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WC-Co硬质合金表面不同去钴预处理方法的比较研究
被引量：
1
1
作者
俞世吉
丁振峰
+1 位作者
马腾才
邬钦崇
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第1期71-73,70,共4页
用微波等离子体化学气相沉积 (MWPCVD)制备金刚石薄膜涂层之前 ,采用盐酸、硝酸化学腐蚀和氢 氧等离子体对WC Co硬质合金 (YG6 )基体表面进行去钴预处理。扫描电子显微镜形貌观察和X射线衍射谱分析都表明 ,与化学腐蚀方法相比 ,氢 氧等...
用微波等离子体化学气相沉积 (MWPCVD)制备金刚石薄膜涂层之前 ,采用盐酸、硝酸化学腐蚀和氢 氧等离子体对WC Co硬质合金 (YG6 )基体表面进行去钴预处理。扫描电子显微镜形貌观察和X射线衍射谱分析都表明 ,与化学腐蚀方法相比 ,氢 氧等离子体处理具有独特的表面去钴效果 ,沉积金刚石薄膜的喇曼谱分析更证实其对涂层质量的改善 ,且对MW PCVD过程而言有其技术上的一些优越性。
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关键词
WC
-
CO硬质合金
去钴预处理
氢-氧等离子体
表面处理
金刚石薄膜
MWPCVD
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职称材料
题名
WC-Co硬质合金表面不同去钴预处理方法的比较研究
被引量：
1
1
作者
俞世吉
丁振峰
马腾才
邬钦崇
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室
中国科学院等离子体物理研究所
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第1期71-73,70,共4页
基金
8 6 3计划资助项目
文摘
用微波等离子体化学气相沉积 (MWPCVD)制备金刚石薄膜涂层之前 ,采用盐酸、硝酸化学腐蚀和氢 氧等离子体对WC Co硬质合金 (YG6 )基体表面进行去钴预处理。扫描电子显微镜形貌观察和X射线衍射谱分析都表明 ,与化学腐蚀方法相比 ,氢 氧等离子体处理具有独特的表面去钴效果 ,沉积金刚石薄膜的喇曼谱分析更证实其对涂层质量的改善 ,且对MW PCVD过程而言有其技术上的一些优越性。
关键词
WC
-
CO硬质合金
去钴预处理
氢-氧等离子体
表面处理
金刚石薄膜
MWPCVD
Keywords
WC Co cemented carbide,Etching Co pretreatment,H 2 O 2 plas
分类号
TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
WC-Co硬质合金表面不同去钴预处理方法的比较研究
俞世吉
丁振峰
马腾才
邬钦崇
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001
1
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