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常温氦离子注入纳米钛膜的微结构分析 被引量:1
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作者 郑思孝 罗顺忠 +5 位作者 刘仲阳 龙兴贵 王培禄 彭述明 廖小东 刘宁 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期388-392,共5页
在常温下 ,用 2 0 0、10 0keVHe离子按He Ti原子浓度比 0 1、0 3和 0 2的剂量注入纳米钛膜 ,采用现代表面分析技术对试样进行形貌观察与微观分析。测试分析结果表明 :注入前 ,沉积膜的原子力显微镜 (AFM )形貌像呈现从几十至 2 0 0n... 在常温下 ,用 2 0 0、10 0keVHe离子按He Ti原子浓度比 0 1、0 3和 0 2的剂量注入纳米钛膜 ,采用现代表面分析技术对试样进行形貌观察与微观分析。测试分析结果表明 :注入前 ,沉积膜的原子力显微镜 (AFM )形貌像呈现从几十至 2 0 0nm以上极不均匀的晶粒尺度 ;注入后 ,3个试样的晶粒均有所长大 ,且随着注入剂量的增加 ,其长大趋势更为明显。这些长大的晶粒中同时存在大量的亚结构 ,表明在高剂量氦离子注入下 ,导致出现表层晶粒细化现象 ;He离子注入后的试样在衍射角 15°~ 40°之间出现可辨的衍射峰 ,其膜层内的平均晶粒尺寸约 13 6nm ,说明经离子注入后 ,膜层内纳米粒子的结晶度得到进一步提高 ,晶粒度比注入前长大。 展开更多
关键词 氦离子注入 纳米钛膜 微结构分析 表面分析 贮氢材料
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氦离子注入对Ti6Al4V合金组织和力学性能的影响
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作者 陈善华 吴勇 G. Schumacher 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期25-29,33,共6页
在室温和400-700℃条件下,采用1×10^17ions/cm^2注入剂量和200keV加速电压对Ti6Al4V合金进行了氦离子注入。分别采用纳米硬度仪和X射线衍射方法对Ti6Al4V合金的氦离子注入表面层(≤700nm)进行了纳米硬度、弹性模量测试和物相分... 在室温和400-700℃条件下,采用1×10^17ions/cm^2注入剂量和200keV加速电压对Ti6Al4V合金进行了氦离子注入。分别采用纳米硬度仪和X射线衍射方法对Ti6Al4V合金的氦离子注入表面层(≤700nm)进行了纳米硬度、弹性模量测试和物相分析。结果表明:在室温至600℃范围内,氦离子注入温度越高,Ti6Al4V合金注入层的硬度也越高,而其弹性模量则变小。氦离子注入温度为700℃时,Ti6Al4V合金发生了软化,其弹性模量也有所提高。氦离子注入引起的硬化现象与点缺陷和Ti6Al4V合金中β相的析出有关,而软化现象则与β相的粗化和γ-TiH相的形成有关。 展开更多
关键词 TI6AL4V合金 氦离子注入 纳米硬度 弹性模量 物相分析
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铒、钪膜中离子注入氦的热解析行为 被引量:2
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作者 周晓松 申华海 +3 位作者 彭述明 龙兴贵 杨莉 祖小涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1169-1172,共4页
采用热解析法初步研究了铒、钪膜中离子注入氦的热解析行为。研究结果表明:同种元素铒中离子注入氦的热释放峰位相同,但膜的致密性将影响氦的释放量,结构疏松的膜中存在的孔洞是氦的快速释放通道;在相同注入剂量和能量条件下,铒、钪膜... 采用热解析法初步研究了铒、钪膜中离子注入氦的热解析行为。研究结果表明:同种元素铒中离子注入氦的热释放峰位相同,但膜的致密性将影响氦的释放量,结构疏松的膜中存在的孔洞是氦的快速释放通道;在相同注入剂量和能量条件下,铒、钪膜中注入氦的热释放峰位不同,这可能与氦在铒、钪膜中的深度分布及膜的致密性有关,利用质子增强背散射法测量出能量为60keV的4 He+在铒、钪膜中的注入深度分别为210,308nm。 展开更多
关键词 铒膜 钪膜 氦离子注入 热解析
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氦离子显微镜的发展及现状
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作者 田利丰 刘培 孟祥敏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期673-684,共12页
随着超尖端灯丝制作工艺的突破,气态场离子源技术得到了前所未有的发展,依托该技术成型的氦离子显微镜弥补了传统聚焦离子束的不足,将材料加工推进到纳米尺度,同时基于其轻质离子源的特性,实现在无镀层条件下的高分辨成像。本文对氦离... 随着超尖端灯丝制作工艺的突破,气态场离子源技术得到了前所未有的发展,依托该技术成型的氦离子显微镜弥补了传统聚焦离子束的不足,将材料加工推进到纳米尺度,同时基于其轻质离子源的特性,实现在无镀层条件下的高分辨成像。本文对氦离子显微镜的原理进行了简单阐述,举例介绍了氦离子显微镜在高分辨成像、微纳尺度加工以及氦离子原位辐照等方面的最新进展。 展开更多
关键词 气态场离子 离子显微镜 微纳加工 氦离子注入
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低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件输运模型 被引量:3
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作者 方健 李肇基 +1 位作者 李鸿雁 杨健 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1072-1075,共4页
提出一种低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件的双极输运模型 .借助三区双极输运方程导出稳态的非平衡载流子浓度分布和正向压降 .借助电荷控制法并引入有效寿命概念获得反向恢复时间 .理论分析和实验结果表明这种器件的反向恢复... 提出一种低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件的双极输运模型 .借助三区双极输运方程导出稳态的非平衡载流子浓度分布和正向压降 .借助电荷控制法并引入有效寿命概念获得反向恢复时间 .理论分析和实验结果表明这种器件的反向恢复时间减小到常规器件的 1/ 2以下 ,而正向压降仅增加 10 % . 展开更多
关键词 电导调制 功率器件 氦离子注入 局域寿命控制 输运模型
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纳米结构9Cr-ODS钢的微观结构及对氦泡形成的影响 被引量:1
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作者 卢晨阳 吕铮 +1 位作者 李云鹏 刘春明 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1133-1136,共4页
以采用机械合金化和热等静压法制备的纳米结构9Cr-ODS钢为研究对象,利用高分辨率透射电镜和扫描透射电镜的高角环形暗场像等手段分析了9Cr-ODS钢的微观结构特征;利用400 keV离子加速器向9Cr-ODS钢及无ODS的Eurofer97钢中注入4×1017... 以采用机械合金化和热等静压法制备的纳米结构9Cr-ODS钢为研究对象,利用高分辨率透射电镜和扫描透射电镜的高角环形暗场像等手段分析了9Cr-ODS钢的微观结构特征;利用400 keV离子加速器向9Cr-ODS钢及无ODS的Eurofer97钢中注入4×1017/cm2氦离子,对比了氦泡尺寸.结果表明:纳米结构9Cr-ODS钢的平均晶粒尺寸约0.5μm,存在两种尺寸不同的析出相:超高密度弥散分布的纳米尺度Y2Ti2O7析出相和倾向于在晶界形成的尺寸较大的Mn(Ti)Cr2O4析出相.ODS钢中的氦泡尺寸明显小于Eurofer97钢,说明纳米析出相对粗大氦泡的形成有明显的抑制作用. 展开更多
关键词 ODS钢 氦离子注入 析出相 Y—Ti—O Mn(Ti)Cr2O4
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