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气动膜片式微滴喷射装置理论分析与实验研究
被引量：
10
1
作者
谢丹
张鸿海
+1 位作者
舒霞云
曹澍
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第14期1732-1737,共6页
微滴喷射是通过产生微米级的液滴实现流体按需精确喷射沉积成形的技术。气动膜片式微滴按需喷射装置的原理是以膜片为驱动部件,以压缩气体脉冲为驱动源,通过膜片的弹性变形实现液体腔的体积变化从而产生微液滴。通过建立驱动气压与液体...
微滴喷射是通过产生微米级的液滴实现流体按需精确喷射沉积成形的技术。气动膜片式微滴按需喷射装置的原理是以膜片为驱动部件,以压缩气体脉冲为驱动源,通过膜片的弹性变形实现液体腔的体积变化从而产生微液滴。通过建立驱动气压与液体腔内工作压力的关系,分析腔体内液体的流动状态,从而建立气动膜片式喷射系统的数学模型,以此作为优化装置结构和控制参数的依据。此外,利用该装置完成了黏性液体的可控喷射。研究结果为喷射制造的实际应用提供了理论与实验依据。
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关键词
气动膜片式
微液滴
按需喷射
卫星滴
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职称材料
气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法
被引量：
5
2
作者
张鸿海
孙博
+2 位作者
舒霞云
曹澍
朱天柱
《机械设计与制造》
北大核心
2012年第8期179-181,共3页
为满足面积阵列封装对所需焊球越来越高的要求,提出了利用气动膜片式微滴喷射原理制作焊球的新方法。介绍了该方法的基本原理及所采用的实验装置,使用由自制电火花微孔加工机床加工的直径50μm不锈钢喷嘴,成功实现了直径100μm以下焊球...
为满足面积阵列封装对所需焊球越来越高的要求,提出了利用气动膜片式微滴喷射原理制作焊球的新方法。介绍了该方法的基本原理及所采用的实验装置,使用由自制电火花微孔加工机床加工的直径50μm不锈钢喷嘴,成功实现了直径100μm以下焊球的制作,研究了主要控制参数对焊球直径的影响。结果表明,气动膜片式微滴喷射方法制作的焊球直径精确、表面闪亮、球形完美,填补了国内直径100μm以下超精密微焊球制作技术的空白。
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关键词
面积阵列封装
焊球
喷射
气动膜片式
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职称材料
多材料按需微滴喷射系统设计与实验研究
被引量：
7
3
作者
舒霞云
张鸿海
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2015年第2期257-262,共6页
为满足微电子制造、封装领域中不同性质材料按需精确分配的需求,提出了一种由多微滴喷射单元构成的多材料按需微滴喷射系统。该系统的微滴产生模块由用于低黏度流体材料的气动膜片式微滴喷射单元、用于熔融金属流体的压电活塞式微滴喷...
为满足微电子制造、封装领域中不同性质材料按需精确分配的需求,提出了一种由多微滴喷射单元构成的多材料按需微滴喷射系统。该系统的微滴产生模块由用于低黏度流体材料的气动膜片式微滴喷射单元、用于熔融金属流体的压电活塞式微滴喷射单元和用于高黏度流体的机械阀式微滴喷射单元组成。同时由数字相机、模拟相机+图像采集卡构成的图像采集系统,实现液滴沉积的视觉引导对准定位,以及微滴产生过程的图像采集。利用该系统,进行水基混合物、金属焊料和环氧树脂胶的微滴喷射实验,分析了不同黏度对液体微滴喷射过程的影响,实现了金属焊料的微滴喷射,获得了平均直径为70.5μm的焊球及焊球阵列,其直径偏差小于2%。同时也获得了平均直径为0.6 mm的环氧树脂胶点阵列,其直径偏差小于4%。实验结果表明:该系统可用于包括高黏度环氧树脂胶、金属焊料等在内的多种不同黏度的材料,实现微米级微滴的按需喷射。
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关键词
微滴喷射
按需喷射
气动膜片式
压电活塞式
机械阀式
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职称材料
题名
气动膜片式微滴喷射装置理论分析与实验研究
被引量：
10
1
作者
谢丹
张鸿海
舒霞云
曹澍
机构
厦门理工学院
华中科技大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第14期1732-1737,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51105321
50775087)
+1 种基金
厦门市科技计划项目(3502Z20113036)
厦门理工学院高层次人才项目(YKJ10030R)
文摘
微滴喷射是通过产生微米级的液滴实现流体按需精确喷射沉积成形的技术。气动膜片式微滴按需喷射装置的原理是以膜片为驱动部件,以压缩气体脉冲为驱动源,通过膜片的弹性变形实现液体腔的体积变化从而产生微液滴。通过建立驱动气压与液体腔内工作压力的关系,分析腔体内液体的流动状态,从而建立气动膜片式喷射系统的数学模型,以此作为优化装置结构和控制参数的依据。此外,利用该装置完成了黏性液体的可控喷射。研究结果为喷射制造的实际应用提供了理论与实验依据。
关键词
气动膜片式
微液滴
按需喷射
卫星滴
Keywords
pneumatic diaphragm actuator
micro- droplet inkjet
drop- on-demand
satellite droplet
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法
被引量：
5
2
作者
张鸿海
孙博
舒霞云
曹澍
朱天柱
机构
华中科技大学机械学院
武汉光电国家实验室微光机电系统研究部
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2012年第8期179-181,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(51175204)
文摘
为满足面积阵列封装对所需焊球越来越高的要求,提出了利用气动膜片式微滴喷射原理制作焊球的新方法。介绍了该方法的基本原理及所采用的实验装置,使用由自制电火花微孔加工机床加工的直径50μm不锈钢喷嘴,成功实现了直径100μm以下焊球的制作,研究了主要控制参数对焊球直径的影响。结果表明,气动膜片式微滴喷射方法制作的焊球直径精确、表面闪亮、球形完美,填补了国内直径100μm以下超精密微焊球制作技术的空白。
关键词
面积阵列封装
焊球
喷射
气动膜片式
Keywords
Area Array Package
Solder Ball
Jet
Pneumatic-Diaphragm Droplet Jetting
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
多材料按需微滴喷射系统设计与实验研究
被引量：
7
3
作者
舒霞云
张鸿海
机构
华中科技大学机械科学与工程学院
厦门理工学院机械与汽车工程学院
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2015年第2期257-262,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61108043,51175204)
高等学校博士学科点专项科研基金项目(20120142130011)资助
文摘
为满足微电子制造、封装领域中不同性质材料按需精确分配的需求,提出了一种由多微滴喷射单元构成的多材料按需微滴喷射系统。该系统的微滴产生模块由用于低黏度流体材料的气动膜片式微滴喷射单元、用于熔融金属流体的压电活塞式微滴喷射单元和用于高黏度流体的机械阀式微滴喷射单元组成。同时由数字相机、模拟相机+图像采集卡构成的图像采集系统,实现液滴沉积的视觉引导对准定位,以及微滴产生过程的图像采集。利用该系统,进行水基混合物、金属焊料和环氧树脂胶的微滴喷射实验,分析了不同黏度对液体微滴喷射过程的影响,实现了金属焊料的微滴喷射,获得了平均直径为70.5μm的焊球及焊球阵列,其直径偏差小于2%。同时也获得了平均直径为0.6 mm的环氧树脂胶点阵列,其直径偏差小于4%。实验结果表明:该系统可用于包括高黏度环氧树脂胶、金属焊料等在内的多种不同黏度的材料,实现微米级微滴的按需喷射。
关键词
微滴喷射
按需喷射
气动膜片式
压电活塞式
机械阀式
Keywords
concept design
design of experiments
design
dispensers
droplet-on-demand
drops
experiments
feedback
image acquisition
jets
mechanical valve droplet generating
microelectronics
nozzles
piezoelectric piston droplet generating
piezoelectricity
pneumatic diaphragm droplet generating
viscosity
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气动膜片式微滴喷射装置理论分析与实验研究
谢丹
张鸿海
舒霞云
曹澍
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
10
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职称材料
2
气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法
张鸿海
孙博
舒霞云
曹澍
朱天柱
《机械设计与制造》
北大核心
2012
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
多材料按需微滴喷射系统设计与实验研究
舒霞云
张鸿海
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2015
7
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职称材料
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