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高纯氖中杂质含量的测定 被引量:3
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作者 路家兵 曹尚峰 +2 位作者 熊万红 谢欣 谢程 《低温与特气》 CAS 2011年第5期32-34,38,共4页
介绍了一种利用热导检测器(TCD)、氧化锆检测器(ZrO2D)、脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)分析高纯氖中微量氦、氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷的方法。经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度。
关键词 热导检测器 氧化锆检测器 脉冲放电氦离子化检测器 高纯氖
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