒温高温静态灵敏度标定装置和大功率高... 为了实现恶劣环境、狭小空间瞬态高温的测量,采用溅射、等离子体喷涂技术研制了蓝宝石光纤钽(熔点为2 997℃)-氧化锆(熔点为2 715℃)薄膜黑体腔瞬态高温传感器。设计了3支水电解的氢氧焰枪组成的恒温高温静态灵敏度标定装置和大功率高频可调制CO2激光脉冲作为阶跃激励源的动态特性标定装置。测试结果表明:当静态灵敏度标定装置恒温区为1 721℃、传感器抗冲击能力达到50 MPa以上时,传感器测得的温度为2 802℃;当CO2激光脉冲作为1 500℃高温阶跃输入信号时,测得该传感器时间常数为微秒数量级。 展开更多

关键词 仪器仪表技术 钽-氧化锆薄膜 动态特性 瞬态超高温 抗冲击能力 测试

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ZrO_2薄膜的力学性能和摩擦学性能研究 被引量：6

15

作者 王金清 刘晓红 +1 位作者 单小东 杨生荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期669-673,共5页

在单晶硅表面成功地获得了自组装单层薄膜 (MPTS SAM) ,并将薄膜表面的巯基 ( SH)完全氧化成磺酸基 ( SO3H) ,从而获得了磺酸化的MPTS SAM。采用静电自组装技术成功使ZrO2 纳米微粒组装到磺酸化的MPTS SAM表面获得淀积ZrO2 薄膜。将ZrO2... 在单晶硅表面成功地获得了自组装单层薄膜 (MPTS SAM) ,并将薄膜表面的巯基 ( SH)完全氧化成磺酸基 ( SO3H) ,从而获得了磺酸化的MPTS SAM。采用静电自组装技术成功使ZrO2 纳米微粒组装到磺酸化的MPTS SAM表面获得淀积ZrO2 薄膜。将ZrO2 薄膜分别在 5 0 0°C和 80 0°C进行热处理后 ,ZrO2 薄膜的厚度逐渐减小 ,这可能是随着温度的升高薄膜的表面密度逐渐增大所致。对ZrO2 薄膜的力学和抗划伤性能分析发现 :随着温度的升高 ,ZrO2 薄膜的硬度和弹性模量依次增加 ,同时薄膜的抗划伤性能也逐渐提高。摩擦磨损实验表明 :利用该方法制备的ZrO2 薄膜经 80 0°C烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层。 展开更多

关键词 氧化锆薄膜 力学性能 抗划伤性能 摩擦学性能

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控制水解Sol-gel法制备氧化钇稳定的ZrO_2膜(英文) 被引量：1

16

作者 彭定坤 杨萍华 +3 位作者 宛传浩 陈初升 夏长荣 孟广耀 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期305-309,共5页

应用硝酸钇水溶液和冰乙酸为水解剂，通过丙醇锆控制水解的溶胶凝胶法制备稳定的溶胶先驱物．研究表明：氧化物、水及酸的含量是影响氧化锆溶胶稳定性和胶凝时间的主要因素，而在溶胶中加进高聚物能够延长胶凝时间和调节溶胶粘度．氧... 应用硝酸钇水溶液和冰乙酸为水解剂，通过丙醇锆控制水解的溶胶凝胶法制备稳定的溶胶先驱物．研究表明：氧化物、水及酸的含量是影响氧化锆溶胶稳定性和胶凝时间的主要因素，而在溶胶中加进高聚物能够延长胶凝时间和调节溶胶粘度．氧化钇稳定的氧化锆膜是通过将多孔αＡｌ２Ｏ３衬底插入溶胶中，然后干燥和灼烧而制得．实验发现，为避免操作过程中出现裂纹和针孔要注意下述几点：（１）需要合适的溶胶浓度和粘度；（２）支撑体应有平滑的表面和窄的孔尺寸分布，并用高聚物溶液涂敷表面进行预处理；（３）在相对湿度３３７６％的气氛下干燥；（４）加热速率要低，特别在灼烧的早期阶段． 展开更多

关键词 氧化钇 氧化锆薄膜 控制水解 陶瓷 SOL-GEL法

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硅烷化单晶硅表面自组装ZrO_2薄膜及其摩擦学性能研究 被引量：2

17

作者 王金清 刘晓红 +1 位作者 许世红 杨生荣 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第9期41-44,共4页

利用自组装成膜技术在磺酸化的MPTS自组装单层薄膜表面制备了ZrO2薄膜,应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的组成和结构。结果表明:该ZrO2薄膜比较致密、无裂缝,呈"准二维"特征,且与基... 利用自组装成膜技术在磺酸化的MPTS自组装单层薄膜表面制备了ZrO2薄膜,应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的组成和结构。结果表明:该ZrO2薄膜比较致密、无裂缝,呈"准二维"特征,且与基底的牢固性好。摩擦磨损试验表明:ZrO2薄膜经500℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层。 展开更多

关键词 自组装单层薄膜 氧化锆薄膜 摩擦学性能

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介孔Au/ZrO2复合薄膜的制备及其三阶非线性光学性能(英文)

18

作者 陆强 崔方明 +2 位作者 魏晨阳 华子乐 董长青 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期327-331,共5页

以尿素为沉淀剂,通过沉积沉淀的方法,制备了高分散的金纳米颗粒负载的介孔氧化锆薄膜;以1064 nm激光为入射光束,通过Z扫描实验测试了复合薄膜的非线性光学折射和吸收,并计算了复合薄膜的非共振三阶非线性光学极化率（~10-10esu）,金纳... 以尿素为沉淀剂,通过沉积沉淀的方法,制备了高分散的金纳米颗粒负载的介孔氧化锆薄膜;以1064 nm激光为入射光束,通过Z扫描实验测试了复合薄膜的非线性光学折射和吸收,并计算了复合薄膜的非共振三阶非线性光学极化率（~10-10esu）,金纳米颗粒的高分散性和氧化锆薄膜衬底的高线性折射率使复合薄膜显示了增强的三阶非线性极化率. 展开更多

关键词 金纳米颗粒 介孔 氧化锆薄膜 三阶非线性光学性能

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ZrO_2薄膜的X射线光电子能谱分析

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作者 娄彦良 肖文凯 李元科 《郑州工业大学学报》 CAS 2000年第4期39-41,共3页

用X射线光电子能谱 (XPS)对自制ZrO2 薄膜进行了成分分析 .结果发现 ,在基片有负偏压的条件下 ,薄膜发生了氧缺位现象 ,退火处理可以补偿氧缺位 .在膜表面存在一个Y的偏聚层 .

关键词 氧化锆薄膜 X射线光电子能谱 成分

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ZrO_(x)N_(y)薄膜的制备与低温电输运特性研究 被引量：1

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作者 孙晓敏 柏欣博 +5 位作者 陈赋聪 黄荣进 王维 袁洁 金魁 李来风 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期31-35,共5页

针对于测温应用中对低温温度计的性能需求,为了获得灵敏度高和测温区间宽的氮氧化锆(ZrO_(x)N_(y))电阻温度传感薄膜,系统研究了溅射气氛中O_(2)流量对ZrO_(x)N_(y)薄膜结构和低温电输运行为的影响。采用射频反应磁控溅射工艺,通过精细... 针对于测温应用中对低温温度计的性能需求,为了获得灵敏度高和测温区间宽的氮氧化锆(ZrO_(x)N_(y))电阻温度传感薄膜,系统研究了溅射气氛中O_(2)流量对ZrO_(x)N_(y)薄膜结构和低温电输运行为的影响。采用射频反应磁控溅射工艺,通过精细调整溅射沉积过程中的O_(2)流量在Al_(2)O_(3)基片上生长了系列ZrO_(x)N_(y)薄膜,测定了薄膜的晶体结构、形貌和低温电输运特性。结果表明,随着O_(2)流量(0—0.24×1.6667×10^(-8)m^(3)/s)的增大,ZrO_(x)N_(y)薄膜由单晶ZrN(002)相转变为ZrN和ZrO_(2)两相,低温电输运行为由半导体-超导向半导体-绝缘特性演变,电阻率在10^(3)—10^(8)μΩ·cm的范围内变化。薄膜的灵敏度和电阻温度系数的绝对值(|S|、|TCR|)均与生长气氛O_(2)流量呈正相关,在0.24×1.6667×10^(-8)m^(3)/s的O_(2)流量下达到了较高的|S|和|TCR|。生长气氛中O_(2)流量对薄膜低温电输运行为的显著影响为优化ZrO_(x)N_(y)低温温度计的性能提供了新的思路。 展开更多

关键词 氮氧化锆薄膜 低温电输运 电阻温度系数

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