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透明导电玻璃(ITO)基材自加热传感静态芯片聚合酶链反应(PCR) 被引量:3
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作者 吴志勇 田晓溪 +2 位作者 渠柏艳 陈坤 方芳 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2259-2263,共5页
利用商品化ITO玻璃导电层的温阻效应,无需任何微加工手段,实现了自加热和传感的芯片温度自动程序控制,最大程度地减小了传感滞后对温度控制稳定性的影响,温度控制的稳定性达到了0.2℃,升温速度最快可达20℃/s以上,在冷却风扇辅助下降温... 利用商品化ITO玻璃导电层的温阻效应,无需任何微加工手段,实现了自加热和传感的芯片温度自动程序控制,最大程度地减小了传感滞后对温度控制稳定性的影响,温度控制的稳定性达到了0.2℃,升温速度最快可达20℃/s以上,在冷却风扇辅助下降温速度最快达到了8℃/s.芯片温控单元的引线从传统的两对(一对用于传感,一对用于加热)减少为一对.通过在该芯片上直接构建多个开放微池反应器的方法成功地实现了λDNA 157 bp片段的并行扩增.将该芯片置于倒置荧光显微镜样品台上,以蓝色(575 nm)发光二极管为光源,以光电倍增管为检测手段检测了dsDNA和SYBR GreenⅠ嵌合物的荧光强度随温度的实时变化曲线. 展开更多
关键词 氧化铟锡(ito)玻璃 加热传感温控 静态芯片聚合酶链反应 原位实时荧光监测 发光二极管
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空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺
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作者 金鹤 周灵平 +3 位作者 朱家俊 符立才 杨武霖 李德意 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第17期158-162,共5页
ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根... ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根据模拟结果采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积MgF2薄膜和氧化铟锡(ITO)薄膜,研究了ITO薄膜工艺参数(沉积速率、沉积温度和工作气压)和ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光电性能及微观结构的影响。当ITO薄膜沉积速率为0.05nm/s、沉积温度为400℃、工作气压为2.3×10^(-2) Pa、厚度为10nm时,表层ITO薄膜基本连续,其方块电阻(1.94kΩ/)已符合设计需求,ITO/MgF2复合薄膜在可见光区间(400~800nm)的平均透过率达到89.00%。 展开更多
关键词 氧化铟锡(ito)薄膜 防静电 空间太阳电池 MgF2薄膜 电子束蒸发 玻璃盖板
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基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器
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作者 仲逸飞 林祖德 刘景全 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第6期509-514,共6页
碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果。基于微电子机械系统(MEMS)薄... 碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果。基于微电子机械系统(MEMS)薄膜制备工艺,利用溅射沉积了氧化铟锡(ITO)薄膜与Cr/Au薄膜,利用剥离工艺将薄膜图形化后制备了微加热器的结构。经过光学、热学和电学测试可知,该微加热器在700~900 nm波长内能够保持80%以上的透光率;在外接电压不低于4 V时,能为碱金属蒸气腔室提供100℃以上的工作温度;在5~10 min的预热时间后,该微加热器的加热范围可以覆盖双腔体蒸气腔室75%以上的区域。该微加热器很好地满足了多腔体蒸气腔室的使用需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 加热 碱金属 原子钟 氧化铟锡(ito)
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芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计 被引量:1
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作者 刘召军 李坤 +3 位作者 李云超 胡旭文 闫树斌 张彦军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期410-414,420,共6页
芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(I... 芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(ITO)加热玻璃。温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求。通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线。实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考。 展开更多
关键词 芯片原子钟(CSAC) 数字温控 饱和吸收 微电子机械系统(MEMS)原子气室 氧化铟锡(ito)加热玻璃
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过冷沸腾单汽泡可视化试验台的设计与实现 被引量:1
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作者 黄莹 高璞珍 +2 位作者 徐鹏 王忠乙 王超群 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期932-937,共6页
为了研究过冷沸腾两相流动工况下气泡的生长及脱离等运动特性,本文从单个沸腾汽泡的产生出发,考虑了影响汽泡产生的主要因素,通过对氧化铟锡(ITO)导电玻璃表面进行处理后通上合适电压,完成了过冷沸腾条件下汽泡生成可视化实验台设计,研... 为了研究过冷沸腾两相流动工况下气泡的生长及脱离等运动特性,本文从单个沸腾汽泡的产生出发,考虑了影响汽泡产生的主要因素,通过对氧化铟锡(ITO)导电玻璃表面进行处理后通上合适电压,完成了过冷沸腾条件下汽泡生成可视化实验台设计,研究不同热流密度和水温过冷度对汽泡行为的影响。并用所搭建的实验台进行了部分实验,得到了不同条件下的气泡周期和脱离直径的变化规律,发现气泡的产生周期随加热功率的增大而减小,气泡的脱离直径随加热功率的增大而增大,从而验证了实验台的适用性。 展开更多
关键词 过冷沸腾 两相流 气泡 可视化 试验台设计 加热 氧化铟锡(ito)玻璃
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