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封接玻璃热膨胀系数对氧分压传感器可靠性影响研究
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作者 程振乾 孙略升 +1 位作者 文吉延 刘洋 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第8期46-49,共4页
为解决氧分压传感器敏感芯体封接玻璃易开裂导致器件失效的关键问题,选取BaO-SiO2掺杂体系的6种玻璃作为封接材料,系统研究了其与8YSZ(8mol%Y2O3稳定的ZrO2)的匹配特性。通过制备敏感芯体并完成传感器封装,采用加速老化测试(包括老化、... 为解决氧分压传感器敏感芯体封接玻璃易开裂导致器件失效的关键问题,选取BaO-SiO2掺杂体系的6种玻璃作为封接材料,系统研究了其与8YSZ(8mol%Y2O3稳定的ZrO2)的匹配特性。通过制备敏感芯体并完成传感器封装,采用加速老化测试(包括老化、随机振动、温度循环及通断电循环)评估其可靠性。实验结果表明,SBYb-1玻璃因其热膨胀系数(10.2×10^(-6)/℃)与8YSZ(10.5×10^(-6)/℃)高度匹配,在100次温度循环(-55~70℃)与1000次通断电后仍保持结构完整性,展现出最优异的长期稳定性,其工作寿命较其他组分提升约30%,输出偏差<5%。为高性能氧传感器封接材料的开发提供了重要依据。 展开更多
关键词 热膨胀系数 氧分压传感器 稳定性
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