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PDMS气动微泵的研制 被引量:3
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作者 关艳霞 凌宇 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2012年第11期151-152,共2页
聚二甲聚硅氧烷(PDMS)气动微泵具有结构简单、易于制作、造价低和易于集成的特点。对微泵的结构进行了分析、设计与制作,较详细地讨论了关键制作工艺,并对影响流速的主要因素进行了分析,通过对结构参数的优化,使微泵的最大流速达到0.55... 聚二甲聚硅氧烷(PDMS)气动微泵具有结构简单、易于制作、造价低和易于集成的特点。对微泵的结构进行了分析、设计与制作,较详细地讨论了关键制作工艺,并对影响流速的主要因素进行了分析,通过对结构参数的优化,使微泵的最大流速达到0.55μL/min,较相关文献中的微泵的流速提高4倍,使微泵更具有实用性。 展开更多
关键词 PDMS 气动微泵 工艺
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一种基于玻璃-PDMS微流控芯片上气动微泵的研制及其在化学发光分析中的应用研究 被引量:3
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作者 张玲 徐光明 +1 位作者 崔群 方群 《浙江大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期648-652,共5页
利用AZ4620光胶制备通道横截面为圆弧形的阳模,采用玻璃与PDMS材料的永久性封合技术,研制了一种玻璃-PDMS复合芯片微流控蠕动型气动微泵,实现单一微泵对多路液流的驱动.实验将该微泵系统应用于K3[Fe(CN)6]的化学发光检测,对4... 利用AZ4620光胶制备通道横截面为圆弧形的阳模,采用玻璃与PDMS材料的永久性封合技术,研制了一种玻璃-PDMS复合芯片微流控蠕动型气动微泵,实现单一微泵对多路液流的驱动.实验将该微泵系统应用于K3[Fe(CN)6]的化学发光检测,对4×10~mol/LK3[Fe(CN)6]测定的重现性为0.9%(RSD,n=7),线性范围6×10^-6~6×10^-5mol/L,线性相关系数R^2=0.9990,检出限为8×10^-7mol/L. 展开更多
关键词 流控芯片 气动微泵 化学发光检测
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聚二甲基硅氧烷气动微型蠕动泵制作工艺的研究 被引量:1
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作者 关艳霞 王宏 徐章润 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期210-211,共2页
聚二甲基硅氧烷(PDMS)气动微型泵由3个PDMS气动微阀构成,依靠3个微阀的蠕动作用实现输运液体的作用。PDMS气动微泵的关键制作工艺是液体通道的弧形化和PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接。实验证明AZ4620正性光刻胶所制作的阳模... 聚二甲基硅氧烷(PDMS)气动微型泵由3个PDMS气动微阀构成,依靠3个微阀的蠕动作用实现输运液体的作用。PDMS气动微泵的关键制作工艺是液体通道的弧形化和PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接。实验证明AZ4620正性光刻胶所制作的阳模能形成剖面形状呈弧形的液体通道。采用等离子体氧化处理法封接技术实现了PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接,该工艺易操作,封接速度快,而且封接效果好。 展开更多
关键词 聚二甲基硅氧烷 气动微泵 工艺
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