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氧化铝陶瓷部件在半导体领域应用及市场概览
1
作者 李建慧 石健 +2 位作者 左政 冯国楠 杨淑娴 《中国集成电路》 2025年第1期29-33,共5页
氧化铝陶瓷部件是一种高性能陶瓷材料部件,因其高硬度、高机械强度、超耐磨性、耐高温、电阻率大、电绝缘性能好等优异性能,在半导体领域得以广泛应用。随着半导体产业不断发展,氧化铝陶瓷部件在产业链中的重要性更加凸显。本文介绍了... 氧化铝陶瓷部件是一种高性能陶瓷材料部件,因其高硬度、高机械强度、超耐磨性、耐高温、电阻率大、电绝缘性能好等优异性能,在半导体领域得以广泛应用。随着半导体产业不断发展,氧化铝陶瓷部件在产业链中的重要性更加凸显。本文介绍了氧化铝陶瓷部件在半导体领域的应用及全球市场的主要情况,分析了半导体领域氧化铝陶瓷部件应用的未来发展趋势。 展开更多
关键词 氧化铝 氧化铝陶瓷制备 氧化铝陶瓷部件 半导体
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氧化铝陶瓷磨削用砂轮形貌建模与表面粗糙度仿真
2
作者 宿崇 郭品方 《大连交通大学学报》 CAS 2024年第6期26-33,共8页
根据金刚石砂轮磨料的粒度、浓度以及磨粒位置随机分布特征,研究了金刚石砂轮表面形貌建模方法,建立了浓度为100%,粒度分别为80/100、170/200、325/400的3种金刚石砂轮表面形貌模型。采用JH-2模型描述氧化铝陶瓷材料的本构行为,利用3种... 根据金刚石砂轮磨料的粒度、浓度以及磨粒位置随机分布特征,研究了金刚石砂轮表面形貌建模方法,建立了浓度为100%,粒度分别为80/100、170/200、325/400的3种金刚石砂轮表面形貌模型。采用JH-2模型描述氧化铝陶瓷材料的本构行为,利用3种砂轮地貌模型进行了不同工艺参数下的氧化铝陶瓷磨削有限元仿真分析。通过有限元模型网格节点分析氧化铝陶瓷有限元网格模型加工后表面形貌,根据仿真中氧化铝陶瓷的去除形式以及磨削后的表面形貌特征,分析了金刚石砂轮形貌和磨削深度对氧化铝陶瓷材料磨削表面粗糙度的影响,验证了此种氧化铝陶瓷磨削有限元仿真分析方法的可行性。 展开更多
关键词 砂轮建模 氧化铝陶瓷 有限元仿真
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冲击压缩下氧化铝陶瓷中破坏阵面的传播 被引量：10
3
作者 刘占芳 常敬臻 +2 位作者 姚国文 张凯 李建鹏 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第5期626-632,共7页
进行了平面冲击波压缩下氧化铝陶瓷中破坏阵面的实验测试和理论探索．通过氧化铝陶瓷的平板碰撞实验,借助VISAR测试系统测量了试件自由面的质点速度历程,并对回收试件进行了电镜扫描观察．质点自由面速度历程曲线表明,氧化铝陶瓷材料中... 进行了平面冲击波压缩下氧化铝陶瓷中破坏阵面的实验测试和理论探索．通过氧化铝陶瓷的平板碰撞实验,借助VISAR测试系统测量了试件自由面的质点速度历程,并对回收试件进行了电镜扫描观察．质点自由面速度历程曲线表明,氧化铝陶瓷材料中存在破坏阵面的传播．考察了破坏阵面的传播特性,给出了陶瓷材料的动态破坏模型,并对破坏阵面的传播进行了数值分析． 展开更多
关键词 氧化铝陶瓷 平板碰撞实验 破坏阵面 破坏模型 冲击强度
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氧化铝陶瓷受冲击压缩破坏的细观机理研究 被引量：9
4
作者 冯晓伟 李俊承 +2 位作者 常敬臻 王洪波 胡文军 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期2472-2479,共8页
利用激光速度干涉仪VISAR测试了平板冲击压缩下不同厚度氧化铝陶瓷样品的自由面速度历程。根据自由面速度历程上表征"破坏波"现象的二次压缩信号计算获得了破坏波的传播轨迹,指出陶瓷中破坏波的形成传播机制主要由细观力学行... 利用激光速度干涉仪VISAR测试了平板冲击压缩下不同厚度氧化铝陶瓷样品的自由面速度历程。根据自由面速度历程上表征"破坏波"现象的二次压缩信号计算获得了破坏波的传播轨迹,指出陶瓷中破坏波的形成传播机制主要由细观力学行为控制。进一步基于氧化铝陶瓷的细观扫描图像,构建了含晶相、玻璃相等细观特征的力学模型。数值模拟了冲击压缩下陶瓷材料的细观破坏过程,从细观层次分析了破坏波的形成传播机理。结果表明,陶瓷中破坏阵面的形成主要依赖于原生微缺陷在冲击载荷下的快速形核扩展过程,其传播特性满足扩散过程。 展开更多
关键词 固体力学 冲击压缩 氧化铝陶瓷 细观破坏 破坏波
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水辅助激光刻蚀氧化铝陶瓷的研究 被引量：12
5
作者 孔令瑞 张菲 +2 位作者 段军 罗瑞峰 曾晓雁 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期330-334,共5页
为了得到较理想的激光刻蚀结果,采用355nm固体紫外激光,分别在空气与水中进行了氧化铝陶瓷片激光刻蚀实验。对激光主要参量如脉冲能量密度、激光扫描速率、激光重复频率等对水下刻蚀深度和质量的影响进行了对比研究;对激光刻蚀的机理以... 为了得到较理想的激光刻蚀结果,采用355nm固体紫外激光,分别在空气与水中进行了氧化铝陶瓷片激光刻蚀实验。对激光主要参量如脉冲能量密度、激光扫描速率、激光重复频率等对水下刻蚀深度和质量的影响进行了对比研究;对激光刻蚀的机理以及水辅助刻蚀的物理过程进行了分析,分别得到了紫外激光在空气中与水下的刻蚀形貌与不同激光参量下的刻蚀深度数据。结果表明,水辅助激光刻蚀可以提高刻蚀效率,改善刻蚀质量;水下激光刻蚀深度与激光的脉冲能量密度、加工速率、重复频率和水的深度等参量有密切的关系;水辅助激光刻蚀过程中水的冷却作用以及产生的空泡有效防止去蚀材料的二次黏附,避免变质层的形成,既提高了刻蚀质量,同时也增加了刻蚀深度。 展开更多
关键词 激光技术 水辅助加工 氧化铝陶瓷 表面刻蚀
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氧化铝陶瓷局部活化及选择性化学镀铜的研究 被引量：8
6
作者 由劲博 龙晋明 +1 位作者 朱晓云 张秀 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期91-97,共7页
为解决陶瓷表面局部化学镀存在的问题,研制了一种针对氧化铝陶瓷局部化学镀铜前处理用的活化胶,其由具有活化能力的银盐(或钯盐)和粘稠的复合物有机载体组成.将活化胶印于氧化铝陶瓷表面,经500℃高温烧结形成局部活化层后,可直接置于化... 为解决陶瓷表面局部化学镀存在的问题,研制了一种针对氧化铝陶瓷局部化学镀铜前处理用的活化胶,其由具有活化能力的银盐(或钯盐)和粘稠的复合物有机载体组成.将活化胶印于氧化铝陶瓷表面,经500℃高温烧结形成局部活化层后,可直接置于化学镀液中进行镀铜处理,得到与印刷图形一致的局部镀铜层.利用电化学工作站测定样品在化学镀铜溶液中电位随时间的变化情况,考察不同活化条件对Cu2+还原的催化活性,利用SEM/EDS进行表面形貌及成分分析,确定了活化胶中银盐和钯盐的适宜浓度.结果表明,该两种活化胶应用于氧化铝陶瓷表面化学镀铜的活化工艺,可实现敏化活化的一步化,使陶瓷表面局部化学镀工艺流程简化,成本降低,具有较高的实用价值. 展开更多
关键词 氧化铝陶瓷 局部活化 化学镀铜 混合电位 表面分析
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提高氧化铝陶瓷断裂韧性的先进途径 被引量：13
7
作者 李旺兴 李东红 沈湘黔 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期73-76,79,共5页
评述了近几年来提高氧化铝陶瓷力学性能的各种途径。认为通过优化纳米αAl2O3粉体制备技术,引入金属相、纤维、晶须复合工艺来控制氧化铝陶瓷界面结构及微观结构,是提高氧化铝陶瓷力学性能的有效方法。
关键词 氧化铝陶瓷 断裂韧性 微观结构 复合 纳米技术
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Fe-Ni-Cr合金表面等离子喷涂氧化铝陶瓷涂层的阻氢性能 被引量：5
8
作者 谭云 丰杰 +6 位作者 周燕良 周德惠 宋仁国 李国林 黄卫东 潘清跃 周尧和 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 1998年第10期1-2,共2页
采用等离子喷涂、气相热充氢等技术研究了在Fe－Ni－Cr合金表面喷涂氧化铝陶瓷涂层对其阻氢性能的影响．结果表明，氧化铝陶瓷涂层使Fe－Ni－Cr合金的阻氢性能明显提高，且白氧化铝陶瓷涂层较灰氧化铝涂层的阻氢效果好．
关键词 等离子喷涂 奥氏体不锈钢 阻氢 性能 氧化铝陶瓷
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凝胶注模氧化铝陶瓷坯体的结构与表征 被引量：5
9
作者 仝建峰 陈大明 +1 位作者 李宝伟 刘晓光 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2004年第6期42-46,共5页
研究了凝胶注模氧化铝陶瓷坯体的密度、强度、空隙率分布及微观结构等特征。结果表明,影响凝胶注模陶瓷坯片密度的因素主要有:料浆的固含量、单体含量、单体和胶联剂的比值。随着料浆固含量的提高,坯片的抗弯强度呈下降趋势,坯片内部的... 研究了凝胶注模氧化铝陶瓷坯体的密度、强度、空隙率分布及微观结构等特征。结果表明,影响凝胶注模陶瓷坯片密度的因素主要有:料浆的固含量、单体含量、单体和胶联剂的比值。随着料浆固含量的提高,坯片的抗弯强度呈下降趋势,坯片内部的孔隙率降低,从平均孔隙度为110nm降为90nm,而且均为单峰分布。凝胶注模成型的陶瓷坯片在干燥后,坯片强度优于注射成型、流延成型等传统成型方式。 展开更多
关键词 凝胶注模 料浆 固含量 氧化铝陶瓷 单体 成型方式 空隙率分布 单峰 表征 平均
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溶胶凝胶法制备纳米结构氧化铝陶瓷纤维 被引量：22
10
作者 曹凯 沈湘黔 +1 位作者 王涛平 景茂祥 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期76-79,共4页
以乳酸和硝酸铝为原料 ,采用溶胶 凝胶法制备了纳米结构氧化铝陶瓷纤维 ,纤维直径可在 1μm以下 ,组成此纤维的晶粒小于 10 0nm。考察了纤维前驱体可纺性的影响因素和前驱体纤维热分解过程 ,初步得到了制备纳米结构氧化铝纤维的工艺条... 以乳酸和硝酸铝为原料 ,采用溶胶 凝胶法制备了纳米结构氧化铝陶瓷纤维 ,纤维直径可在 1μm以下 ,组成此纤维的晶粒小于 10 0nm。考察了纤维前驱体可纺性的影响因素和前驱体纤维热分解过程 ,初步得到了制备纳米结构氧化铝纤维的工艺条件。通过SEM、XRD和FTIR研究了纤维前驱体及热处理产物的表面形貌、物相组成和结构。实验表明采用溶胶 凝胶法可以制备连续、均匀的致密纳米结构氧化铝陶瓷纤维。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 纳米结构氧化铝陶瓷纤维 制备工艺
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氧化铝陶瓷凝胶注模成型凝固动力学研究 被引量：6
11
作者 仝建峰 陈大明 +1 位作者 李宝伟 黄浩 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2008年第3期49-52,共4页
凝胶注模成型(Gelcasting)是一种近净尺寸陶瓷成型工艺,它是通过高分子聚合物自由基聚合反应来实现陶瓷料浆的原位固化的。通过建立料浆温度与凝固时间的曲线,来研究陶瓷料浆的凝固动力学,是简便可行的研究方法,结果表明:"驰豫时间... 凝胶注模成型(Gelcasting)是一种近净尺寸陶瓷成型工艺,它是通过高分子聚合物自由基聚合反应来实现陶瓷料浆的原位固化的。通过建立料浆温度与凝固时间的曲线,来研究陶瓷料浆的凝固动力学,是简便可行的研究方法,结果表明:"驰豫时间"可以成功地描述陶瓷料浆的凝固过程。在Al2O3陶瓷料浆Gelcasting成型工艺条件优化的基础上,制备出了气孔分布均匀的Al2O3坯体。 展开更多
关键词 凝胶注模成型 凝固动力学 氧化铝陶瓷 自由基聚合反应 陶瓷料浆 AL2O3 高分子聚合物 工艺条件优化
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添加剂对氧化铝陶瓷的烧结和显微结构的影响 被引量：62
12
作者 吴振东 叶建东 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 2002年第1期68-72,共5页
在Al2 O3 中添加少量添加剂可以促进烧结 ,改善结构 ,提高性能。根据作用机理不同 ,添加剂分为两类 :一类是在基体中生成液相 ,另一类是与Al2 O3
关键词 氧化铝陶瓷 添加剂 烧结 显微结构
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压剪复合冲击下氧化铝陶瓷的剪切响应实验研究 被引量：6
13
作者 姚国文 刘占芳 黄培彦 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期119-124,共6页
通过对92. 93%氧化铝陶瓷进行倾斜板碰撞实验,研究了多晶陶瓷材料在压剪复合冲击下的非弹性变形响应和剪切波传播规律。压剪复合冲击实验由 57mm开槽气体炮驱动铜飞片对陶瓷靶板加载,通过试件内埋植的电磁速度计来测量内部质点速度历程... 通过对92. 93%氧化铝陶瓷进行倾斜板碰撞实验,研究了多晶陶瓷材料在压剪复合冲击下的非弹性变形响应和剪切波传播规律。压剪复合冲击实验由 57mm开槽气体炮驱动铜飞片对陶瓷靶板加载,通过试件内埋植的电磁速度计来测量内部质点速度历程。将纵向粒子速度从感应电动势曲线中分离后得到横向粒子速度历程,发现在压剪复合冲击下由于材料剪切刚度的降低而引起的剪切波衰减。冲击软回收试件的扫描电子显微镜(SEM)观察表明,冲击载荷低于屈服强度时,多晶氧化铝陶瓷中存在沿晶界、气孔的微裂纹成核与扩展,在高于屈服强度的冲击加载下进一步产生了穿晶微裂纹,微裂纹系统导致了材料在卸载后的显著的体积膨胀。 展开更多
关键词 固体力学 剪切响应 倾斜板碰撞实验 氧化铝陶瓷 电磁速度计 剪切波 SEM
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氧化铝陶瓷与低碳钢钎焊接头的界面反应 被引量：7
14
作者 李卓然 樊建新 冯吉才 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1-4,共4页
采用真空保护下的活性金属钎焊法对95%(质量分数)氧化铝陶瓷与低碳钢进行了钎焊,所用钎料为Ag-Cu-Ti3活性钎料。通过X射线衍射仪(XRD)对界面的反应产物进行了物相分析,并用能谱仪(EDAX)分析了界面元素组成。结果表明,钎焊接头界面的反... 采用真空保护下的活性金属钎焊法对95%(质量分数)氧化铝陶瓷与低碳钢进行了钎焊,所用钎料为Ag-Cu-Ti3活性钎料。通过X射线衍射仪(XRD)对界面的反应产物进行了物相分析,并用能谱仪(EDAX)分析了界面元素组成。结果表明,钎焊接头界面的反应十分复杂,反应产物多种多样,主要是Ti3Cu3O,Ti3Al,TiMn,TiFe2,TiC等物质,界面的反应层按Al2O3陶瓷/Ti3Cu3O/Ti3Al+TiMn+TiFe2+Ag(s,s)+Cu(s,s)/TiC/低碳钢的规律过渡。 展开更多
关键词 氧化铝陶瓷 活性钎焊 界面结构
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单分散氧化铝陶瓷粉体的制备及表征 被引量：11
15
作者 张桂芳 沈强 张联盟 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2006年第4期96-99,共4页
以硫酸铝、尿素为主要原料,采用均匀沉淀法制备氧化铝前驱体,经高温煅烧制备出优质氧化铝陶瓷微粉。通过系统研究反应温度、分散剂对氧化铝陶瓷粉体的粒度、粒度分布及形貌的影响,为制备单分散氧化铝粉提供了理论依据。结果表明:在最佳... 以硫酸铝、尿素为主要原料,采用均匀沉淀法制备氧化铝前驱体,经高温煅烧制备出优质氧化铝陶瓷微粉。通过系统研究反应温度、分散剂对氧化铝陶瓷粉体的粒度、粒度分布及形貌的影响,为制备单分散氧化铝粉提供了理论依据。结果表明:在最佳实验条件下制备的氧化铝陶瓷粉体平均粒径较小(D1/2=1.60μm),粒度分布范围窄(σ=0.93mm),粉末呈球形规则形貌,且无明显团聚现象,近似呈单分散状态,是较理想的氧化铝陶瓷原料。 展开更多
关键词 氧化铝陶瓷粉体 均匀沉淀法 单分散
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微波烧结氧化铝陶瓷的纳米增韧研究 被引量：9
16
作者 熊礼威 张莹 +1 位作者 汪建华 崔晓慧 《武汉工程大学学报》 CAS 2013年第1期46-50,共5页
高纯度氧化铝陶瓷具有极高的机械强度,在航空航天等国防尖端技术领域具有极好的应用前景.针对目前采用普通方法烧结的高纯度氧化铝陶瓷韧性较差的问题,利用圆柱形微波多模烧结腔进行了高纯度氧化铝陶瓷的纳米增韧研究.以氧化铝(质量分数... 高纯度氧化铝陶瓷具有极高的机械强度,在航空航天等国防尖端技术领域具有极好的应用前景.针对目前采用普通方法烧结的高纯度氧化铝陶瓷韧性较差的问题,利用圆柱形微波多模烧结腔进行了高纯度氧化铝陶瓷的纳米增韧研究.以氧化铝(质量分数99.9%)、氧化镁(质量分数0.05%)和氧化钇(质量分数0.05%)为基准原料配比,在其中添加不同比例的纳米氧化铝粉末,研究不同比例纳米氧化铝粉末对陶瓷性能的影响.结果表明,当纳米氧化铝粉末添加量达到30%时,高纯度氧化铝陶瓷试样的密度、维氏硬度和断裂韧性分别达到3.92g/cm3、23.2GPa和4.21Pa.m1/2;与未添加纳米氧化铝粉末烧结得到的陶瓷试样相比,密度降低0.5%,但其维氏硬度增加了2.2%,断裂韧性甚至增强了33.7%. 展开更多
关键词 微波烧结 氧化铝陶瓷 纳米增韧 维氏硬度 断裂韧性
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牙科纳米氧化铝陶瓷的烧结研究 被引量：6
17
作者 赵克 巢永烈 杨世源 《口腔医学纵横》 CAS CSCD 2001年第4期253-255,共3页
目的 :探讨干压成型、低温烧结制备牙科纳米氧化铝陶瓷的工艺方法。方法 :采用Al2 O3-CaO -MgO -SiO2 系统来研制纳米氧化铝陶瓷 ,通过扫描电子显微镜 (SEM)及力学性能测试 ,比较了不同MgO含量、成型压力及烧结温度对氧化铝陶瓷的密度... 目的 :探讨干压成型、低温烧结制备牙科纳米氧化铝陶瓷的工艺方法。方法 :采用Al2 O3-CaO -MgO -SiO2 系统来研制纳米氧化铝陶瓷 ,通过扫描电子显微镜 (SEM)及力学性能测试 ,比较了不同MgO含量、成型压力及烧结温度对氧化铝陶瓷的密度及力学性能的影响。结果 :1.2 9wt%MgO试样组的陶瓷晶粒均匀且发育比较完全 ;随着粉料成型压力的升高 ,烧结后瓷体的密度及维氏硬度均增大 ;在 130 0℃烧结后 ,晶体发育差且气孔较多 ,随着烧结温度的升高 ,晶粒逐渐增大 ,在 145 0℃时可见瓷体晶形发育较完全。结论 :选择适当的复合烧结助剂。 展开更多
关键词 牙科铝瓷 纳米材料 烧结 纳米氧化铝陶瓷
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pH值对凝胶注模氧化铝陶瓷料浆性能的影响 被引量：7
18
作者 仝建峰 陈大明 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2003年第3期50-52,共3页
重点研究了在低粘度,高固相体积分数氧化铝浓悬浮体制备过程中,料浆的pH值对料浆性能的影响。结果表明:当pH值达到5左右时,Al_2O_3颗粒在水中的Zeta电位等于0,此时,料浆的粘度最大,分散效果最差。当pH值达到9时,Zeta电位的绝对值达到最... 重点研究了在低粘度,高固相体积分数氧化铝浓悬浮体制备过程中,料浆的pH值对料浆性能的影响。结果表明:当pH值达到5左右时,Al_2O_3颗粒在水中的Zeta电位等于0,此时,料浆的粘度最大,分散效果最差。当pH值达到9时,Zeta电位的绝对值达到最大,此时料浆的悬浮稳定性最佳。 展开更多
关键词 PH值 凝胶注模成型工艺 氧化铝陶瓷 料浆 影响
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重介质旋流器氧化铝陶瓷衬里的腐蚀磨损探析 被引量：4
19
作者 张力强 张雅珊 +1 位作者 张学成 王淑军 《煤炭技术》 CAS 2005年第12期63-64,共2页
简要介绍了适合做重介质旋流器衬里的耐磨材料;着重就重介质旋流器工况下氧化铝陶瓷衬里的腐蚀磨损做了探析。
关键词 重介质旋流器 氧化铝陶瓷 腐蚀磨损 耐磨性
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红柱石加入量对氧化铝陶瓷性能的影响 被引量：2
20
作者 阎峰云 李静娟 +1 位作者 狄正贤 耿海涛 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2012年第5期11-14,共4页
为提高氧化铝陶瓷的力学性能和抗热震性,进行陶瓷型芯前期研究,在其中掺入不同量的红柱石粉,研究其体积密度、烧成收缩率、抗折强度和抗热震性及微观结构的变化情况.结果显示:1)红柱石加入质量分数为0～30%时,可有效促进烧结并形成莫来... 为提高氧化铝陶瓷的力学性能和抗热震性,进行陶瓷型芯前期研究,在其中掺入不同量的红柱石粉,研究其体积密度、烧成收缩率、抗折强度和抗热震性及微观结构的变化情况.结果显示:1)红柱石加入质量分数为0～30%时,可有效促进烧结并形成莫来石网络,提高氧化铝陶瓷的抗折强度.2)红柱石的加入可以调整热膨胀适配、提高导热率、提高强度和形成稳定的莫来石网络,从而提高氧化铝陶瓷的抗热震性.3)红柱石加入质量分数为25%时,试样具有较好的力学性能和抗热震性. 展开更多
关键词 红柱石 莫来化 氧化铝陶瓷 抗热震性 抗折强度
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