MXene掺杂下钯纳米颗粒氢气传感器延寿研究

1

作者 魏莉 车浩 王博一 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第9期25-28,共4页

采用水热法,在30℃温度下成功合成了钯纳米颗粒(Pd NPs)/MXene的纳米复合材料,通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)等方法对材料的结构、形貌和成分进行了表征分析,证明材料为纯Pd NPs与MXene组成,Pd NPs... 采用水热法,在30℃温度下成功合成了钯纳米颗粒(Pd NPs)/MXene的纳米复合材料,通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)等方法对材料的结构、形貌和成分进行了表征分析,证明材料为纯Pd NPs与MXene组成,Pd NPs处于层状结构内部。将Pd NPs/MXene滴定于插指电极上制备氢气传感器用于氢气检测。结果显示,Pd NPS/MXene材料具备着良好的氢敏性能,能够在降低零点漂移、提升稳定性的同时保持良好的响应与恢复速度,延长纯Pd NPs氢气传感器60倍的使用寿命,这些提升在空气环境下的实际应用中,具有发展潜力。 展开更多

关键词 钯纳米颗粒 氢气传感器 微纳结构

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氢气传感器在电解制氧系统中的应用研究 被引量：1

2

作者 钱力 李森 +3 位作者 黄刚 彭卓 王飞 潘点飞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第4期21-24,共4页

针对电解制氧系统中氢气浓度测量受环境因素影响大、测量准确性低等问题,选取了半导体型、催化燃烧型、热导型三类不同原理的氢气传感器,对其在电解制氧系统中的应用进行了试验验证,并对试验结果进行了讨论,分析了各类氢气传感器的使用... 针对电解制氧系统中氢气浓度测量受环境因素影响大、测量准确性低等问题,选取了半导体型、催化燃烧型、热导型三类不同原理的氢气传感器,对其在电解制氧系统中的应用进行了试验验证,并对试验结果进行了讨论,分析了各类氢气传感器的使用局限性。 展开更多

关键词 半导体型 催化燃烧型 热导型 氢气传感器 电解制氧系统

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不同退火气氛对PdNi氢气传感器的性能影响研究

3

作者 李祎龙 张虹 +7 位作者 金凡亚 姚明镜 黄熠 杨彪 但敏 唐语杉 褚力 马韦刚 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期969-975,共7页

氢能是最有望代替化石能源的清洁能源之一,其具有易生产、高效和清洁环保等优点。但当氢气浓度达到4%~75.6%时,极易发生爆炸,所以在氢气的生产制备、储存、运输、分配和应用过程中,氢气浓度监测极为重要。文章采用磁控溅射技术和MEMS工... 氢能是最有望代替化石能源的清洁能源之一,其具有易生产、高效和清洁环保等优点。但当氢气浓度达到4%~75.6%时,极易发生爆炸,所以在氢气的生产制备、储存、运输、分配和应用过程中,氢气浓度监测极为重要。文章采用磁控溅射技术和MEMS工艺制备了薄膜厚度为90 nm的PdNi合金薄膜,针对PdNi合金薄膜氢气传感器的零点漂移问题,采用空气和氩气进行退火处理,退火温度和时间设置为250℃和2 h,随后测试了不同退火气氛下的PdNi合金薄膜氢气传感器的氢敏响应特性。研究表明:空气退火后,PdNi薄膜氧化严重,不能对H2有较好地响应;Ar退火后,PdNi薄膜合金化程度增强,薄膜缺陷减少,降低了PdNi合金薄膜传感器的响应值及灵敏度、延长响应时间,但会使材料结构更加稳定,可以抑制传感器的零点漂移现象,相较于未退火样品优化了50%左右,传感器响应更加稳定。 展开更多

关键词 氢气传感器 薄膜 PdNi 零点漂移

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Pd/Ga_(2)O_(3)/AlGaN/GaN HEMT基氢气传感器研究

4

作者 钟远婷 孙爱发 +1 位作者 刘阳泉 钟爱华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第3期18-21,共4页

氢气易燃易爆,因此需要海量快速响应的氢气传感器对加氢站、运输车及氢能源汽车等氢能源各个环节进行预警预报。本文研究了基于贵金属钯(Pd)为栅极的高速二维电子气晶体管(HEMT)型氢气传感器,金属Pd栅极为敏感电极,Ti/Al/Ti/Au为源漏极... 氢气易燃易爆,因此需要海量快速响应的氢气传感器对加氢站、运输车及氢能源汽车等氢能源各个环节进行预警预报。本文研究了基于贵金属钯(Pd)为栅极的高速二维电子气晶体管(HEMT)型氢气传感器,金属Pd栅极为敏感电极,Ti/Al/Ti/Au为源漏极。结果表明:该晶体管开关比为3.58×10^(7)。实验研究了不同厚度Ga_(2)O_(3)插入层对氢气响应特性的影响规律。随着Ga_(2)O_(3)插入层的厚度增大,传感器的饱和体积分数明显增大,从1×10^(-3)提高到7×10^(-3)。对于Ga_(2)O_(3)插入层厚度为10 nm的器件,其综合性能最好,饱和浓度为5×10^(-3),且具有很高的响应度,1×10^(-3)时的响应度为4300%。特别地,其响应速度非常快,最快可以2 s内完成氢气检测。 展开更多

关键词 氧化镓薄膜 氢气传感器 HEMT 选择性

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基于GA⁃BP神经网络的氢气传感器的浓度补偿研究 被引量：1

5

作者 王雅坤 张宝林 +3 位作者 王兆成 周传君 郭仕佳 马琬雲 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第11期33-36,共4页

为解决环境因素致使氢气浓度传感器测量精度误差较大,导致氢燃料电池车辆因氢气泄漏检测不精确而产生爆炸风险的问题,提出了一种基于遗传算法反向传播(GA⁃BP)神经网络的氢气浓度传感器的浓度补偿方法。首先,利用BP神经网络对氢气浓度进... 为解决环境因素致使氢气浓度传感器测量精度误差较大,导致氢燃料电池车辆因氢气泄漏检测不精确而产生爆炸风险的问题,提出了一种基于遗传算法反向传播(GA⁃BP)神经网络的氢气浓度传感器的浓度补偿方法。首先,利用BP神经网络对氢气浓度进行初步预测;然后,通过GA在寻优方面的优势进行浓度补偿,解决了BP神经网络局部陷入极值的问题。实验结果表明:基于GA⁃BP神经网络的氢气浓度传感器的浓度补偿方法对热导型氢气浓度传感器的预测准确度达到99.98%,最大相对误差值为0.2%,氢气浓度传感器的测量准确度提高了50.8%,为氢燃料汽车行业的发展奠定了基础。 展开更多

关键词 氢气浓度传感器 反向传播神经网络 遗传算法 遗传算法—反向传播神经网络

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氢敏材料及氢气传感器的研究进展 被引量：16

6

作者 陶长元 唐金晶 +1 位作者 杜军 孙才新 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期9-11,16,共4页

对氢气进行快速、准确、原位测量,具有重要的学术意义和广阔的应用前景。氢气传感器发展的关键在于高品质氢敏材料的研制,氢敏材料的敏感响应性、重现性等决定着氢气传感器的工作性能。综述了近年来研究较多的半导体型、热电型、光学型... 对氢气进行快速、准确、原位测量,具有重要的学术意义和广阔的应用前景。氢气传感器发展的关键在于高品质氢敏材料的研制,氢敏材料的敏感响应性、重现性等决定着氢气传感器的工作性能。综述了近年来研究较多的半导体型、热电型、光学型、电化学型4类氢气传感器及相应氢敏材料的研究进展,并展望了氢敏材料及氢气传感器的发展方向。 展开更多

关键词 氢气传感器 高品质 快速 工作性能 半导体 研究进展 材料 综述 敏感 决定

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氢气传感器的研究进展 被引量：17

7

作者 刘俊峰 陈侃松 +2 位作者 王爱敏 顾豪爽 刘华容 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第8期8-11,共4页

作为氢气检测的一种重要手段,氢气传感器显得尤为重要。介绍了目前研究最为广泛的半导体型、热电型、光纤型3种氢气传感器的研究进展,分别阐述了这3种传感器的结构、工作原理、研究现状及其优缺点,并对氢气传感器的应用前景和研究方向... 作为氢气检测的一种重要手段,氢气传感器显得尤为重要。介绍了目前研究最为广泛的半导体型、热电型、光纤型3种氢气传感器的研究进展,分别阐述了这3种传感器的结构、工作原理、研究现状及其优缺点,并对氢气传感器的应用前景和研究方向进行了展望。 展开更多

关键词 电子技术 氢气传感器 综述

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基于WO_3-Pd复合膜的D型光纤光栅氢气传感器 被引量：8

8

作者 代吉祥 杨明红 +3 位作者 程芸 曹坤 廖俊生 张鹏程 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1003-1007,共5页

采用磁控溅射方法在侧边抛磨的光纤光栅(D型光纤光栅)上溅射40 nm WO3-Pd复合薄膜,制作了D型光纤光栅氢气传感器.40 nm WO3-Pd复合薄膜是由5 nm的WO3、5 nm的WO3/Pd混合膜和30 nm的Pd薄膜组成.实验中,首先采用射频溅射技术向D型光纤光... 采用磁控溅射方法在侧边抛磨的光纤光栅(D型光纤光栅)上溅射40 nm WO3-Pd复合薄膜,制作了D型光纤光栅氢气传感器.40 nm WO3-Pd复合薄膜是由5 nm的WO3、5 nm的WO3/Pd混合膜和30 nm的Pd薄膜组成.实验中,首先采用射频溅射技术向D型光纤光栅溅射5 nmWO3薄膜,再利用共溅射技术溅射5 nm WO3/Pd混合膜,最后用直流溅射技术溅射30 nm的Pd薄膜.SEM结果显示在多次通氢气后WO3-Pd薄膜仍然具有较好的表面形貌,这说明WO3-Pd复合薄膜具有较好的机械性能.实验结果表明:该氢气传感器具有较好的重复性,同镀有同样氢气敏感膜的普通FBG相比,D型光纤光栅的灵敏度提高了200%;在氢气体积浓度为6%时,D型光纤光栅传感器的波长变化为15pm. 展开更多

关键词 D型光纤光栅 磁控溅射 WO3-Pd复合膜 氢气传感器

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基于小波奇异熵和相关向量机的氢气传感器故障诊断 被引量：14

9

作者 王冰 刁鸣 宋凯 《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期96-101,共6页

针对氢气传感器故障问题,提出了一种智能化的传感器故障诊断方法,可以对自身故障状态进行诊断和识别。提出了一种基于小波奇异熵(wavelet singular entropy,WSE)和相关向量机(relevance vector machine,RVM)原理的氢气传感器故障诊断方... 针对氢气传感器故障问题,提出了一种智能化的传感器故障诊断方法,可以对自身故障状态进行诊断和识别。提出了一种基于小波奇异熵(wavelet singular entropy,WSE)和相关向量机(relevance vector machine,RVM)原理的氢气传感器故障诊断方法,将小波变换和奇异熵两种分析思想相结合,提取信号的完备故障特征;利用小生境粒子群优化算法(niche particle swarm optimization,NPSO)对相关向量机的核参数进行优化,提高故障诊断的准确率。将提出的方法与其他成熟算法进行了比较,实验结果表明所提方法故障诊断识别率达到98%以上,解决了非线性、小样本条件下的传感器故障诊断问题,提高了传感器的可靠性。 展开更多

关键词 小波奇异熵 相关向量机 氢气传感器 小生境粒子群优化 故障诊断

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薄膜型钯-铬合金氢气传感器技术研究 被引量：6

10

作者 肖友文 景涛 +3 位作者 谢贵久 张建国 王玉明 章良 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2012年第11期7-9,共3页

文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器。测试了传感器对0～4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0～4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性。

关键词 薄膜 钯铬 氢气传感器

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基于表面等离子体共振的光子准晶体光纤甲烷氢气传感器 被引量：4

11

作者 刘强 赵锦 +7 位作者 孙宇丹 刘伟 王建鑫 刘超 吕靖薇 王诗淼 蒋宇 朱剑豪 《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期174-183,共10页

设计了一种用于同时检测甲烷和氢气的基于表面等离子体共振(SPR)的新型光子准晶体光纤(PQF)传感器。在该传感器中,在银膜上分别沉积Pd-WO3和掺杂聚硅氧烷的笼型分子E薄膜作为氢气和甲烷的敏感材料。采用全矢量有限元方法对PQF-SPR传感... 设计了一种用于同时检测甲烷和氢气的基于表面等离子体共振(SPR)的新型光子准晶体光纤(PQF)传感器。在该传感器中,在银膜上分别沉积Pd-WO3和掺杂聚硅氧烷的笼型分子E薄膜作为氢气和甲烷的敏感材料。采用全矢量有限元方法对PQF-SPR传感器进行数值分析,结果证明该传感器具有良好的传感性能。在0%~3.5%的浓度范围内,氢气的最大检测灵敏度和平均灵敏度分别为0.8 nm/%和0.65 nm/%,甲烷的最大灵敏度和平均灵敏度分别为10 nm/%和8.81 nm/%。该传感器具有同时检测多种气体的能力,在设备小型化和远程监测方面具有很大的潜力。 展开更多

关键词 甲烷传感器 氢气传感器 表面等离子体共振 光子准晶体光纤

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钯铬合金电阻氢气传感器研究 被引量：7

12

作者 肖友文 谢贵久 +4 位作者 王玉明 谢利华 曾固 钱力 宋祖殷 《载人航天》 CSCD 2012年第5期78-81,96,共5页

采用钯铬合金作为氢敏材料，利用离子柬技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0-4%浓度范围氢气的敏感特性，结果显示，传感器对0-4％氢气浓度具有良好的线性输出特性，并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性，传感器响应信... 采用钯铬合金作为氢敏材料，利用离子柬技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0-4%浓度范围氢气的敏感特性，结果显示，传感器对0-4％氢气浓度具有良好的线性输出特性，并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性，传感器响应信号相对强度随着温度升高减小，传感器响应时间随着温度升高而减小。 展开更多

关键词 薄膜 钯铬 氢气传感器

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级联长周期光纤光栅氢气传感器 被引量：3

13

作者 黎启胜 张毅 +2 位作者 庄志 张敏 杨振 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期936-939,共4页

为了监测某些特殊研究领域内狭小密闭空间里的氢气气氛,以防止氢气泄漏对产品和人员产生危害,研究了一种表面镀钯银合金(Pd-Ag)膜的级联长周期光纤光栅氢气传感器。简要介绍了检测原理,通过初步实验获得不同氢气浓度下的透射光谱,分析... 为了监测某些特殊研究领域内狭小密闭空间里的氢气气氛,以防止氢气泄漏对产品和人员产生危害,研究了一种表面镀钯银合金(Pd-Ag)膜的级联长周期光纤光栅氢气传感器。简要介绍了检测原理,通过初步实验获得不同氢气浓度下的透射光谱,分析了对应的干涉条纹对比度变化规律,实验结果表明设计的传感器对氢气浓度具有明显的响应特性可以用于监测氢气。 展开更多

关键词 气体测量 氢气传感器 级联长周期光纤光栅 钯银合金膜 干涉条纹的对比度

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新型高性能氢气传感器 被引量：2

14

作者 肖定全 余萍 +4 位作者 朱建国 杜若昕 彭商强 李平 庄宇荔 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期268-270,共3页

报道了本项目组发明的Ａｌ２Ｏ３基新型高性能半导体陶瓷气体传感器材料及用以制造氢气体传感器的研究结果。这类新型气体传感器具有工作温度低、气体选择性好、检测灵敏度与气体浓度呈近似线性关系、响应时间和恢复时间快、抗湿性能好... 报道了本项目组发明的Ａｌ２Ｏ３基新型高性能半导体陶瓷气体传感器材料及用以制造氢气体传感器的研究结果。这类新型气体传感器具有工作温度低、气体选择性好、检测灵敏度与气体浓度呈近似线性关系、响应时间和恢复时间快、抗湿性能好等明显优点，可望进行工业规模的生产。 展开更多

关键词 氢气传感器 传感器 氧化铝基陶瓷 气敏器件

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高性能Si基MOS肖特基二极管式氢气传感器研究 被引量：4

15

作者 钟德刚 徐静平 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期106-108,共3页

报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作为绝缘层制备高性能Si基MOS肖特基二极管式气体传感器(SDS)的技术。实验结果显示,MOS肖特基二极管式气体传感器具有高的响应灵敏度和好的响应重复性,可以探测浓度约为10-6的氢气。因此,采用NO直接... 报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作为绝缘层制备高性能Si基MOS肖特基二极管式气体传感器(SDS)的技术。实验结果显示,MOS肖特基二极管式气体传感器具有高的响应灵敏度和好的响应重复性,可以探测浓度约为10-6的氢气。因此,采用NO直接氧化法制备绝缘层是一种制备高可靠、高灵敏度Si基MOSSDS的技术。 展开更多

关键词 肖特基二极管 氢气传感器 氧化氮 氮化氧化物

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多层Au-Pd核壳纳米颗粒膜增敏的光纤氢气传感器 被引量：4

16

作者 穆青青 刘晓波 刘伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1681-1687,共7页

高灵敏度、快速响应的光纤氢气传感技术是未来氢气传感技术的发展方向,对保障氢能系统安全具有重要意义。针对纳米尺度的钯基氢敏材料难以与光器件耦合的问题,本文采用水相合成及离心沉积方法制备具有快速氢气响应特性的Au-Pd核壳纳米... 高灵敏度、快速响应的光纤氢气传感技术是未来氢气传感技术的发展方向,对保障氢能系统安全具有重要意义。针对纳米尺度的钯基氢敏材料难以与光器件耦合的问题,本文采用水相合成及离心沉积方法制备具有快速氢气响应特性的Au-Pd核壳纳米颗粒膜,搭建了含有Au-Pd核壳纳米颗粒氢敏膜阵列的透射式传感系统,实现了光信号与多层纳米颗粒膜阵列的耦合,通过提高敏感材料对光信号的调制能力增强了传感器的灵敏度。实验研究表明,本文制备的Au-Pd核壳纳米颗粒膜粒径为48 nm,Pd层厚度约为4 nm。该敏感薄膜对4%浓度氢气的响应时间小于3 s,且在循环测试中显示了良好的重复性和稳定性。通过3片薄膜阵列传感,在不影响传感器响应速度的同时将传感器灵敏度提升至最高,为单片膜的2.7倍。该研究为开发高性能光纤氢气传感器提供了重要指导。 展开更多

关键词 氢气传感 光纤氢气传感器 Au-Pd纳米颗粒 多层膜增敏

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石墨烯及MXenes在氢气传感器中的应用研究进展 被引量：3

17

作者 王磊 于新海 +2 位作者 袁帅帅 姚馨淇 李传东 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第21期90-100,共11页

随着石油、煤炭和天然气等化石能源的枯竭,氢能在工业生产和交通运输等方面展现了愈加关键的作用。氢能产业对储氢装置在生产、储运、加注和使用全链条过程中提出了“耐高压、高密封及燃爆安全”等性能的全面要求,高灵敏、快速响应、高... 随着石油、煤炭和天然气等化石能源的枯竭,氢能在工业生产和交通运输等方面展现了愈加关键的作用。氢能产业对储氢装置在生产、储运、加注和使用全链条过程中提出了“耐高压、高密封及燃爆安全”等性能的全面要求,高灵敏、快速响应、高选择性和高稳定性的氢气传感器是保障氢能系统安全的重要检测装备。高性能氢气传感器成功制备与应用的关键是研发新型的氢敏材料。石墨烯和MXenes是极具代表性的二维平面纳米材料,不仅具有超高的电学和力学性能,而且易于进行功能化修饰且不影响其固有性能,因此在氢气传感领域具有极大的应用潜力。本文综述了石墨烯和MXenes的基本结构、类型和合成方法,总结了其在氢气传感器中的应用研究进展,指出了存在的问题并提出了解决方案,还对氢气传感器未来的研究方向进行了展望。 展开更多

关键词 氢气传感器 石墨烯 MXenes 功能化材料

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一种新型宽氧阈低功耗氢气传感器系统的研制 被引量：1

18

作者 杨芳 刘琦 +1 位作者 王新锋 官德斌 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期618-622,共5页

设计开发了一种基于MEMS技术的多通道氢气传感器系统,利用LabVIEW虚拟仪器平台对传感变送信号进行采集、存储、处理和数据分析。敏感材料分别选用n型半导体和p型半导体共6种掺杂金属氧化物,传感器件采用平面光刻及硅微加工工艺,集成了... 设计开发了一种基于MEMS技术的多通道氢气传感器系统,利用LabVIEW虚拟仪器平台对传感变送信号进行采集、存储、处理和数据分析。敏感材料分别选用n型半导体和p型半导体共6种掺杂金属氧化物,传感器件采用平面光刻及硅微加工工艺,集成了加热、测温及敏感等功能,功耗小于20 m W;传感器系统可实现0~1%范围内氢气的检测,且适用于常量氧及低氧条件下的氢气检测,有望在航空航天、国防领域及公共安全等方面得到广泛应用。 展开更多

关键词 宽氧阈 低功耗 氢气传感器 MEMS技术 LabVIEW

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基于声表面波的氢气传感器 被引量：2

19

作者 王文 梅盛超 +3 位作者 薛蓄峰 梁勇 潘勇 雷刚 《应用声学》 CSCD 北大核心 2018年第5期758-764,共7页

将钯基材料对氢气分子的特异选择性吸附能力与声表面波的快速响应特点相结合,可实现一种快速、高灵敏和低功耗的氢气检测与报警技术。传感器由双通道差分式振荡器与沉积在传感器件表面的声表面波传播路径上的钯基气敏薄膜组成。为提升... 将钯基材料对氢气分子的特异选择性吸附能力与声表面波的快速响应特点相结合,可实现一种快速、高灵敏和低功耗的氢气检测与报警技术。传感器由双通道差分式振荡器与沉积在传感器件表面的声表面波传播路径上的钯基气敏薄膜组成。为提升传感器响应速度,该文探讨了采用钯镍合金薄膜与钯铜纳米线作为气敏材料的氢气传感器响应特性,通过对气敏材料制备方法及参数的优化,研制了两种沉积不同钯基气敏材料的氢气传感器件,并对其性能进行了评测。实验测试结果表明:钯铜纳米线气敏材料由于具有大体积表面积比和多孔结构,大幅提高了SAW氢气传感器响应速度,针对浓度为10%、4%以及0.5%的氢气响应时间可达~2s。 展开更多

关键词 声表面波 氢气传感器 钯镍合金薄膜 钯铜纳米线 差分振荡器

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氢气传感器研究型实验教学设计 被引量：1

20

作者 耿志挺 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2023年第9期211-214,共4页

依托科研项目及清华大学实验室创新基金,开展了关于钯-银合金氢气传感器的制备及性能研究的实验教学。围绕钯-银合金薄膜的制备、微结构、表面形貌和电学性能表征,介绍了半导体薄膜研究型实验教学的内容和实施方法,激发了学生的科学研... 依托科研项目及清华大学实验室创新基金,开展了关于钯-银合金氢气传感器的制备及性能研究的实验教学。围绕钯-银合金薄膜的制备、微结构、表面形貌和电学性能表征,介绍了半导体薄膜研究型实验教学的内容和实施方法,激发了学生的科学研究兴趣,探讨了研究型实验教学对培养学生创新思维和科研能力所起的作用。 展开更多

关键词 氢气传感器 钯-银合金 半导体薄膜 研究型实验

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