期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟
1
作者 吴峻苗 邹德恕 +1 位作者 徐晨 沈光地 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期416-417,419,共3页
提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成。通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工... 提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成。通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工作机制的物理模型,并通过有限元模型和流体-热-结构耦合模拟获得了微型腔体内气体介质的温度、速度场分布以及弹性薄膜的形变。 展开更多
关键词 微机械 气动式红外探测器 流体-热-结构耦合
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部