离子束溅射生成气敏膜的研究 被引量：1

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作者 胡兴定 陈俊 +1 位作者 张通和 张文朴 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1995年第6期16-19,32,共5页

本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究.与烧结陶瓷气敏传感器比较,溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高,长期稳定,对其它气体选择性好,而且响应恢复时间快.采用X光衍射等手段分析离子束溅射膜的品质,表明材料组织结构相同,与基片附着性... 本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究.与烧结陶瓷气敏传感器比较,溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高,长期稳定,对其它气体选择性好,而且响应恢复时间快.采用X光衍射等手段分析离子束溅射膜的品质,表明材料组织结构相同,与基片附着性好,组织致密. 展开更多

关键词 气体传感器 薄膜 离子束溅射 气敏膜

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基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究 被引量：1

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作者 王聪 史铁林 李晓平 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第5期10-12,共3页

ZnO2,SnO2,Fe2O3等基底材料可以用来制作半导体型乙醇气体传感器中的气敏膜。在基底中掺杂Pt,TiO2等物质可以获得很高的气体检测灵敏度和很好的选择性。利用电子枪蒸发薄膜工艺来制作乙醇气体敏感膜,可以取得很好的效果。与通常使用的... ZnO2,SnO2,Fe2O3等基底材料可以用来制作半导体型乙醇气体传感器中的气敏膜。在基底中掺杂Pt,TiO2等物质可以获得很高的气体检测灵敏度和很好的选择性。利用电子枪蒸发薄膜工艺来制作乙醇气体敏感膜,可以取得很好的效果。与通常使用的厚膜工艺相比,薄膜工艺与MEMS工艺兼容,更适合制作微小器件。 展开更多

关键词 乙醇 气敏膜 电子枪

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气敏膜光学传感特性研究 被引量：1

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作者 周佐平 张季熊 范仕良 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第2期7-10,27,共5页

本文根据光传输理论导出介质消光系数、折射率与介质电磁参数、光波频率、电偶极子浓度和迁移率等的关系。并分析光激发与增加气敏介质的氧吸附的规律，结合实验说明气敏薄膜的光学变化机制，为今后的研究和应用发展打下基础。

关键词 气敏 消光系数 光电方法 气敏膜

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PECVD法制备的SnO_x气敏膜的色变机理

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作者 张勇 周坤 +1 位作者 曹伟民 文晓刚 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期375-377,共3页

采用ＰＥＣＶＤ法制备了非晶掺Ｓｎ有机膜，经过退火处理得到ＳｎＯｘ气敏膜，考察了退火过程和气敏响应过程的阻温特性和颜色变化的关系，研究了表面掺Ａｇ对ＳｎＯｘ元件电阻、气敏性能以及颜色的影响，发现测量时膜表观色泽发生显著... 采用ＰＥＣＶＤ法制备了非晶掺Ｓｎ有机膜，经过退火处理得到ＳｎＯｘ气敏膜，考察了退火过程和气敏响应过程的阻温特性和颜色变化的关系，研究了表面掺Ａｇ对ＳｎＯｘ元件电阻、气敏性能以及颜色的影响，发现测量时膜表观色泽发生显著变化，并且颜色变化的深度与灵敏度大小相一致，颜色变化的快慢与响应时间的长短相一致，据此可望开发出色变气敏传感器。 展开更多

关键词 气敏膜 PECVD 半导体阻温特性 色变机理 氧化锡

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超微粒子气敏膜的制备

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作者 孙承松 李云鹏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1989年第6期6-8,共3页

文中介绍用高频溅射方法制备了超微粒子气体敏感膜,研究了工艺参数对气敏膜的质量、性能的影响,并对气敏膜进行了测试,给出了试验曲线。

关键词 微粒子 气敏膜 气体泄漏 检测 报警

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半导体超微粒子气敏膜的研究

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作者 卢豫曾 蒋保运 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第4期404-409,共6页

用气相法成功地研制出了 SnO_2超微粒子气敏膜。研究了0.03乇到0.1乇范围内不同氧分压下制得的超微粒子薄膜的酒敏特性和湿敏特性与成膜工艺、工作温度等关系。

关键词 半导体 超微粒子 气敏膜 SNO2

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超微粒子气敏膜及其应用

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作者 江跃宗 《仪表材料》 EI CAS CSCD 1989年第6期359-364,共6页

文章综合了国内外近年来有关超微粒子气敏膜元件的大量资料,论述了 SnO_2超微粒子气敏膜的基本制造方法:射频溅射法(RFS)、真空蒸发法(VE)、等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),同时讨论了制备时的工艺参数对超微粒子膜的结构、电特性... 文章综合了国内外近年来有关超微粒子气敏膜元件的大量资料,论述了 SnO_2超微粒子气敏膜的基本制造方法:射频溅射法(RFS)、真空蒸发法(VE)、等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),同时讨论了制备时的工艺参数对超微粒子膜的结构、电特性和敏感特性的影响。文章还示出了近年来国内外研究得比较多的集成化超微粒子气体传感器的基本构造及应用,最后提出了超微粒子气敏膜的研究发展方向。 展开更多

关键词 超微粒子 气敏膜 传感器

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2种不同工艺制备的“气敏－光学”敏感膜 被引量：6

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作者 姚纲照 翁文华 周佐平 《郑州轻工业学院学报（自然科学版）》 CAS 1994年第S1期220-220,共1页

２种不同工艺制备的“气敏－光学”敏感膜姚纲照，翁文华，周佐平（华南理工大学应用物理系广州５１０６４１）关键词薄膜；氧化锡；气敏膜；光学膜中图分类号ＴＰ２１２．２近年来，发现了ＳｎＯ２半导体薄膜的“气敏－光学”特性，即... ２种不同工艺制备的“气敏－光学”敏感膜姚纲照，翁文华，周佐平（华南理工大学应用物理系广州５１０６４１）关键词薄膜；氧化锡；气敏膜；光学膜中图分类号ＴＰ２１２．２近年来，发现了ＳｎＯ２半导体薄膜的“气敏－光学”特性，即薄膜的光透过率随其周围的气体种类及... 展开更多

关键词 薄膜 氧化锡 气敏膜 光学膜

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膜厚影响SnO_2厚膜型气敏元件敏感特性的研究 被引量：1

9

作者 傅军 董名友 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期1255-1258,共4页

采用丝网印刷技术制备不同膜厚ＳｎＯ２厚膜气敏试样，在不同温度下进行热处理后测定了试样的阻温曲线和对乙醇气体的灵敏度，结果表明制备不同膜厚试样的气体灵敏度不同，阻温曲线也不同．要制备灵敏度高、一致性好的气敏器件，调整控... 采用丝网印刷技术制备不同膜厚ＳｎＯ２厚膜气敏试样，在不同温度下进行热处理后测定了试样的阻温曲线和对乙醇气体的灵敏度，结果表明制备不同膜厚试样的气体灵敏度不同，阻温曲线也不同．要制备灵敏度高、一致性好的气敏器件，调整控制膜厚和及其热处理温度至关重要． 展开更多

关键词 SnO2气敏元件 膜厚 热处理 气敏特征 二氧化锡 厚膜型气敏元件 气敏材料

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SO_2气敏电极测定烟道及大气中 SO_2的含量

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作者 杜宝中 杨希庆 《西北轻工业学院学报》 1991年第1期82-85,108,共5页

本文应用电位分析法测定了烟道气和大气中的 SO_2,通过实验成功地探索出了一种新的无毒吸收液,从而避免了二次污染;详细讨论了各种误差来源和测试条件。该法简便、快速,在环境监测中具有推广应用价值,SO_2回收率达92.0%～98.1%。

关键词 气敏膜电极 SO2 测定 大气监测

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超细MgFe_2O_4复合氧化物的气敏性能研究 被引量：5

11

作者 杨留方 李星 +1 位作者 赵鹤云 吴兴惠 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第11期15-17,共3页

以FeSO4·7H2O和MgCl2·6H2O为材料,用新型化学共沉淀法制备了纳米尺寸的复合金属氧化物MgFe2O4粉体。将样品做成厚膜型气敏元件,测定了其对乙醇、甲醛、丙酮、甲苯、苯氨气、石油醚等还原(可燃)性气体的气敏特性。测试显示:70... 以FeSO4·7H2O和MgCl2·6H2O为材料,用新型化学共沉淀法制备了纳米尺寸的复合金属氧化物MgFe2O4粉体。将样品做成厚膜型气敏元件,测定了其对乙醇、甲醛、丙酮、甲苯、苯氨气、石油醚等还原(可燃)性气体的气敏特性。测试显示:700℃下,热处理1h,所得纳米微粉制作的元件在300℃工作温度下对丙酮有较高灵敏度和良好的选择性,并对气敏机理给予了解释。 展开更多

关键词 超细 丙酮 复合金属氧化物 新型 粉体 MGCL2 石油醚 复合氧化物 厚膜型气敏元件 气敏性能

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注Sb/Bi氧化锡薄膜化学结构

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作者 朱永法 曹立礼 R.G.Egdell 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第5期345-349,共5页

运用俄歇化学效应和XPS研究了高能离子注入的Sb／Bi元素在氧化锡气敏膜中的存在形式。结果表明氧化锡薄膜在注入Sb后，Sb和SnOx物相产生相互作用形成了SbySnOx物种，该物种提高了气敏薄膜的导电性能。氧化锡薄膜高能离子注入Bi后，Bi并... 运用俄歇化学效应和XPS研究了高能离子注入的Sb／Bi元素在氧化锡气敏膜中的存在形式。结果表明氧化锡薄膜在注入Sb后，Sb和SnOx物相产生相互作用形成了SbySnOx物种，该物种提高了气敏薄膜的导电性能。氧化锡薄膜高能离子注入Bi后，Bi并没有和SnOx相发生作用，而仍以金属Bi和Bi2O3两种物相存在。金属Bi的存在可以提高薄膜的导电性能以及提高对CO的气敏选择特性。 展开更多

关键词 注入 俄歇化学效应 导电性能 气敏膜

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