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透明导电玻璃(ITO)基材自加热传感静态芯片聚合酶链反应(PCR)
被引量:
3
1
作者
吴志勇
田晓溪
+2 位作者
渠柏艳
陈坤
方芳
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期2259-2263,共5页
利用商品化ITO玻璃导电层的温阻效应,无需任何微加工手段,实现了自加热和传感的芯片温度自动程序控制,最大程度地减小了传感滞后对温度控制稳定性的影响,温度控制的稳定性达到了0.2℃,升温速度最快可达20℃/s以上,在冷却风扇辅助下降温...
利用商品化ITO玻璃导电层的温阻效应,无需任何微加工手段,实现了自加热和传感的芯片温度自动程序控制,最大程度地减小了传感滞后对温度控制稳定性的影响,温度控制的稳定性达到了0.2℃,升温速度最快可达20℃/s以上,在冷却风扇辅助下降温速度最快达到了8℃/s.芯片温控单元的引线从传统的两对(一对用于传感,一对用于加热)减少为一对.通过在该芯片上直接构建多个开放微池反应器的方法成功地实现了λDNA 157 bp片段的并行扩增.将该芯片置于倒置荧光显微镜样品台上,以蓝色(575 nm)发光二极管为光源,以光电倍增管为检测手段检测了dsDNA和SYBR GreenⅠ嵌合物的荧光强度随温度的实时变化曲线.
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关键词
氧化
铟锡
(
ito
)
玻璃
自
加热
传感温控
静态芯片聚合酶链反应
原位实时荧光监测
发光二极管
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职称材料
空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺
2
作者
金鹤
周灵平
+3 位作者
朱家俊
符立才
杨武霖
李德意
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第17期158-162,共5页
ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根...
ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根据模拟结果采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积MgF2薄膜和氧化铟锡(ITO)薄膜,研究了ITO薄膜工艺参数(沉积速率、沉积温度和工作气压)和ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光电性能及微观结构的影响。当ITO薄膜沉积速率为0.05nm/s、沉积温度为400℃、工作气压为2.3×10^(-2) Pa、厚度为10nm时,表层ITO薄膜基本连续,其方块电阻(1.94kΩ/)已符合设计需求,ITO/MgF2复合薄膜在可见光区间(400~800nm)的平均透过率达到89.00%。
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关键词
氧化
铟锡
(
ito
)薄膜
防静电
空间太阳电池
MgF2薄膜
电子束蒸发
玻璃
盖板
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职称材料
基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器
3
作者
仲逸飞
林祖德
刘景全
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021年第6期509-514,共6页
碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果。基于微电子机械系统(MEMS)薄...
碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果。基于微电子机械系统(MEMS)薄膜制备工艺,利用溅射沉积了氧化铟锡(ITO)薄膜与Cr/Au薄膜,利用剥离工艺将薄膜图形化后制备了微加热器的结构。经过光学、热学和电学测试可知,该微加热器在700~900 nm波长内能够保持80%以上的透光率;在外接电压不低于4 V时,能为碱金属蒸气腔室提供100℃以上的工作温度;在5~10 min的预热时间后,该微加热器的加热范围可以覆盖双腔体蒸气腔室75%以上的区域。该微加热器很好地满足了多腔体蒸气腔室的使用需求。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
微
加热
器
碱金属
原子钟
氧化
铟锡
(
ito
)
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职称材料
芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计
被引量:
1
4
作者
刘召军
李坤
+3 位作者
李云超
胡旭文
闫树斌
张彦军
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019年第6期410-414,420,共6页
芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(I...
芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(ITO)加热玻璃。温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求。通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线。实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考。
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关键词
芯片原子钟(CSAC)
数字温控
饱和吸收
微电子机械系统(MEMS)原子气室
氧化
铟锡
(
ito
)
加热
玻璃
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职称材料
过冷沸腾单汽泡可视化试验台的设计与实现
被引量:
1
5
作者
黄莹
高璞珍
+2 位作者
徐鹏
王忠乙
王超群
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期932-937,共6页
为了研究过冷沸腾两相流动工况下气泡的生长及脱离等运动特性,本文从单个沸腾汽泡的产生出发,考虑了影响汽泡产生的主要因素,通过对氧化铟锡(ITO)导电玻璃表面进行处理后通上合适电压,完成了过冷沸腾条件下汽泡生成可视化实验台设计,研...
为了研究过冷沸腾两相流动工况下气泡的生长及脱离等运动特性,本文从单个沸腾汽泡的产生出发,考虑了影响汽泡产生的主要因素,通过对氧化铟锡(ITO)导电玻璃表面进行处理后通上合适电压,完成了过冷沸腾条件下汽泡生成可视化实验台设计,研究不同热流密度和水温过冷度对汽泡行为的影响。并用所搭建的实验台进行了部分实验,得到了不同条件下的气泡周期和脱离直径的变化规律,发现气泡的产生周期随加热功率的增大而减小,气泡的脱离直径随加热功率的增大而增大,从而验证了实验台的适用性。
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关键词
过冷沸腾
两相流
气泡
可视化
试验台设计
电
加热
氧化
铟锡
(
ito
)
玻璃
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职称材料
题名
透明导电玻璃(ITO)基材自加热传感静态芯片聚合酶链反应(PCR)
被引量:
3
1
作者
吴志勇
田晓溪
渠柏艳
陈坤
方芳
机构
东北大学理学院分析科学研究所
出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期2259-2263,共5页
基金
东北大学科研基金(批准号:18106001)资助
文摘
利用商品化ITO玻璃导电层的温阻效应,无需任何微加工手段,实现了自加热和传感的芯片温度自动程序控制,最大程度地减小了传感滞后对温度控制稳定性的影响,温度控制的稳定性达到了0.2℃,升温速度最快可达20℃/s以上,在冷却风扇辅助下降温速度最快达到了8℃/s.芯片温控单元的引线从传统的两对(一对用于传感,一对用于加热)减少为一对.通过在该芯片上直接构建多个开放微池反应器的方法成功地实现了λDNA 157 bp片段的并行扩增.将该芯片置于倒置荧光显微镜样品台上,以蓝色(575 nm)发光二极管为光源,以光电倍增管为检测手段检测了dsDNA和SYBR GreenⅠ嵌合物的荧光强度随温度的实时变化曲线.
关键词
氧化
铟锡
(
ito
)
玻璃
自
加热
传感温控
静态芯片聚合酶链反应
原位实时荧光监测
发光二极管
Keywords
Indium tin oxide(
ito
) glass
Self-heating and sensing temperature control
Static chip PCR
In-situ real time fluorescence mon
ito
ring
Light emission diode
分类号
O657 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺
2
作者
金鹤
周灵平
朱家俊
符立才
杨武霖
李德意
机构
湖南大学材料科学与工程学院
湖南省喷射沉积技术重点实验室
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第17期158-162,共5页
基金
国家自然科学基金(51401080)
文摘
ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根据模拟结果采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积MgF2薄膜和氧化铟锡(ITO)薄膜,研究了ITO薄膜工艺参数(沉积速率、沉积温度和工作气压)和ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光电性能及微观结构的影响。当ITO薄膜沉积速率为0.05nm/s、沉积温度为400℃、工作气压为2.3×10^(-2) Pa、厚度为10nm时,表层ITO薄膜基本连续,其方块电阻(1.94kΩ/)已符合设计需求,ITO/MgF2复合薄膜在可见光区间(400~800nm)的平均透过率达到89.00%。
关键词
氧化
铟锡
(
ito
)薄膜
防静电
空间太阳电池
MgF2薄膜
电子束蒸发
玻璃
盖板
Keywords
indium tin oxide (
ito
) film, anti-static, space solar cell, MgF2 thin film, electron beam evaporation, glass cover
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器
3
作者
仲逸飞
林祖德
刘景全
机构
微米/纳米加工技术国家级重点实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021年第6期509-514,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(61728402)。
文摘
碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果。基于微电子机械系统(MEMS)薄膜制备工艺,利用溅射沉积了氧化铟锡(ITO)薄膜与Cr/Au薄膜,利用剥离工艺将薄膜图形化后制备了微加热器的结构。经过光学、热学和电学测试可知,该微加热器在700~900 nm波长内能够保持80%以上的透光率;在外接电压不低于4 V时,能为碱金属蒸气腔室提供100℃以上的工作温度;在5~10 min的预热时间后,该微加热器的加热范围可以覆盖双腔体蒸气腔室75%以上的区域。该微加热器很好地满足了多腔体蒸气腔室的使用需求。
关键词
微电子机械系统(MEMS)
微
加热
器
碱金属
原子钟
氧化
铟锡
(
ito
)
Keywords
micro-electromechanical system(MEMS)
micro heater
alkali metal
atomic clock
indium tin oxide(
ito
)
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计
被引量:
1
4
作者
刘召军
李坤
李云超
胡旭文
闫树斌
张彦军
机构
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
北京动力机械研究所
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019年第6期410-414,420,共6页
基金
国家重点研发计划资助项目(2017YFB0503200)
山西省自然基金资助项目(201701D121065)
领域基金公开项目(61400030601)
文摘
芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(ITO)加热玻璃。温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求。通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线。实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考。
关键词
芯片原子钟(CSAC)
数字温控
饱和吸收
微电子机械系统(MEMS)原子气室
氧化
铟锡
(
ito
)
加热
玻璃
Keywords
chip scale atomic clock ( CSAC )
digital temperature control
saturated absorption
MEMS atomic vapor cell
ito
heating glass
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
过冷沸腾单汽泡可视化试验台的设计与实现
被引量:
1
5
作者
黄莹
高璞珍
徐鹏
王忠乙
王超群
机构
哈尔滨工程大学核安全与仿真技术国防重点学科实验室
出处
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期932-937,共6页
基金
国家自然科学基金项目(11605033)
核能安全劳氏基金项目
文摘
为了研究过冷沸腾两相流动工况下气泡的生长及脱离等运动特性,本文从单个沸腾汽泡的产生出发,考虑了影响汽泡产生的主要因素,通过对氧化铟锡(ITO)导电玻璃表面进行处理后通上合适电压,完成了过冷沸腾条件下汽泡生成可视化实验台设计,研究不同热流密度和水温过冷度对汽泡行为的影响。并用所搭建的实验台进行了部分实验,得到了不同条件下的气泡周期和脱离直径的变化规律,发现气泡的产生周期随加热功率的增大而减小,气泡的脱离直径随加热功率的增大而增大,从而验证了实验台的适用性。
关键词
过冷沸腾
两相流
气泡
可视化
试验台设计
电
加热
氧化
铟锡
(
ito
)
玻璃
Keywords
subcooled boiling
two-phase flow
bubble
visualization
design of experimental platform
electrical heating
indium tin oxide (
ito
) glass
分类号
TL334 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
透明导电玻璃(ITO)基材自加热传感静态芯片聚合酶链反应(PCR)
吴志勇
田晓溪
渠柏艳
陈坤
方芳
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
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职称材料
2
空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺
金鹤
周灵平
朱家俊
符立才
杨武霖
李德意
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
3
基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器
仲逸飞
林祖德
刘景全
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021
0
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职称材料
4
芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计
刘召军
李坤
李云超
胡旭文
闫树斌
张彦军
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019
1
在线阅读
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职称材料
5
过冷沸腾单汽泡可视化试验台的设计与实现
黄莹
高璞珍
徐鹏
王忠乙
王超群
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
1
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职称材料
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