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基于有机电致发光显示的透明导电膜ITO
被引量:
12
1
作者
占红明
饶海波
张化福
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2004年第5期386-390,共5页
介绍了ITO作为OLED器件阳电极时,ITO各参数对OLED整体性能,如发光亮度、效率、寿命和稳定性的影响,并以溅射ITO工艺为例,分析了制备与处理环境对ITO的方阻、透过率、表面平整度及功函数的影响。针对其成因,提出了一些改进措施。对高性...
介绍了ITO作为OLED器件阳电极时,ITO各参数对OLED整体性能,如发光亮度、效率、寿命和稳定性的影响,并以溅射ITO工艺为例,分析了制备与处理环境对ITO的方阻、透过率、表面平整度及功函数的影响。针对其成因,提出了一些改进措施。对高性能平板显示OLED器件用透明导电阳极的研制具有一定的参考价值。
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关键词
铟锡
氧化
物
膜
有机电致发光显示
透明导电
膜
荧光寿命
表面平整度
透过率
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职称材料
衬底偏压对膜表面层成分的影响
2
作者
仲永安
张怀武
许武毅
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
1990年第1期11-15,共5页
本文就溅射镀膜中,衬底偏压对膜表面层成份的影响作了定性分析。给出了在不同偏压下氧化铟锡(简称ITO)膜表面成份的俄歇探针分析结果,X射线衍射结果以及扫描电镜能谱和观察结果,从而得出衬底在加偏压0~100伏之间时,有利用提高膜的性能...
本文就溅射镀膜中,衬底偏压对膜表面层成份的影响作了定性分析。给出了在不同偏压下氧化铟锡(简称ITO)膜表面成份的俄歇探针分析结果,X射线衍射结果以及扫描电镜能谱和观察结果,从而得出衬底在加偏压0~100伏之间时,有利用提高膜的性能的结论.
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关键词
溅射镀
膜
偏压
氧化铟锡膜
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职称材料
ITO玻璃在线等离子体清洗的研究
被引量:
3
3
作者
吴桂初
王德苗
+1 位作者
任高潮
陈抗生
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第6期499-500,共2页
通过在线等离子体清洗的玻璃基片表面沉积的ITO (或SiO2 )膜 ,不仅具有优良的光电特性 ,而且提高了膜层在基片上的附着力。与未经在线等离子体清洗的基片沉积的ITO膜相比 ,膜层附着力提高了 3.5倍。此项成果已在ITO膜透明导电玻璃连续...
通过在线等离子体清洗的玻璃基片表面沉积的ITO (或SiO2 )膜 ,不仅具有优良的光电特性 ,而且提高了膜层在基片上的附着力。与未经在线等离子体清洗的基片沉积的ITO膜相比 ,膜层附着力提高了 3.5倍。此项成果已在ITO膜透明导电玻璃连续生产线上得到应用。
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关键词
等离子体
表面处理
ITO
膜
附着力
氧化铟锡膜
导电玻璃
液晶显示器
导电电极
制备
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职称材料
TFT-LCD HADS显示模式下黑白Mura机理研究及设计优化
被引量:
3
4
作者
郑箫逸
袁帅
+4 位作者
崔晓鹏
林鸿涛
陈维涛
薛海林
邵喜斌
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期261-266,共6页
随着高分辨率TFT-LCD HADS产品的开发,一种与像素ITO图形密切相关、有明暗(黑白)亮度差异、不同视角观察下存在黑白反转现象的Mura不良高发。经过对不良产品的参数测量和模拟分析,确定发生该不良的原因是在邻近区域内,像素开口区内的像...
随着高分辨率TFT-LCD HADS产品的开发,一种与像素ITO图形密切相关、有明暗(黑白)亮度差异、不同视角观察下存在黑白反转现象的Mura不良高发。经过对不良产品的参数测量和模拟分析,确定发生该不良的原因是在邻近区域内,像素开口区内的像素电极ITO(1ITO)图形和公共电极ITO(2ITO)图形发生了不同程度的相对偏移,电场分布存在差异,因此亮度发生明显差异;而且由于图形间的相对偏移导致电极间的电场发生偏移,形成像素左右两侧的一侧为强电场,一侧为弱电场,因而会出现从一侧观察发亮而从另一侧观察发暗、左右视角观察的黑白反转现象。Mura区与相邻OK区1ITO?2ITO对位差异为0.5μm。通过1ITO和2ITO的线宽设计优化,可提高产品对此偏移不均一的容忍度。最终采用最佳1ITO、2ITO线宽条件生产,配合1ITO和2ITO共用设备及TP非线性补正等条件并举,此不良由高发时的14.2%降至0.2%以下。本文研究成果对于高分辨率HADS产品的设计和性能改善,有着重要的指导和参考意义。
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关键词
黑白Mura
对位偏移
氧化铟锡膜
电场
均一
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职称材料
题名
基于有机电致发光显示的透明导电膜ITO
被引量:
12
1
作者
占红明
饶海波
张化福
机构
电子科技大学光电信息学院
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2004年第5期386-390,共5页
基金
电子科技大学 浙江阳光集团联合OLED器件研发项目(No.W050317)
文摘
介绍了ITO作为OLED器件阳电极时,ITO各参数对OLED整体性能,如发光亮度、效率、寿命和稳定性的影响,并以溅射ITO工艺为例,分析了制备与处理环境对ITO的方阻、透过率、表面平整度及功函数的影响。针对其成因,提出了一些改进措施。对高性能平板显示OLED器件用透明导电阳极的研制具有一定的参考价值。
关键词
铟锡
氧化
物
膜
有机电致发光显示
透明导电
膜
荧光寿命
表面平整度
透过率
Keywords
organic light-emitting diodes display
transparent conductor films
indium tin oxide
分类号
TN873.3 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
衬底偏压对膜表面层成分的影响
2
作者
仲永安
张怀武
许武毅
机构
陕西师范大学
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
1990年第1期11-15,共5页
文摘
本文就溅射镀膜中,衬底偏压对膜表面层成份的影响作了定性分析。给出了在不同偏压下氧化铟锡(简称ITO)膜表面成份的俄歇探针分析结果,X射线衍射结果以及扫描电镜能谱和观察结果,从而得出衬底在加偏压0~100伏之间时,有利用提高膜的性能的结论.
关键词
溅射镀
膜
偏压
氧化铟锡膜
Keywords
substrate
biasing voltage
sputtering
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
ITO玻璃在线等离子体清洗的研究
被引量:
3
3
作者
吴桂初
王德苗
任高潮
陈抗生
机构
温州师范学院物理系
浙江大学信息与电子工程系
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第6期499-500,共2页
文摘
通过在线等离子体清洗的玻璃基片表面沉积的ITO (或SiO2 )膜 ,不仅具有优良的光电特性 ,而且提高了膜层在基片上的附着力。与未经在线等离子体清洗的基片沉积的ITO膜相比 ,膜层附着力提高了 3.5倍。此项成果已在ITO膜透明导电玻璃连续生产线上得到应用。
关键词
等离子体
表面处理
ITO
膜
附着力
氧化铟锡膜
导电玻璃
液晶显示器
导电电极
制备
Keywords
Plasma, Surface processing, ITO films ,Cohesion
分类号
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
TN105 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
TFT-LCD HADS显示模式下黑白Mura机理研究及设计优化
被引量:
3
4
作者
郑箫逸
袁帅
崔晓鹏
林鸿涛
陈维涛
薛海林
邵喜斌
机构
北京京东方显示技术有限公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期261-266,共6页
文摘
随着高分辨率TFT-LCD HADS产品的开发,一种与像素ITO图形密切相关、有明暗(黑白)亮度差异、不同视角观察下存在黑白反转现象的Mura不良高发。经过对不良产品的参数测量和模拟分析,确定发生该不良的原因是在邻近区域内,像素开口区内的像素电极ITO(1ITO)图形和公共电极ITO(2ITO)图形发生了不同程度的相对偏移,电场分布存在差异,因此亮度发生明显差异;而且由于图形间的相对偏移导致电极间的电场发生偏移,形成像素左右两侧的一侧为强电场,一侧为弱电场,因而会出现从一侧观察发亮而从另一侧观察发暗、左右视角观察的黑白反转现象。Mura区与相邻OK区1ITO?2ITO对位差异为0.5μm。通过1ITO和2ITO的线宽设计优化,可提高产品对此偏移不均一的容忍度。最终采用最佳1ITO、2ITO线宽条件生产,配合1ITO和2ITO共用设备及TP非线性补正等条件并举,此不良由高发时的14.2%降至0.2%以下。本文研究成果对于高分辨率HADS产品的设计和性能改善,有着重要的指导和参考意义。
关键词
黑白Mura
对位偏移
氧化铟锡膜
电场
均一
Keywords
black and white Mura
overlay
ITO
electric field
uniformity
分类号
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于有机电致发光显示的透明导电膜ITO
占红明
饶海波
张化福
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2004
12
在线阅读
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职称材料
2
衬底偏压对膜表面层成分的影响
仲永安
张怀武
许武毅
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
1990
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
ITO玻璃在线等离子体清洗的研究
吴桂初
王德苗
任高潮
陈抗生
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
TFT-LCD HADS显示模式下黑白Mura机理研究及设计优化
郑箫逸
袁帅
崔晓鹏
林鸿涛
陈维涛
薛海林
邵喜斌
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2019
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
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