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一种仿生感觉毛气流传感器 被引量:1
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作者 边义祥 张弋 +2 位作者 何灿 孙凯旋 刘榕榕 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第11期1647-1652,共6页
模仿昆虫感觉毛的结构,设计制备了表面对称电极含金属芯PVDF气流传感器SMPF(Symmetric Metal core PVDF Fiber)。利用自制的拉制纤维设备,制备了SMPF胚体。在表面涂镀对称电极后,经过高温极化、电极封装等工艺后,成功制备了SMPF气流传... 模仿昆虫感觉毛的结构,设计制备了表面对称电极含金属芯PVDF气流传感器SMPF(Symmetric Metal core PVDF Fiber)。利用自制的拉制纤维设备,制备了SMPF胚体。在表面涂镀对称电极后,经过高温极化、电极封装等工艺后,成功制备了SMPF气流传感器。基于第1类压电方程和流体力学理论,建立了悬臂梁结构的SMPF气流传感模型,分析了传感器输出信号与纤维长度、气流速度以及气流作用方向之间的关系。将悬臂梁结构的SMPF安置在气流流场中,进行冲击气流测试实验。实验结果表明,SMPF气流传感器的输出信号与纤维长度成非线性关系,与气流速度成平方关系,与气流作用方向成"8"字形关系。实验结果验证了理论模型,表明SMPF传感器能够感知气流的速度和作用方向,具有较广泛的工程应用前景。 展开更多
关键词 气流传感器 仿生传感器 压电方程 PVDF纤维 表面对称电极
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利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究 被引量:3
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作者 温殿忠 方华军 《传感技术学报》 CAS CSCD 1998年第4期51-55,共5页
本文在介绍采用硅微电子机械加工系统制造硅微型气流传感器的结构和工作原理的基础上。
关键词 硅微机械加工 气流传感器 多晶硅电阻 特性分析
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基于EIT技术的气流传感器及其实验研究 被引量:1
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作者 蒋明霞 李伟华 +1 位作者 张良 葛宇昊 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1117-1121,共5页
提出了一种新型的、基于电阻抗断层成像技术进行气流传感的微机电(MEMS)传感器结构,其基本构造为覆盖在加热器件之上的半导体硅薄膜以及位于硅薄膜四周的16个金属电极.首先,在金属电极对中注入电流,并根据相邻测试规则测量其他电极对间... 提出了一种新型的、基于电阻抗断层成像技术进行气流传感的微机电(MEMS)传感器结构,其基本构造为覆盖在加热器件之上的半导体硅薄膜以及位于硅薄膜四周的16个金属电极.首先,在金属电极对中注入电流,并根据相邻测试规则测量其他电极对间的电压;然后,改变电流注入位置并测量电压,得到208个电压值;最后,利用成像软件将电流和电压参量转换为电阻率分布图像.气流流动所导致的热场分布变化将引起薄膜电阻率的分布发生变化.气流传感实验结果表明,气流方向、速度的变化能够采用图像的方式清晰、直观地进行描述.研究结果为MEMS传感器设计提供了新的方案与技术. 展开更多
关键词 电阻抗断层成像 微机电气流传感器 电阻率分布图像
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脊形波导气流传感器制作
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作者 王跃林 金仲和 +1 位作者 丁纯 徐义刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期371-371,共1页
脊形波导气流传感器制作王跃林,金仲和,丁纯,徐义刚(浙江大学信电系)光纤作为传感元件已为人们广泛接受并得到相当的重视,脊形光波导与光纤一样是一种光波导,当然也能用作传感元件。本文用微机械技术解决了脊形波导与机械结构间... 脊形波导气流传感器制作王跃林,金仲和,丁纯,徐义刚(浙江大学信电系)光纤作为传感元件已为人们广泛接受并得到相当的重视,脊形光波导与光纤一样是一种光波导,当然也能用作传感元件。本文用微机械技术解决了脊形波导与机械结构间的工艺兼容性问题,制作了一种用波导... 展开更多
关键词 脊形波导 气流传感器 光波导 固定臂 干法刻蚀 国家自然科学基金 叶片 半导体激光器 传感元件 光敏器件
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有关气流传感器的几个技术问题
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作者 马玉华 马双玉 任威荣 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第2期47-49,共3页
测定气流参量的气流传感器已成为现代传感器技术中的一个重要课题,但在实用中,还需解决一些技术问题。
关键词 气流传感器 热反馈法 传感器
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单屏式多点气流温度传感器现场校准工况参数影响分析 被引量:4
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作者 王玉芳 董素艳 +1 位作者 赵俭 刘重阳 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第2期222-227,共6页
采用数值仿真的手段对燃烧室试验环境下单屏式多点气流温度传感器进行仿真计算,改变温场、流场环境,分析研究了来流总温、来流总压以及马赫数等工况参数对单屏式多点气流温度传感器的测量结果的影响规律,并用试验进行验证。数值模拟结... 采用数值仿真的手段对燃烧室试验环境下单屏式多点气流温度传感器进行仿真计算,改变温场、流场环境,分析研究了来流总温、来流总压以及马赫数等工况参数对单屏式多点气流温度传感器的测量结果的影响规律,并用试验进行验证。数值模拟结果表明:在燃烧室试验环境下,单屏式多点气流温度传感器的测温偏差随着来流总温的增大而增大,每增加1000 K,测温偏差增大约2 K;随着来流总压的增大而减小,每增加100 kPa,测温偏差减小1 K左右;随着来流马赫数的增大而减小,马赫数每增加0.1,测温偏差减小0.7 K。以上结论可为燃烧室试验中气流温度参数的现场校准提供参考依据。 展开更多
关键词 计量学 气流温度传感器 数值模拟 现场校准 测温偏差
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气流式水平姿态传感器热敏丝结构的研究 被引量:1
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作者 杨其锐 朴林华 +2 位作者 赵京京 秦艺 谭家成 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第5期1-3,共3页
文中对比研究了气流式水平姿态传感器二丝和三丝两种热敏感丝结构。利用FLUENT-CFD软件,通过建立模型、划分网格、求解等途径,分别计算了二丝结构和三丝结构的气流式水平姿态传感器在不同倾角和不同热源温度下的敏感元件内的流场。计算... 文中对比研究了气流式水平姿态传感器二丝和三丝两种热敏感丝结构。利用FLUENT-CFD软件,通过建立模型、划分网格、求解等途径,分别计算了二丝结构和三丝结构的气流式水平姿态传感器在不同倾角和不同热源温度下的敏感元件内的流场。计算结果表明,三丝结构传感器对倾角变化的速度灵敏度Δv/Δθ为0.383 1×10^-3m/(s·°),二丝结构的为0.248 7×10^-3m/(s·°);三丝结构传感器的倾角测量范围为0-30°,二丝结构的为0-20°;三丝结构传感器敏感元件内部的速度差变化量随热源温度变化的变化率为0.89×10^-5m/(s·℃),二丝结构的为7.5×10^-5m/(s·℃),三丝结构气流式水平姿态传感器在敏感倾角和温度方面的性能优于二丝结构。 展开更多
关键词 气流式水平姿态传感器 灵敏度 倾角 热源温度
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用于装甲车辆动力舱试验台的传感器设计
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作者 刘西侠 毕小平 赵以贤 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第7期19-21,共3页
阐述了装甲车辆动力舱试验台用旋转式空气流速传感器、转速传感器和数据采集卡的工作原理,介绍了试验方法,对试验数据进行了初步分析。实际应用证实所设计的传感器和数据采集系统使用方便且可靠性高。
关键词 装甲车辆 动力舱 试验台 气流传感器 转速传感器 数据采集卡
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基于光纤阵列的气流传感方法研究 被引量:2
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作者 赵利明 李红 +2 位作者 宋言明 董明利 祝连庆 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期599-604,共6页
提出了一种基于光纤光栅阵列的光纤气流传感器。单模光纤光栅的栅区长度为10 mm,将三根光纤光栅均匀环绕布设于硅胶基体。传感器外界环境温度以及气流流速的改变都会引起传感器反射谱的变化。通过监测反射谱可以实现对外界物理量的测量... 提出了一种基于光纤光栅阵列的光纤气流传感器。单模光纤光栅的栅区长度为10 mm,将三根光纤光栅均匀环绕布设于硅胶基体。传感器外界环境温度以及气流流速的改变都会引起传感器反射谱的变化。通过监测反射谱可以实现对外界物理量的测量。实验分析可知,硅胶基体与光纤光栅有着很好的耦合效果,通过改变硅胶基体的长度使得传感器的传感特性得到有效改善。实验研究结果表明,在正常室温情况下,传感器的中心波长漂移量与流速成二次函数关系且传感器具有方向传感特性。本文提出的光纤阵列气流传感器结构紧凑、制作工艺简单、可靠性高。 展开更多
关键词 光纤光栅 气流传感器 应变 流速 角度
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