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题名半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析
被引量：8
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作者
职远
张丁超
刘俊杰
夏群艳
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机构
天津大学
天津大学环境科学与工程学院
深圳市华净科技有限公司
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出处
《暖通空调》
2021年第3期46-50,共5页
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基金
国家重点研发计划项目“洁净空调厂房的节能设计与关键技术设备研究”(编号:2018YFC0705203)。
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文摘
以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空态运行的全过程测试,分析了安装化学过滤器前后、洁净室运行前室内气态化学污染状况的变化情况及环境控制效果。并对比了室外空气环境及运行前后污染物种类的不同,确定了洁净室不同气态化学污染物的污染源信息。测试发现,新风机组的化学过滤器实际去除效率仅仅达到50%,无法满足规范中70%的要求。而微电子洁净室的酸性污染物主要来自于室外空气,氨气浓度较高,来源于室外空气和水泥等建筑材料;凝结物的污染源主要是室内源,来自室内的装修材料、清洗剂及生产工艺材料。
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关键词
洁净室
在线监测
污染源分析
气态化学污染物
化学过滤器
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Keywords
clean-room
online monitoring
pollutant source analysis
gaseous chemical contaminant
chemical filter
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分类号
X51
[环境科学与工程—环境工程]
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题名电子洁净室气态化学污染环境控制规范分析
被引量：11
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作者
职远
刘俊杰
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机构
天津大学
天津大学环境科学与工程学院
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出处
《暖通空调》
2020年第5期49-55,共7页
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基金
国家重点研发计划项目“洁净空调厂房的节能设计与关键技术设备研究”(编号:2018YFC0705203)。
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文摘
针对气态化学污染控制,回顾了电子洁净室环境控制规范的发展历史和主要内容。从污染物分类、洁净等级划分等方面对比了不同国家及不同组织规范的异同,对现行规范进行了对比总结,分析了电子洁净室环境控制规范的特点、发展趋势及存在的不足。对比了电子洁净室环境控制规范与住宅空气质量规范及大气环境规范,总结了洁净室环境控制的特殊性,并对中国洁净室环境控制规范的修订提出了建议。
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关键词
电子洁净室
环境控制
规范
气态分子化学污染物
洁净等级划分
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Keywords
electronic cleanroom
environmental control
standard
airborne molecular chemical contaminant
clean grade classification
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分类号
X51
[环境科学与工程—环境工程]
TU834.844
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名全棉弹力面料化学品足迹核算与评价
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作者
郭朝霞
郭宜琪
张颖
王来力
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机构
浙江理工大学服装学院
浙江理工大学浙江省数智风格与创意设计研究中心
浙江理工大学浙江省服装工程技术研究中心
浙江理工大学浙江省丝绸与时尚文化研究中心
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出处
《染整技术》
CAS
2024年第2期22-25,共4页
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基金
浙江省现代纺织技术创新中心软科学项目(ZX2022002R)。
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文摘
为了研究纺织面料染整加工过程中化学品使用与排放产生的环境负荷,基于化学品足迹理论,运用USEtox模型对全棉弹力面料染整过程的化学品足迹进行量化与评价示范,结果表明:1 kg全棉弹力面料染整加工过程中产生的化学品污染物生态毒性为1.66×10^(4) PAF·m^(3)·day;前处理阶段的化学品足迹最大,为1.56×10^(4) PAF·m^(3)·day,其次为染色阶段和后整理阶段;液态化学品污染物中,氢氧化钠使用造成的化学品足迹最大,其次是硅酸钠和过氧化氢;气态化学品污染物中,SO2造成的化学品足迹最大,其次是NO和NO2。
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关键词
化学品足迹
核算
液态化学品污染物
气态化学品污染物
生态毒性
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Keywords
chemical footprint
calculation
liquid chemical pollutants
gaseous chemical pollutants
ecotoxicity
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分类号
TS190.6
[轻工技术与工程—纺织化学与染整工程]
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题名空调用化学过滤器概述
被引量：4
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作者
田世爱
李启东
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机构
烟台宝源净化有限公司
复旦大学环境科学与工程系
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出处
《洁净与空调技术》
2003年第4期30-34,共5页
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文摘
本文介绍应用于系统的化学过滤器,包括化学过滤一般知识,控制室内环境化学污染的相关指标,现场检测方法和典型过滤器产品。
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关键词
化学过滤器
空调
气态化学污染物
化学污染
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Keywords
Chemical filter Air-conditioning Gaseous chemical comtaminant
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分类号
TU831
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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