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基于有机电致发光显示的透明导电膜ITO 被引量:12
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作者 占红明 饶海波 张化福 《液晶与显示》 CAS CSCD 2004年第5期386-390,共5页
介绍了ITO作为OLED器件阳电极时,ITO各参数对OLED整体性能,如发光亮度、效率、寿命和稳定性的影响,并以溅射ITO工艺为例,分析了制备与处理环境对ITO的方阻、透过率、表面平整度及功函数的影响。针对其成因,提出了一些改进措施。对高性... 介绍了ITO作为OLED器件阳电极时,ITO各参数对OLED整体性能,如发光亮度、效率、寿命和稳定性的影响,并以溅射ITO工艺为例,分析了制备与处理环境对ITO的方阻、透过率、表面平整度及功函数的影响。针对其成因,提出了一些改进措施。对高性能平板显示OLED器件用透明导电阳极的研制具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 铟锡氧化 有机电致发光显示 透明导电 荧光寿命 表面平整度 透过率
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衬底偏压对膜表面层成分的影响
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作者 仲永安 张怀武 许武毅 《表面技术》 EI CAS CSCD 1990年第1期11-15,共5页
本文就溅射镀膜中,衬底偏压对膜表面层成份的影响作了定性分析。给出了在不同偏压下氧化铟锡(简称ITO)膜表面成份的俄歇探针分析结果,X射线衍射结果以及扫描电镜能谱和观察结果,从而得出衬底在加偏压0~100伏之间时,有利用提高膜的性能... 本文就溅射镀膜中,衬底偏压对膜表面层成份的影响作了定性分析。给出了在不同偏压下氧化铟锡(简称ITO)膜表面成份的俄歇探针分析结果,X射线衍射结果以及扫描电镜能谱和观察结果,从而得出衬底在加偏压0~100伏之间时,有利用提高膜的性能的结论. 展开更多
关键词 溅射镀 偏压 氧化铟锡膜
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ITO玻璃在线等离子体清洗的研究 被引量:3
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作者 吴桂初 王德苗 +1 位作者 任高潮 陈抗生 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第6期499-500,共2页
通过在线等离子体清洗的玻璃基片表面沉积的ITO (或SiO2 )膜 ,不仅具有优良的光电特性 ,而且提高了膜层在基片上的附着力。与未经在线等离子体清洗的基片沉积的ITO膜相比 ,膜层附着力提高了 3.5倍。此项成果已在ITO膜透明导电玻璃连续... 通过在线等离子体清洗的玻璃基片表面沉积的ITO (或SiO2 )膜 ,不仅具有优良的光电特性 ,而且提高了膜层在基片上的附着力。与未经在线等离子体清洗的基片沉积的ITO膜相比 ,膜层附着力提高了 3.5倍。此项成果已在ITO膜透明导电玻璃连续生产线上得到应用。 展开更多
关键词 等离子体 表面处理 ITO 附着力 氧化铟锡膜 导电玻璃 液晶显示器 导电电极 制备
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TFT-LCD HADS显示模式下黑白Mura机理研究及设计优化 被引量:3
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作者 郑箫逸 袁帅 +4 位作者 崔晓鹏 林鸿涛 陈维涛 薛海林 邵喜斌 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期261-266,共6页
随着高分辨率TFT-LCD HADS产品的开发,一种与像素ITO图形密切相关、有明暗(黑白)亮度差异、不同视角观察下存在黑白反转现象的Mura不良高发。经过对不良产品的参数测量和模拟分析,确定发生该不良的原因是在邻近区域内,像素开口区内的像... 随着高分辨率TFT-LCD HADS产品的开发,一种与像素ITO图形密切相关、有明暗(黑白)亮度差异、不同视角观察下存在黑白反转现象的Mura不良高发。经过对不良产品的参数测量和模拟分析,确定发生该不良的原因是在邻近区域内,像素开口区内的像素电极ITO(1ITO)图形和公共电极ITO(2ITO)图形发生了不同程度的相对偏移,电场分布存在差异,因此亮度发生明显差异;而且由于图形间的相对偏移导致电极间的电场发生偏移,形成像素左右两侧的一侧为强电场,一侧为弱电场,因而会出现从一侧观察发亮而从另一侧观察发暗、左右视角观察的黑白反转现象。Mura区与相邻OK区1ITO?2ITO对位差异为0.5μm。通过1ITO和2ITO的线宽设计优化,可提高产品对此偏移不均一的容忍度。最终采用最佳1ITO、2ITO线宽条件生产,配合1ITO和2ITO共用设备及TP非线性补正等条件并举,此不良由高发时的14.2%降至0.2%以下。本文研究成果对于高分辨率HADS产品的设计和性能改善,有着重要的指导和参考意义。 展开更多
关键词 黑白Mura 对位偏移 氧化铟锡膜 电场 均一
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