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氙气中全杂质的分析方法研究
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作者 刘汉兵 万芳 +6 位作者 查玲 韩曦 杨艳 程效明 孙超 郁光 方华 《低温与特气》 CAS 2023年第1期28-31,共4页
建立了一种利用氦离子气相色谱仪检测氙气中全杂质的分析方法,通过色谱柱选择切换、反吹放空等技术,采用最佳色谱仪工作参数及阀切时间,解决了分离氧气和氩气,分离四氟化碳、六氟乙烷和六氟化硫的分析难点。结果表明,该分析方法大大提... 建立了一种利用氦离子气相色谱仪检测氙气中全杂质的分析方法,通过色谱柱选择切换、反吹放空等技术,采用最佳色谱仪工作参数及阀切时间,解决了分离氧气和氩气,分离四氟化碳、六氟乙烷和六氟化硫的分析难点。结果表明,该分析方法大大提高了氙气中杂质的检测效率及准确度,能够检测氙气中10-9级微量杂质。 展开更多
关键词 氦离子气相色谱仪 高纯氙气 相色谱
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