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题名晶圆键合用气液增压设备控制系统设计与试验
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作者
安高成
张建宇
刘宝玉
陈东良
肖让
郭嘉琪
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机构
太原科技大学机械工程学院
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出处
《机床与液压》
北大核心
2025年第8期85-92,共8页
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文摘
在芯片制造过程中,晶圆键合技术需将晶圆高精度粘合,其连接质量依赖于稳定且精确的压力控制。为了保证压力稳定且绿色环保,一般采用气液增压设备来实现这一过程。然而,气体刚度较低且密封件摩擦力不稳定,会干扰输出力的稳定性。针对晶圆键合所需的宽范围和高精度输出力,研制一款全新的气液增压设备。为了实现高输出力控制精度,搭建气液增压设备的数学模型,得到控制系统的近似传递函数;设计系统自适应模糊PID控制算法,并通过MATLAB/Simulink仿真对比所提算法和传统PID算法的控制效果,通过样机试验对仿真结果及控制算法优化结果进行验证。结果表明:所设计的自适应模糊PID控制器可以有效提高气液增压设备的控制精度,额定工况下其控制误差小于5‰,且具有较好的抗干扰能力。
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关键词
气液增压设备
输出力精度
自适应模糊PID控制
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Keywords
gas-liquid pressurization equipment
output force accuracy
adaptive fuzzy PID control
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分类号
TP18
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
TH137.51
[机械工程—机械制造及自动化]
TH138.51
[机械工程—机械制造及自动化]
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