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气体质量流量计的校准研究 被引量:5
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作者 赵澜 张涤新 +2 位作者 冯焱 成永军 卢耀文 《液压与气动》 北大核心 2009年第11期66-68,共3页
介绍了气体质量流量计的校准方法、校准装置。对气体质量流量计的计量特性进行了研究,考虑到质量流量计重复性、线性引起的不确定度以及校准装置的标准不确定度得到了质量流量计修正因子测量不确定度的评定。在校准过程中发现气体质量... 介绍了气体质量流量计的校准方法、校准装置。对气体质量流量计的计量特性进行了研究,考虑到质量流量计重复性、线性引起的不确定度以及校准装置的标准不确定度得到了质量流量计修正因子测量不确定度的评定。在校准过程中发现气体质量流量计具有较好的重复性及线性,可用于全量程范围内精确测量和控制流量。 展开更多
关键词 气体质量流量计 校准方法 校准装置 测量不确定度
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数字化气体质量流量计及在材料生长中的应用 被引量:1
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作者 胡立群 《电子测量技术》 2009年第7期155-159,共5页
数字化气体质量流量计采用RS-485通讯方式与主控制器连接;流量计的各项功能设置以及检测用数字化的方式完成。相对于模拟接口的质量流量计而言,采用具有数字化接口的流量计组织一个应用网络更为方便,控制更为可靠。本文以Brooks SLA7850... 数字化气体质量流量计采用RS-485通讯方式与主控制器连接;流量计的各项功能设置以及检测用数字化的方式完成。相对于模拟接口的质量流量计而言,采用具有数字化接口的流量计组织一个应用网络更为方便,控制更为可靠。本文以Brooks SLA7850S数字质量流量计为例,介绍了有关的通讯协议以及在半导体材料生长中的应用。 展开更多
关键词 数字化气体质量流量计 RS-485 控制
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热式气体质量流量计动态响应的优化 被引量:3
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作者 刘家旭 徐英 +1 位作者 张涛 王念榕 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第4期489-495,共7页
针对热式气体质量流量计测量过程中动态响应时间过长的问题,重点研究了在流量发生变化时探头及附近气体的传热机理,得出了响应过程中的时间常数随质量流量变化的规律,总结出了时间常数的数学模型。将时间常数随质量流量变化的规律与流... 针对热式气体质量流量计测量过程中动态响应时间过长的问题,重点研究了在流量发生变化时探头及附近气体的传热机理,得出了响应过程中的时间常数随质量流量变化的规律,总结出了时间常数的数学模型。将时间常数随质量流量变化的规律与流量计实时的测量值进行迭代,在热式测量流量值稳定之前,提前预测出稳态时的质量流量。通过实验证实了上述模型和方法,提前预测出稳态时的流量,在质量流量在55 kg/h~287 kg/h范围内,能够使响应时间缩短了80%~90%。 展开更多
关键词 热式气体质量流量计 测量 响应时间 预测 误差分析
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不同热源分布对热式气体质量流量计毛细管温差分布的影响
4
作者 赵盛炜 郑纯 +2 位作者 张焕好 陈志华 李洪波 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第S01期11-17,共7页
该文根据热式气体质量流量计的工作原理,通过建立传热方程,对流量计毛细管不同热源模型条件下的流量与温度分布变化开展仿真研究。基于单热源、双热源与四热源加热方式,对热式气体质量流量计的传感器布置方式进行设计与仿真,得到了不同... 该文根据热式气体质量流量计的工作原理,通过建立传热方程,对流量计毛细管不同热源模型条件下的流量与温度分布变化开展仿真研究。基于单热源、双热源与四热源加热方式,对热式气体质量流量计的传感器布置方式进行设计与仿真,得到了不同布置方式带来的温差分布影响,分析了影响热式气体质量流量计的主要因素及变化规律。 展开更多
关键词 气体质量流量计 传热方程 传感器布置方式 灵敏度
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热式气体质量流量计在鼓风曝气系统中的应用
5
作者 季庆芬 陈宏燕 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第6期53-54,共2页
关键词 热式气体质量流量计 鼓风曝气系统 工作原理 安装 污水处理
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气体组分变化对热式质量流量计测量精度的影响 被引量:12
6
作者 刘家旭 徐英 +1 位作者 张涛 王念榕 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期32-38,共7页
混合气体组分变化会造成其物性参数变化,进而对热式气体质量流量计测量精度产生影响。结合混合气体物性参数计算与误差传递理论对气体组分变化或组分设定不准确时流量测量精度的影响进行了研究与分析,给出了由物性参数变化引起质量流量... 混合气体组分变化会造成其物性参数变化,进而对热式气体质量流量计测量精度产生影响。结合混合气体物性参数计算与误差传递理论对气体组分变化或组分设定不准确时流量测量精度的影响进行了研究与分析,给出了由物性参数变化引起质量流量误差的定量计算公式。以最常见的混合气体——空气为例进行了实例计算,并采用热式气体质量流量计在气体流量标准装置上进行实流测试,在300~3 000 kg/h流量范围内,空气组分设定变化1%、5%、10%时对热式流量测量依次产生0.56%、3.19%、4.94%的误差,与定量计算公式得到的结果相比具有很好的一致性,且在组分变化较大时,由组分变化造成对质量流量的误差不可忽略,并找到了组分变化不可忽略的临界值约为3%~5%,为实际应用提供参考。 展开更多
关键词 热式气体质量流量计 物性参数 传热 混合气体 误差分析
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