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氧化剂浓度对4H-SiC化学机械抛光效果的影响
被引量:
4
1
作者
高飞
李晖
徐永宽
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第10期10189-10192,共4页
以4H-SiC(0001)面为研究对象,采用原子力显微镜和X光电子能谱研究了抛光晶片表面的形貌和成分,讨论了氧化剂浓度对SiC化学机械抛光去除速率以及微观形貌的影响。结果表明,在化学机械抛光过程中SiC晶片的表面会生成二氧化硅,抛光液中氧...
以4H-SiC(0001)面为研究对象,采用原子力显微镜和X光电子能谱研究了抛光晶片表面的形貌和成分,讨论了氧化剂浓度对SiC化学机械抛光去除速率以及微观形貌的影响。结果表明,在化学机械抛光过程中SiC晶片的表面会生成二氧化硅,抛光液中氧化剂的浓度直接影响SiC的氧化进程,增大氧化剂的浓度可以显著提高抛光去除速率,当氧化剂浓度为0.15mol/L时,抛光去除速率可以达到约1 200nm/h,同时可以获得一个无划痕、超光滑、具有原子台阶构型的抛光表面,表面粗糙度值Ra低至0.0853nm。
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关键词
碳化硅
化学机械抛光
氧化剂浓度
原子台阶构型
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职称材料
新疆某铀矿石浸出试验
被引量:
7
2
作者
胡凯光
王清良
+4 位作者
谭亚辉
王海峰
史文革
杨金辉
胡鄂明
《金属矿山》
CAS
北大核心
2003年第8期23-24,50,共3页
为了给新疆某铀矿采用地面堆浸和井下原地爆破堆浸的采矿新方法恢复生产提供依据 ,对该矿矿石进行了试验室搅拌浸出和柱浸试验。试验结果表明 ,该矿矿石氧化剂耗量少、浸出时间短、酸耗较低 ,属易浸矿石。矿石粒度对浸出率影响较大 ,当...
为了给新疆某铀矿采用地面堆浸和井下原地爆破堆浸的采矿新方法恢复生产提供依据 ,对该矿矿石进行了试验室搅拌浸出和柱浸试验。试验结果表明 ,该矿矿石氧化剂耗量少、浸出时间短、酸耗较低 ,属易浸矿石。矿石粒度对浸出率影响较大 ,当粒度从 - 5mm增加到 - 2 0mm时 ,矿石的柱浸渣计浸出率从 88.7%下降到75 .2 %。氧化剂可提高浸出液铀浓度 。
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关键词
铀矿
试验
搅拌浸出
柱浸
酸度
氧化剂浓度
浸泡试验
矿石粒度
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职称材料
NFPA 69《抑爆系统标准》
被引量:
1
3
作者
李国辉
《消防科学与技术》
CAS
北大核心
2018年第3期309-309,共1页
美国消防协会发布的标准NFPA 69《抑爆系统标准》规定了抑爆系统的设计、安装、操作、维护和测试等基本要求。相关规定包括:控制氧化剂浓度、控制可燃浓度、早期燃爆探测与点火源控制、主动抑爆、主动分隔、被动分隔、爆燃压力容器、被...
美国消防协会发布的标准NFPA 69《抑爆系统标准》规定了抑爆系统的设计、安装、操作、维护和测试等基本要求。相关规定包括:控制氧化剂浓度、控制可燃浓度、早期燃爆探测与点火源控制、主动抑爆、主动分隔、被动分隔、爆燃压力容器、被动抑爆等。该标准提供了极限氧浓度、通风系统的详细计算方法,给出了阻火器运行原理、使用和测试方法以及安装示意图,并提供了消除压力的具体做法等。
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关键词
抑爆系统
NFPA
标准
氧化剂浓度
火源控制
压力容器
消防协会
通风系统
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职称材料
环境气象学
4
《环境工程技术学报》
CAS
2010年第2期6-6,共1页
关键词
氧化剂浓度
光化学反应
光化学
氧化剂
大气扩散模型
环境气象学
植物释放
温度升高
大气污染
城市温度
天气观测
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职称材料
题名
氧化剂浓度对4H-SiC化学机械抛光效果的影响
被引量:
4
1
作者
高飞
李晖
徐永宽
机构
中国电子科技集团公司第四十六研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第10期10189-10192,共4页
文摘
以4H-SiC(0001)面为研究对象,采用原子力显微镜和X光电子能谱研究了抛光晶片表面的形貌和成分,讨论了氧化剂浓度对SiC化学机械抛光去除速率以及微观形貌的影响。结果表明,在化学机械抛光过程中SiC晶片的表面会生成二氧化硅,抛光液中氧化剂的浓度直接影响SiC的氧化进程,增大氧化剂的浓度可以显著提高抛光去除速率,当氧化剂浓度为0.15mol/L时,抛光去除速率可以达到约1 200nm/h,同时可以获得一个无划痕、超光滑、具有原子台阶构型的抛光表面,表面粗糙度值Ra低至0.0853nm。
关键词
碳化硅
化学机械抛光
氧化剂浓度
原子台阶构型
Keywords
silicon carbide (SiC )
chemical mechanical polishing (CMP )
oxidant concentration
atomic step structure
分类号
O786 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
新疆某铀矿石浸出试验
被引量:
7
2
作者
胡凯光
王清良
谭亚辉
王海峰
史文革
杨金辉
胡鄂明
机构
南华大学
核工业北京化工冶金研究院
出处
《金属矿山》
CAS
北大核心
2003年第8期23-24,50,共3页
文摘
为了给新疆某铀矿采用地面堆浸和井下原地爆破堆浸的采矿新方法恢复生产提供依据 ,对该矿矿石进行了试验室搅拌浸出和柱浸试验。试验结果表明 ,该矿矿石氧化剂耗量少、浸出时间短、酸耗较低 ,属易浸矿石。矿石粒度对浸出率影响较大 ,当粒度从 - 5mm增加到 - 2 0mm时 ,矿石的柱浸渣计浸出率从 88.7%下降到75 .2 %。氧化剂可提高浸出液铀浓度 。
关键词
铀矿
试验
搅拌浸出
柱浸
酸度
氧化剂浓度
浸泡试验
矿石粒度
Keywords
Uranium ore,Column leaching,Agitation leaching,Particle size of ore,Oxidizing agent
分类号
TL212.12 [核科学技术—核燃料循环与材料]
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职称材料
题名
NFPA 69《抑爆系统标准》
被引量:
1
3
作者
李国辉
机构
不详
出处
《消防科学与技术》
CAS
北大核心
2018年第3期309-309,共1页
文摘
美国消防协会发布的标准NFPA 69《抑爆系统标准》规定了抑爆系统的设计、安装、操作、维护和测试等基本要求。相关规定包括:控制氧化剂浓度、控制可燃浓度、早期燃爆探测与点火源控制、主动抑爆、主动分隔、被动分隔、爆燃压力容器、被动抑爆等。该标准提供了极限氧浓度、通风系统的详细计算方法,给出了阻火器运行原理、使用和测试方法以及安装示意图,并提供了消除压力的具体做法等。
关键词
抑爆系统
NFPA
标准
氧化剂浓度
火源控制
压力容器
消防协会
通风系统
分类号
X932 [环境科学与工程—安全科学]
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职称材料
题名
环境气象学
4
出处
《环境工程技术学报》
CAS
2010年第2期6-6,共1页
关键词
氧化剂浓度
光化学反应
光化学
氧化剂
大气扩散模型
环境气象学
植物释放
温度升高
大气污染
城市温度
天气观测
分类号
X [环境科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧化剂浓度对4H-SiC化学机械抛光效果的影响
高飞
李晖
徐永宽
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
新疆某铀矿石浸出试验
胡凯光
王清良
谭亚辉
王海峰
史文革
杨金辉
胡鄂明
《金属矿山》
CAS
北大核心
2003
7
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下载PDF
职称材料
3
NFPA 69《抑爆系统标准》
李国辉
《消防科学与技术》
CAS
北大核心
2018
1
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职称材料
4
环境气象学
《环境工程技术学报》
CAS
2010
0
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职称材料
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