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小孔节流气体静压导轨静态特性优化设计被引量：3: 1; 作者张新疆龚维纬 +2 位作者崔海龙夏欢郑越青《机床与液压》北大核心 2021年第22期18-23,共6页; 为解决气体静压导轨工作刚度不足问题,提出一种双边气膜刚度最优设计方法。根据气体润滑理论及简化假设推导了气膜压力分布的雷诺方程,基于有限差分法离散了气膜流场求解域和边界条件,在MATLAB中编制了压力分布的求解程序,积分得到气膜... 展开更多; 关键词气体静压导轨雷诺方程数值仿真静态特性刚度; 在线阅读下载PDF 职称材料

气体静压导轨气膜厚度的电容式测试方法被引量：2: 2; 作者张雯李东升 +1 位作者禹静尹健龙《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第7期67-69,83,共4页; 气体静压导轨是超精密工程的核心基础技术之一,其气膜振动是影响加工精度的主要因素。提出了一种气体静压导轨气膜厚度的电容式测试方法,将气体静压导轨的节流器工作底面与实验台面当作电容式传感器的2个极板,当气膜厚度发生变化时,电... 展开更多; 关键词气体静压导轨气膜厚度气体静压节流器电容式测试方法; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于流固耦合的气体静压导轨侧向静态特性分析被引量：2: 3; 作者姚建华尹自强 +1 位作者杨义军柴宁《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2023年第5期14-18,共5页; 气体静压导轨的结构变形会造成气膜的压力分布与理论模型存在明显偏差,从而影响了其静态特性。研究建立了气体静压导轨的流固耦合模型,分析了导轨两侧气膜压力分布与结构变形的关系;此外,通过双向流固耦合仿真,得到了在不同位置外力作... 展开更多; 关键词多孔质气体静压导轨双向流固耦合刚度计算流体力学(CFD); 在线阅读下载PDF 职称材料

全气体静压环形抛光机床的研制及应用: 4; 作者张楚鹏孙家政 +2 位作者梅子进农志宇陈肖《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1162-1173,共12页; 针对单轴抛光机面形控制难度大、较多依赖人工经验,无法满足光学元件激增的数量和精度需求的问题,提出研制一种新型超精密环形抛光机床。首先引入抛光盘跳动为变量构建基于Preston公式和赫兹接触理论的材料去除模型;模型仿真分析表明抛... 展开更多; 关键词超精密机床环形抛光气体静压主轴气体静压导轨材料去除模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

音圈电机直驱气浮升降平台的设计及其性能测试: 5; 作者谢靖尹自强 +1 位作者曾俊詹金章《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2024年第11期56-60,67,共6页; 在半导体的精密加工与精密测量中,针对一些光路限制、加工设备固定的情况下,设计了一种音圈电机直驱的气浮升降平台,承载起工件进行精密定位。平台的驱动元件采用两个高精度、高频率、无摩擦的音圈电机进行驱动,平衡元件采用了低摩擦气... 展开更多; 关键词升降平台气体静压导轨多孔质石墨刚度交叉耦合; 在线阅读下载PDF 职称材料

大行程纳米级定位工作台的结构设计被引量：9: 6; 作者陈琦《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1065-1071,共7页; 考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以提高其定位精度。采用摩擦驱动和压电陶瓷微位移机构组合的方式构成宏、微进给机构,由闭式气体静压导轨带... 展开更多; 关键词扫描干涉光刻系统高精度工作台气体静压导轨摩擦驱动纳米级定位; 在线阅读下载PDF 职称材料

气膜介电常数与供气压力的相关性实验研究被引量：1: 7; 作者李敏张玉冰李东升《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2013年第4期114-117,共4页; 基于电容法测量气体静压导轨气膜厚度的原理,进行供气压力与气膜介电常数相关性的研究。实验结果表明,环境条件不变的情况下,供气压力范围在0.1～0.48MPa之间,气膜介电常数与供气压力呈显著负相关并符合4阶多项式关系,拟合决定系数R2均... 展开更多; 关键词气体静压导轨电容法气膜厚度供气压力介电常数; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名小孔节流气体静压导轨静态特性优化设计被引量：3: 1; 作者张新疆龚维纬崔海龙夏欢郑越青; 机构中国工程物理研究院机械制造工艺研究所; 出处《机床与液压》北大核心 2021年第22期18-23,共6页; 基金国家重点研发计划(2020YFB2007600) 中国工程物理研究院院长基金(YZJJLX2018010)。; 文摘为解决气体静压导轨工作刚度不足问题,提出一种双边气膜刚度最优设计方法。根据气体润滑理论及简化假设推导了气膜压力分布的雷诺方程,基于有限差分法离散了气膜流场求解域和边界条件,在MATLAB中编制了压力分布的求解程序,积分得到气膜的承载力,再求导可得气膜刚度。分析导轨间隙、节流孔结构参数和供气压力等对导轨静态特性的影响规律,为静压导轨的设计制造提供参考。; 关键词气体静压导轨雷诺方程数值仿真静态特性刚度; Keywords Aerostatic guideway Reynolds equation Numerical simulation Static characteristics Stiffness; 分类号 TH163 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气体静压导轨气膜厚度的电容式测试方法被引量：2: 2; 作者张雯李东升禹静尹健龙; 机构中国计量学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第7期67-69,83,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(51075378) 浙江省自然科学基金重点资助项目(Z106280); 文摘气体静压导轨是超精密工程的核心基础技术之一,其气膜振动是影响加工精度的主要因素。提出了一种气体静压导轨气膜厚度的电容式测试方法,将气体静压导轨的节流器工作底面与实验台面当作电容式传感器的2个极板,当气膜厚度发生变化时,电容将产生较大变化。通过测量节流器与工作面间的电容,计算得到气膜厚度值。同时建立了不同凹面节流器电容与气膜厚度的数学模型。实验利用电容测量仪与电感测微测头同时对气膜厚度进行测量,结果显示两者误差为0.42μm,为气体静压导轨气膜厚度的测量提供了新的方法。; 关键词气体静压导轨气膜厚度气体静压节流器电容式测试方法; Keywords aerostatic hearing air-film thickness aerostatic reducer capacitive measuring method; 分类号 TH133.35 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于流固耦合的气体静压导轨侧向静态特性分析被引量：2: 3; 作者姚建华尹自强杨义军柴宁; 机构广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室广东工业大学省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2023年第5期14-18,共5页; 基金国家自然科学基金面上项目(51575520)。; 文摘气体静压导轨的结构变形会造成气膜的压力分布与理论模型存在明显偏差,从而影响了其静态特性。研究建立了气体静压导轨的流固耦合模型,分析了导轨两侧气膜压力分布与结构变形的关系;此外,通过双向流固耦合仿真,得到了在不同位置外力作用下气体静压导轨的承载能力和位移的关系,以及导轨变形情况和位移的关系,分析了不同位移下导轨变形与承载力的关系。最终通过实验对流固耦合仿真数据进行了验证,得出流固耦合仿真数据与实验结果较为吻合,在不同位置的外力作用下的气体静压导轨的静态特性相差较大。; 关键词多孔质气体静压导轨双向流固耦合刚度计算流体力学(CFD); Keywords porous aerostatic guideway two-way fluid-solid coupling stiffness CFD; 分类号 TH165 [机械工程—机械制造及自动化] TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名全气体静压环形抛光机床的研制及应用: 4; 作者张楚鹏孙家政梅子进农志宇陈肖; 机构湖北工业大学机械工程学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1162-1173,共12页; 基金国家自然科学基金青年项目资助(No.52003078) 现代制造质量工程湖北省重点实验室开放基金资助(No.KFJJ-2022006)。; 文摘针对单轴抛光机面形控制难度大、较多依赖人工经验,无法满足光学元件激增的数量和精度需求的问题,提出研制一种新型超精密环形抛光机床。首先引入抛光盘跳动为变量构建基于Preston公式和赫兹接触理论的材料去除模型;模型仿真分析表明抛光盘跳动误差变化会导致材料不均匀去除,而主轴跳动误差和导轨直线误差会直接影响抛光盘的面形修正和测量精度。然后基于此结论,利用静态、模态、谐响应分析对机床整体布局和横梁支撑形式进行优化;同时设计气体静压导轨和主轴以提高直线运动精度和主轴回转精度。最后为了验证机床精度和加工指标,采用LK-G5000激光传感器检测导轨和转台的运动误差分别优于1.2μm/400 mm和0.4μm。对φ300 mm的UBK7光学元件进行抛光,8小时后粗糙度和PV值分别优于R_(a)0.56 nm和1/10λ。结果表明:所研制的超精密环形抛光机床达到了设计要求。; 关键词超精密机床环形抛光气体静压主轴气体静压导轨材料去除模型; Keywords ultra-precision machine tool ring polishing aerostatic spindle aerostatic guide material re⁃moval model; 分类号 TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名音圈电机直驱气浮升降平台的设计及其性能测试: 5; 作者谢靖尹自强曾俊詹金章; 机构广东工业大学省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室广东工业大学机电工程学院; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2024年第11期56-60,67,共6页; 基金国家自然科学基金项目(51575520) 2022年揭阳市科技创新发展专项(重大专项)项目(DZX098)。; 文摘在半导体的精密加工与精密测量中,针对一些光路限制、加工设备固定的情况下,设计了一种音圈电机直驱的气浮升降平台,承载起工件进行精密定位。平台的驱动元件采用两个高精度、高频率、无摩擦的音圈电机进行驱动,平衡元件采用了低摩擦气浮气缸进行平衡运动部件的重力,导向元件采用了多孔式节流的环绕式气体静压导轨进行导向,同时反馈元件采用高精度光栅尺作为实时反馈装置。对气体静压导轨进行了气体理论分析,用Ansys仿真软件进行导轨承载力和刚度的仿真,并结合实验进行验证仿真分析。考虑到两个音圈电机驱动时的机械耦合作用,采用了主令并行交叉耦合控制算法,来对升降平台进行精密控制。最后对升降平台的定位精度、俯仰误差、偏摆误差、直线度进行了性能测试,证明了该升降平台具备了精密加工与精密测量的能力。; 关键词升降平台气体静压导轨多孔质石墨刚度交叉耦合; Keywords lifting platform aerostatic guideway porous graphite stiffness cross-coupling; 分类号 TH165 [机械工程—机械制造及自动化] TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大行程纳米级定位工作台的结构设计被引量：9: 6; 作者陈琦; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1065-1071,共7页; 基金国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61227901); 文摘考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以提高其定位精度。采用摩擦驱动和压电陶瓷微位移机构组合的方式构成宏、微进给机构,由闭式气体静压导轨带动工作台实现沿X、Y两个方向的光栅分度与扫描运动。优化设计了摩擦驱动机构和气体静压导轨结构,并对工作台整体结构固有频率进行了有限元分析。使用自准直仪检测了导轨在X、Y方向的直线性,结果显示其两方向偏航和俯仰精度均在±0.04μm以内。使用激光干涉仪检测了导轨在X方向的定位精度和定位噪声,结果表明,对X向行程为220mm、Y向行程为300mm的工作台,其X方向的定位精度优于±5nm,定位稳定性可达±25nm。得到的结果满足扫描干涉场曝光系统工作台纳米级定位精度的要求。; 关键词扫描干涉光刻系统高精度工作台气体静压导轨摩擦驱动纳米级定位; Keywords scanning interference lithographic system high-precision stage gas hydrostatic guideway friction drive nanometer positioning; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气膜介电常数与供气压力的相关性实验研究被引量：1: 7; 作者李敏张玉冰李东升; 机构中国计量学院; 出处《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2013年第4期114-117,共4页; 文摘基于电容法测量气体静压导轨气膜厚度的原理,进行供气压力与气膜介电常数相关性的研究。实验结果表明,环境条件不变的情况下,供气压力范围在0.1～0.48MPa之间,气膜介电常数与供气压力呈显著负相关并符合4阶多项式关系,拟合决定系数R2均大于0.94,该结果为气体静压导轨气膜精准电容模型的建立提供了依据。; 关键词气体静压导轨电容法气膜厚度供气压力介电常数; Keywords aerostatic bearing capacitance air-film thickness atmospheric pressure supplied permittivity; 分类号 TH133.36 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	小孔节流气体静压导轨静态特性优化设计	张新疆龚维纬崔海龙夏欢郑越青	《机床与液压》北大核心	2021	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	气体静压导轨气膜厚度的电容式测试方法	张雯李东升禹静尹健龙	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2012	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于流固耦合的气体静压导轨侧向静态特性分析	姚建华尹自强杨义军柴宁	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2023	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	全气体静压环形抛光机床的研制及应用	张楚鹏孙家政梅子进农志宇陈肖	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	音圈电机直驱气浮升降平台的设计及其性能测试	谢靖尹自强曾俊詹金章	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	大行程纳米级定位工作台的结构设计	陈琦	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	9	在线阅读下载PDF 职称材料
7	气膜介电常数与供气压力的相关性实验研究	李敏张玉冰李东升	《现代制造工程》 CSCD 北大核心	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料