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小型腔式微波离子源的表面波放电模型
1
作者
施立群
冯慧云
+2 位作者
杨安葆
彭士香
余增亮
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期23-30,共8页
研究了小型腔式微波离子源的表面波放电模型。当考虑了放电管几何参量及放电参量（如压强、气体流量、微波频率等）的影响时，对低气压下的等离子体柱轴向密度分布曲线和色散特性进行了较为系统的理论描述。数值计算结果发现，放电管参...
研究了小型腔式微波离子源的表面波放电模型。当考虑了放电管几何参量及放电参量（如压强、气体流量、微波频率等）的影响时，对低气压下的等离子体柱轴向密度分布曲线和色散特性进行了较为系统的理论描述。数值计算结果发现，放电管参数γ＝１＋ｄ／Ｒ（ｄ为管厚，Ｒ为等离子体柱半径）、介电常数εｄ和气体流量及方向对密度分布曲线影响十分显著。ＡＳｏｌａ及ＳＤｖｌａｕｄ测得的表面波产生等离子体柱轴向密度分布与计算结果一致。用该理论模型预测了这种表面波离子源的放电结果。
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关键词
气体放电模型
表面波
等离子体
微波离子源
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职称材料
题名
小型腔式微波离子源的表面波放电模型
1
作者
施立群
冯慧云
杨安葆
彭士香
余增亮
机构
中国科学院等离子体物理研究所
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期23-30,共8页
文摘
研究了小型腔式微波离子源的表面波放电模型。当考虑了放电管几何参量及放电参量（如压强、气体流量、微波频率等）的影响时，对低气压下的等离子体柱轴向密度分布曲线和色散特性进行了较为系统的理论描述。数值计算结果发现，放电管参数γ＝１＋ｄ／Ｒ（ｄ为管厚，Ｒ为等离子体柱半径）、介电常数εｄ和气体流量及方向对密度分布曲线影响十分显著。ＡＳｏｌａ及ＳＤｖｌａｕｄ测得的表面波产生等离子体柱轴向密度分布与计算结果一致。用该理论模型预测了这种表面波离子源的放电结果。
关键词
气体放电模型
表面波
等离子体
微波离子源
Keywords
Gas discharge Surface wave Axial electron density
分类号
TL612.4 [核科学技术—核技术及应用]
O53 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
小型腔式微波离子源的表面波放电模型
施立群
冯慧云
杨安葆
彭士香
余增亮
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
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