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Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能
被引量：
2
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作者
张洪亮
吴卫东
+6 位作者
何智兵
刘兴华
李俊
曹林洪
巨新
唐永建
谢二庆
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期621-624,共4页
以H2、反式-2-丁烯(T2B)和二茂铁混合气体为工作气体,用金属有机等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了Fe掺杂氢化非晶碳(a-C:H:Fe)薄膜。使用X射线光电子能谱(XPS)对a-C:H:Fe薄膜成分进行了分析。使用台阶仪、场发射扫描电镜(FESEM...
以H2、反式-2-丁烯(T2B)和二茂铁混合气体为工作气体,用金属有机等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了Fe掺杂氢化非晶碳(a-C:H:Fe)薄膜。使用X射线光电子能谱(XPS)对a-C:H:Fe薄膜成分进行了分析。使用台阶仪、场发射扫描电镜(FESEM)、热重分析和紫外可见分光光度计(UV-VIS),对比分析了a-C:H薄膜和a-C:H:Fe薄膜的沉积速率、表面形貌、热稳定性和光学带隙变化。研究表明:相同制备条件下,相比a-C:H薄膜,a-C:H:Fe薄膜的沉积速率高,表面颗粒小,容易碳化,光学带隙变窄。
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关键词
ICF靶
氢化非晶碳薄膜
等离子体增强
化
学气相沉积
FE掺杂
热重分析
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职称材料
题名
Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能
被引量：
2
1
作者
张洪亮
吴卫东
何智兵
刘兴华
李俊
曹林洪
巨新
唐永建
谢二庆
机构
兰州大学物理学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
南京大学物理学院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期621-624,共4页
基金
国家高技术发展计划项目
文摘
以H2、反式-2-丁烯(T2B)和二茂铁混合气体为工作气体,用金属有机等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了Fe掺杂氢化非晶碳(a-C:H:Fe)薄膜。使用X射线光电子能谱(XPS)对a-C:H:Fe薄膜成分进行了分析。使用台阶仪、场发射扫描电镜(FESEM)、热重分析和紫外可见分光光度计(UV-VIS),对比分析了a-C:H薄膜和a-C:H:Fe薄膜的沉积速率、表面形貌、热稳定性和光学带隙变化。研究表明:相同制备条件下,相比a-C:H薄膜,a-C:H:Fe薄膜的沉积速率高,表面颗粒小,容易碳化,光学带隙变窄。
关键词
ICF靶
氢化非晶碳薄膜
等离子体增强
化
学气相沉积
FE掺杂
热重分析
Keywords
ICF target
Hydrogenated amorphous carbon films
PECVD
Fe-doped
Thermal gravity analysis
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能
张洪亮
吴卫东
何智兵
刘兴华
李俊
曹林洪
巨新
唐永建
谢二庆
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
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职称材料
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