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半导体场效晶体管型pCO_2传感器研究
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作者 张福海 牛文成 《传感技术学报》 CAS CSCD 1989年第4期22-27,共6页
本文对采用氢离子敏感场效应晶体管制作场效应晶体管型pCO_2传感器进行了初步探讨。从理论上分析了其敏感机理、稳定性、响应速度及传感器设计原则,获得了令人满意的实验结果。
关键词 氢离子敏感场效应晶体管(ph-isfet) 场效应晶体管型溶二氧化碳传感器(FET型pCO2传感器)
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