一种快速准确获取真空氦质谱检漏系统反应时间的方法研究 被引量：3

1

作者 陈涛 廖旭东 +2 位作者 黄颖军 白国云 李波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期542-546,共5页

真空系统反应时间的准确获取对容器预抽真空、检漏信号读取、换气效率分析等有重要意义。本文分析了氦质谱检漏信号动态变化规律,运用最小二乘法线性回归原理,开展了检漏系统反应时间的获取方法研究,并通过编写软件实现了反应时间的快... 真空系统反应时间的准确获取对容器预抽真空、检漏信号读取、换气效率分析等有重要意义。本文分析了氦质谱检漏信号动态变化规律,运用最小二乘法线性回归原理,开展了检漏系统反应时间的获取方法研究,并通过编写软件实现了反应时间的快速获取,解决了在未知检漏系统体积与实际抽速的情况下,反应时间的获取问题。为进一步验证该方法的准确性,分别设计了不同体积的真空系统,开展了反应时间测量实验与研究,测得体积为6.19,11.61,19.88和40.78 L的真空系统反应时间分别为7.25,14.26,24.49,40.63 s,各线性相关系数均达到了0.99以上,数据重复性、线性度好,准确性高。研究表明,该方法可有效、快速、准确的获取反应时间,为检漏信号稳定时机的判断提供科学依据。 展开更多

关键词 氦质谱检漏 反应时间 稳定时机 最小二乘法

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低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究 被引量：15

2

作者 胡茂中 白国云 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期208-211,共4页

为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题,开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器,在容器内的氦气浓度为0.5‰,1‰,3‰,5‰时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率,基于混合... 为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题,开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器,在容器内的氦气浓度为0.5‰,1‰,3‰,5‰时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率,基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔的假设,不同浓度下测得的漏率结果与理论计算相比较;实验得出了在一定体积的空间内定点释放少量的氦气自由扩散至基本均匀分布所需时间。在实验的基础上,专门设计低充氦浓度检漏的标定装置,可降低因标准漏孔的氦浓度与检漏充氦浓度相差较大而引入检漏结果的不确定度。 展开更多

关键词 氦质谱检漏 低浓度 检漏灵敏度 内置氦源

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蒙特卡罗方法模拟评定氦质谱检漏不确定度 被引量：1

3

作者 杨丹 陈长琦 秋实 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期266-270,共5页

通过建立检漏结果不确定度的评定模型,应用蒙特卡罗方法对检漏数据进行随机模拟,获得了各输入量的随机样本,计算了检漏结果的不确定度,并与传统评定方法得到的不确定度进行了比较和分析。研究表明,两种方法计算得到的不确定度一致,说明... 通过建立检漏结果不确定度的评定模型,应用蒙特卡罗方法对检漏数据进行随机模拟,获得了各输入量的随机样本,计算了检漏结果的不确定度,并与传统评定方法得到的不确定度进行了比较和分析。研究表明,两种方法计算得到的不确定度一致,说明蒙特卡罗方法可以作为评定氦质谱检漏结果不确定度的有效方法,且蒙特卡罗评定方法计算效率更高,应用范围更广。 展开更多

关键词 氦质谱检漏 不确定度 蒙特卡罗方法 漏率 标准漏孔

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氦质谱检漏法应用研究 被引量：8

4

作者 顾伯勤 《南京化工大学学报》 2000年第1期1-5,共5页

对氦质谱检漏法的检漏精度、分辨率、检漏范围以及检测结果的重复性进行了系统研究 ,阐述了影响检漏精度的可能因素。在真空密封试验台上对石棉橡胶垫片等密封元件的检漏结果表明 ,该检漏方法的检测精度高、重复性好 ,特别适用于微小泄... 对氦质谱检漏法的检漏精度、分辨率、检漏范围以及检测结果的重复性进行了系统研究 ,阐述了影响检漏精度的可能因素。在真空密封试验台上对石棉橡胶垫片等密封元件的检漏结果表明 ,该检漏方法的检测精度高、重复性好 ,特别适用于微小泄漏率的精确检测 ,是压力容器和密封元件的理想检漏方法。 展开更多

关键词 质谱仪 泄漏率 氦质谱检漏法 真空密封 真空检漏

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精检口位置对氦质谱检漏仪性能的影响研究 被引量：4

5

作者 李博 侯德峰 +1 位作者 王晓冬 巴德纯 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期58-65,共8页

多口复合分子泵的设计拓宽了复合分子泵在检漏技术中的应用范围,它结合了顺流检漏与逆流检漏各自特点,通过接入不同的抽气口以适应不同的检漏需求。多口复合分子泵的抽气能力决定了检漏仪的性能,而抽气口位置决定了分子泵的抽气能力。... 多口复合分子泵的设计拓宽了复合分子泵在检漏技术中的应用范围,它结合了顺流检漏与逆流检漏各自特点,通过接入不同的抽气口以适应不同的检漏需求。多口复合分子泵的抽气能力决定了检漏仪的性能,而抽气口位置决定了分子泵的抽气能力。基于分子泵抽气基本理论,建立了多口复合分子泵的计算模型,在涡轮级选取不同位置设置精检口,并结合质谱仪实际使用情况对抽气特性进行研究,分析精检口位置对检漏性能的影响,得到了不同检漏工况下的最优开口位置,为检漏用多口复合分子泵结构优化设计提供理论依据。结果表明,被检件工作压力为10 Pa时,精检口应开在第8级叶列之后,工作压力为0.1 Pa时,精检口只需在第3级叶列之后即可;漏孔漏率为0.1 Pa·m3/s,精检口位置应在8级叶列之后;当氦气返流量为最小可检漏率值时,将精检口开在第8级叶列处可以获得较好的检测性能。 展开更多

关键词 氦质谱检漏 多口复合分子泵 精检阀 开口位置 涡轮级

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机翼整体油箱氦质谱检漏技术 被引量：4

6

作者 陈向东 薛航 唐传兵 《航空制造技术》 北大核心 2002年第2期62-64,共3页

简要介绍了氦质谱检漏技术的基本原理 ;阐述了可用于机翼整体油箱检漏的 3种基本方法———单边罩合法、正压法、负压法 ;针对负压法对氦气与航空煤油的泄漏关系进行了对比试验 ,确定了能够应用于生产的初步标准。

关键词 氦质谱检漏 油箱检漏 机翼装置 整体油箱 辅抽系统

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基于氦质谱检漏仪的飞机机翼整体油箱检漏技术 被引量：9

7

作者 蒋永宏 《航空制造技术》 北大核心 2012年第16期77-79,83,共4页

介绍了氦质谱检漏的原理,基于氦质谱检漏技术,提出面向机翼整体油箱的检漏方案,包括粗漏检测方法和细漏检测方法,在此基础上,开展氦气-航空煤油泄漏对比试验,确定了能够应用于生产的初步标准。

关键词 氦质谱检漏 整体油箱 检漏方案

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低温贮箱共底管路的真空氦质谱检漏方法及系统 被引量：2

8

作者 国冰 李强 +2 位作者 王津 牛淼 郭锐 《导弹与航天运载技术》 CSCD 北大核心 2022年第2期104-109,共6页

某型火箭低温贮箱采用共底结构,射前需对共底抽真空,以降低共底两侧低温推进剂之间的热交换。为确保共底可顺利抽至所需的真空度,要求与共底相连的导管接头漏率不大于1×10^(-7)(Pa·m^(3))/s。对两种真空氦质谱检漏方法进行了... 某型火箭低温贮箱采用共底结构,射前需对共底抽真空,以降低共底两侧低温推进剂之间的热交换。为确保共底可顺利抽至所需的真空度,要求与共底相连的导管接头漏率不大于1×10^(-7)(Pa·m^(3))/s。对两种真空氦质谱检漏方法进行了对比,基于60°球头-喇叭口密封结构泄漏的Roth模型和试验验证,选择局部罩盒法对共底管路接头进行真空氦检,并优化设计了一套检漏系统,集检测和比对于一体。试验表明该方法和系统可快速、高可靠地检测共底管路导管接头处的漏率。 展开更多

关键词 共底 导管接头 真空氦质谱检漏 局部罩盒法

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常压累积法氦质谱检漏的误差分析 被引量：1

9

作者 康小录 《导弹与航天运载技术》 2000年第4期38-40,共3页

通过对常用的大气压累积法氦质谱检漏过程和标定技术的分析 ,导出了该方法所带来的系统误差的一般表达式。指出了消除系统误差 ,提高常压累积法氦质谱检漏准确度和可靠度的可能的努力方向。

关键词 误差 航天工程 标定 常压累积法氦质谱检漏

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基于氦质谱检漏技术的SiC衬底微管检测设备

10

作者 周立平 刘慧强 +2 位作者 王琪 李明 张继光 《半导体技术》 2025年第9期972-980,共9页

为解决SiC衬底微管缺陷检测精度低、效率差的问题,研制了基于氦质谱检漏技术的SiC衬底微管检测设备。该设备以PFEIFFER公司的ASM 340型检漏仪作为检测核心、西门子S7-1200系列可编程逻辑控制器(PLC)作为控制核心、节卡机器人股份有限公... 为解决SiC衬底微管缺陷检测精度低、效率差的问题,研制了基于氦质谱检漏技术的SiC衬底微管检测设备。该设备以PFEIFFER公司的ASM 340型检漏仪作为检测核心、西门子S7-1200系列可编程逻辑控制器(PLC)作为控制核心、节卡机器人股份有限公司的JAKA Zu@7型机器人作为自动搬运系统,实现SiC衬底微管缺陷的全自动检测。使用ANSYS Workbench仿真平台对衬底密封结构进行受力分析和计算仿真,以确保衬底在大气压作用下不会碎裂。该设备检测到的漏率最低值为3.0×10^(-10)Pa·m^(3)/s,测试速度为2.5 min/片,均显著优于漏液检测法;重复测试数据偏差小于10%,结果稳定可靠。通过瑕疵微管检测仪和奥林巴斯显微镜对SiC衬底湿法腐蚀前后状态进行检测,发现视觉技术无法准确识别贯穿微管缺陷。该设备可以显著提高SiC衬底微管的检测精度与效率,降低检测成本,对于提升SiC衬底质量具有重要意义。 展开更多

关键词 SiC衬底 微管缺陷 氦质谱检漏技术 计算仿真 西门子可编程逻辑控制器(PLC)

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发电厂凝汽器冷却管泄漏在线定位技术研究

11

作者 孟龙 张维科 +4 位作者 李俊菀 龙国军 孙鹏 黄治国 蒋友伟 《热力发电》 北大核心 2025年第1期162-170,共9页

为提高凝汽器泄漏冷却管定位的时效性和准确性,解决无法在线定位的难题,采用理论分析和试验研究相结合的方法论证了泄漏冷却管在线定位技术的最优路线。结果表明:示踪气体泄漏检测技术具有定位效率高和定位精度高的特点,适用于开发凝汽... 为提高凝汽器泄漏冷却管定位的时效性和准确性,解决无法在线定位的难题,采用理论分析和试验研究相结合的方法论证了泄漏冷却管在线定位技术的最优路线。结果表明:示踪气体泄漏检测技术具有定位效率高和定位精度高的特点,适用于开发凝汽器泄漏冷却管在线定位技术;在凝汽器半侧隔离放水期间建立氦质谱检测变化值、时间、水室液位高度3个变量间的关系模型,定位凝汽器泄漏冷却管所在高度,从而确定凝汽器泄漏管排。 展开更多

关键词 凝汽器 冷却管 泄漏 管排 氦质谱检漏 文丘里

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基于常压氦质谱累积检漏的定/变容漏率标定技术研究 被引量：2

12

作者 李宏宇 彭光东 +1 位作者 韩洋 陈丽 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1033-1038,共6页

漏率标定技术是航天器密封性能检测的重要组成部分,直接决定计算漏率的大小。为减小漏率标定测试数据误差,提高检测精度,本文基于常压氦质谱累积检漏法,通过理论分析与实验,研究了注入氦气量、收集室体积、航天器漏率等参数对漏率标定... 漏率标定技术是航天器密封性能检测的重要组成部分,直接决定计算漏率的大小。为减小漏率标定测试数据误差,提高检测精度,本文基于常压氦质谱累积检漏法,通过理论分析与实验,研究了注入氦气量、收集室体积、航天器漏率等参数对漏率标定数据的影响。结果表明,测试数据与注入的氦气量呈线性关系,并随着收集室体积的增加而减小;收集室累积空间体积在30～100 m^3之间时,漏率标定测试数据变化率在10-9量级且相对稳定,有助于完善漏率标定数学模型;通过标准漏孔模拟航天器的漏率,当漏率小于1×10^(-4)Pa·m^3/s时,标定测试数据(1 h内)相对偏差小于30%,同时可采取缩短漏率标定时间、风机循环使氦气分布均匀等方式提高航天器的漏率检测精度。 展开更多

关键词 氦质谱检漏 漏率标定 氦气量 收集室

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贮氢压力系统氢介质检漏方法研究 被引量：2

13

作者 王小娟 丰杰 王莹 《压力容器》 北大核心 2019年第2期1-5,共5页

对贮氢压力系统,基于氦质谱仪的氢检测模式,提出了采用系统自带氢气作为示踪气体的氢质谱检漏方法。为验证该方法的有效性,开展了低漏率通道型漏孔研制,通过金属毛细管挤压、固定的方式制作了常压下氦漏率在10^(-6)～10^(-8)Pa·m^... 对贮氢压力系统,基于氦质谱仪的氢检测模式,提出了采用系统自带氢气作为示踪气体的氢质谱检漏方法。为验证该方法的有效性,开展了低漏率通道型漏孔研制,通过金属毛细管挤压、固定的方式制作了常压下氦漏率在10^(-6)～10^(-8)Pa·m^3/s量级范围的通道型漏孔,采用氦质谱检漏技术监测了部分漏孔漏率随时间变化情况,监测结果表明,该方法可以制备漏率稳定的漏孔。基于研制漏孔,利用质谱仪的氢、氦检测模式获得了对应氢、氦示踪介质的漏率。通过对氢、氦漏率值的对比分析发现:当漏孔氦漏率在10^(-7)Pa·m^3/s量级及以上时,氢模式下的氢漏率稳定,约为氦检漏模式下氦漏率的2～5倍;但随着漏孔漏率进一步减小,采用现有质谱仪的氢检测模式将无法获得有效漏率值。 展开更多

关键词 质谱仪 氦质谱检漏 标准漏孔 贮氢压力系统

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平行缝焊微电子器件的光学检漏 被引量：1

14

作者 张泽丰 徐达 +2 位作者 谭亮 魏少伟 马紫成 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期285-291,共7页

光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测... 光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。 展开更多

关键词 微电子器件 光学检漏 平行缝焊 密封 氦质谱检漏

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HL-2M装置真空室预装阶段检漏试验 被引量：2

15

作者 蔡潇 曹曾 +3 位作者 冉红 黄向玫 张炜 李瑞鋆 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期221-226,共6页

通过在加工现场和安装现场搭建的真空辅助系统、四极质谱计及氦检漏仪组成的检漏系统,运用残余气体分析和氦质谱检漏方法在冷态下对HL-2M真空室扇形段及真空室整体进行了真空检漏试验。对漏点进行修复后,测试了真空室的极限真空度和总... 通过在加工现场和安装现场搭建的真空辅助系统、四极质谱计及氦检漏仪组成的检漏系统,运用残余气体分析和氦质谱检漏方法在冷态下对HL-2M真空室扇形段及真空室整体进行了真空检漏试验。对漏点进行修复后,测试了真空室的极限真空度和总漏气率等。真空室经过72h的抽气后,真空度达到3.7×10^(-5)Pa,超过了1.0×10^(-4)Pa的预期预抽真空度。用静态定容法测得的真空室漏放气率为2.3×10^(-7)Pa·m^(3)·s^(-1),小于设定的真空漏率技术指标5×10^(-7)Pa·m^(3)·s^(-1)。试验结果表明HL-2M装置真空室满足超高真空条件,符合设计要求。 展开更多

关键词 超高真空 氦质谱检漏 残余气体分析 总漏气率

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大容积密闭容器背压法漏率检测关键技术研究 被引量：2

16

作者 许阳光 潘晓霞 +5 位作者 刘晓艰 王彤 蔡悦 曾祥兵 杜宏伟 廖彬 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期839-845,共7页

围绕容积为104cm^3量级的密闭容器开展背压法漏率检测关键技术研究,分析了压氦压力、压氦时间、容器内外壁气体解吸附等因素对实验结果的影响机制,建立了一套可用于大容积密闭容器的背压法检漏流程。理论和实验研究结果表明,将背压法用... 围绕容积为104cm^3量级的密闭容器开展背压法漏率检测关键技术研究,分析了压氦压力、压氦时间、容器内外壁气体解吸附等因素对实验结果的影响机制,建立了一套可用于大容积密闭容器的背压法检漏流程。理论和实验研究结果表明,将背压法用于预制漏率为10^(-6)Pa·m^3/s量级的大容积密闭容器的漏率检测是可行的。随着漏孔漏率的降低(低于10^(-7)Pa·m^3/s量级),试验件的最低可检漏率也将逐渐低于氦质谱检漏仪的有效检测漏率,而由于被检对象的本底漏率值无法提前获知,将造成将背压法用于更低漏率的大容积密闭容器的漏率测试结果误差极大地增加。相关研究结果对于大容积密闭容器的漏率检测具有一定的理论指导价值。 展开更多

关键词 大容积密闭容器 氦质谱检漏 背压法 预压氦法

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细长管道检测长度对检漏结果及效率影响的实验测试及分析 被引量：1

17

作者 白国云 廖旭东 +2 位作者 陈涛 张宇 冯晓 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1140-1144,共5页

为提高喷吹法检测细长管路的工作效率，需确定管路检漏长度与检漏效率之间的关系。本文以理论分析结果为依据，设计了管道内径为币40mm，长度分别为30，36，48，72，108，156m的实验。通过对关键检漏参数及实验数据的分析和讨论，研究... 为提高喷吹法检测细长管路的工作效率，需确定管路检漏长度与检漏效率之间的关系。本文以理论分析结果为依据，设计了管道内径为币40mm，长度分别为30，36，48，72，108，156m的实验。通过对关键检漏参数及实验数据的分析和讨论，研究结果认为：管路越长其检漏效率越低，不仅所需要的检漏时间多，而且不利于漏孔的定位与定量。当内径为西40mm时，最佳的管路检测长度为36～48m。 展开更多

关键词 细长管道 氦质谱检漏 检漏效率 检漏结果

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面向先进检漏技术的航空产品密封实现及保证 被引量：7

18

作者 许国康 《航空制造技术》 北大核心 2013年第20期103-108,共6页

简要介绍了航空结构密封及其意义。对航空结构密封检漏方法及问题、密封性的实现及其保证手段进行了分析,并提供了整体油箱采用先进检漏技术实施方案,最后提出了航空密封结构应用先进检漏方法的实施思路。

关键词 航空结构 密封 泄漏检测 氦质谱检漏 整体油箱

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航天器推进系统漏率测试不确定度评定 被引量：6

19

作者 李宏宇 张静 +3 位作者 彭光东 韩洋 张世一 陈丽 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期625-629,共5页

基于常压氦质谱累积检漏,提出了航天器推进系统漏率测试不确定度评定方法,建立了一元一次线性数学模型,运用最小二乘法理论对比分析了氦气累积过程和漏率标定过程的A类和B类不确定度计算结果,试验验证检漏不确定度评定的影响因素,认为... 基于常压氦质谱累积检漏,提出了航天器推进系统漏率测试不确定度评定方法,建立了一元一次线性数学模型,运用最小二乘法理论对比分析了氦气累积过程和漏率标定过程的A类和B类不确定度计算结果,试验验证检漏不确定度评定的影响因素,认为氦气累积过程B类不确定度对航天器推进系统漏率测试结果的不确定度评定影响较大,而B类不确定度主要来源于检测仪器的固有测试误差,同时总结了检漏仪测试数据变化量与漏率测试不确定度的关系,为提高航天器推进系统漏率计算结果精准性指明了方向。 展开更多

关键词 氦质谱检漏 不确定度评定 漏率标定 航天器推进系统

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KM6热沉的检漏技术

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作者 李智敏 李凤玲 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第A10期199-202,共4页

ＫＭ６是我国新研制的一台大型空间环境模拟设备，热沉是该设备中的重要组成部分。由于热沉内通的是一－１９６℃的液氮或＋１００℃的热氮气，最大内压可达１．６ＭＰａ， 它又是放在一个５×１０＾－５Ｐａ的真空容器内，因此对... ＫＭ６是我国新研制的一台大型空间环境模拟设备，热沉是该设备中的重要组成部分。由于热沉内通的是一－１９６℃的液氮或＋１００℃的热氮气，最大内压可达１．６ＭＰａ， 它又是放在一个５×１０＾－５Ｐａ的真空容器内，因此对热沉在加工过程中的检漏提出了非常苛刻的要求。本文介绍了所采用的并为实践证明是成功的检漏技术。 展开更多

关键词 空间环境 模拟设备 热沉漏率 氦质谱检漏 检漏

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