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题名自吸式气体支承静特性的研究
被引量：2
- 1
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作者
潘晋
徐丰仁
沈钊
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机构
清华大学精密仪器系
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出处
《电子工业专用设备》
1990年第2期31-34,39,共5页
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文摘
绪 言 气体静压支承采用 粘度较小的气体作为润 滑剂,具有以下几方面 的特点:(1)摩擦阻 力小,运动速度快; (2)运转平滑、精度高, 低速运动无爬行;(3)耐高、低温性能好,适应环境能力强;(4)正常工作时,磨损小、寿命长;(5)清洁度高。且气体可由支承排入大气。
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关键词
电子束曝光机
气体支承
自吸式
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分类号
TN405.985
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名自吸式气体支承动特性的分析
被引量：1
- 2
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作者
潘晋
徐丰仁
沈钊
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机构
清华大学精仪系
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出处
《电子工业专用设备》
1992年第1期30-34,共5页
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文摘
自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到了成功的应用。作者在文献中曾研究了这类支承的静态特性,本文的目的在于导出支承动特性的分析方法,从而为气体静压支承的设计提供依据。
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关键词
自吸式
气体支承
工作台
集成电路
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名指纹摩擦特性测试系统的气体静压支承装置
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作者
娄万军
康剑莉
周银生
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机构
吉林交通职业技术学院机械工程系
浙江大学机械工程系
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出处
《长春工业大学学报》
CAS
2004年第4期17-20,共4页
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文摘
为研究指纹摩擦特性,设计出一种新型摩擦特性测试试验台。该试验台利用气体作为润滑剂,运用有关润滑原理和气体运动方程,分析其工作原理以及重要部件气体静压支承装置的设计计算方法。实现了借助简单装置测量微小摩擦力的目的,为研究微小摩擦特性问题提供了方便。
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关键词
指纹摩擦特性
气体静压支承
测试实验台
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Keywords
friction characteristics of fingers
gas bearing
test-bed.
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分类号
TB302.3
[一般工业技术—材料科学与工程]
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