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基于石墨烯的集成化气体传感单元设计
被引量：
1
1
作者
吴超
王峥
+3 位作者
庞振江
李良
孙海全
王海宝
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第10期73-76,共4页
针对目前气体传感器敏感对象单一化的问题,利用新型二维纳米薄膜材料石墨烯,设计了一种集成化的多功能气敏传感单元,提出了一整套制造石墨烯气敏传感单元的工艺方案。敏感单元分为4个模块,利用同一片经过不同处理的石墨烯薄膜实现对三...
针对目前气体传感器敏感对象单一化的问题,利用新型二维纳米薄膜材料石墨烯,设计了一种集成化的多功能气敏传感单元,提出了一整套制造石墨烯气敏传感单元的工艺方案。敏感单元分为4个模块,利用同一片经过不同处理的石墨烯薄膜实现对三种不同气体的检测。NH 3检测模块核心敏感薄膜为氧化石墨烯,H 2检测模块核心敏感薄膜为钯掺杂石墨烯薄膜,NO 2检测模块核心敏感薄膜为氧化锌(Z nO)掺杂石墨烯薄膜。基于微机电系统(MEMS)工艺和石墨烯薄膜转移工艺可将上述3个气敏模块集成于一块芯片,实现一种新型集成化石墨烯气敏传感单元。
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关键词
石墨烯
气体传感单元
集成化
多功能
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职称材料
题名
基于石墨烯的集成化气体传感单元设计
被引量：
1
1
作者
吴超
王峥
庞振江
李良
孙海全
王海宝
机构
北京智芯微电子科技有限公司
北京智芯微电子科技有限公司
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第10期73-76,共4页
基金
国网信通产业集团自筹科技项目(52680016005Z)。
文摘
针对目前气体传感器敏感对象单一化的问题,利用新型二维纳米薄膜材料石墨烯,设计了一种集成化的多功能气敏传感单元,提出了一整套制造石墨烯气敏传感单元的工艺方案。敏感单元分为4个模块,利用同一片经过不同处理的石墨烯薄膜实现对三种不同气体的检测。NH 3检测模块核心敏感薄膜为氧化石墨烯,H 2检测模块核心敏感薄膜为钯掺杂石墨烯薄膜,NO 2检测模块核心敏感薄膜为氧化锌(Z nO)掺杂石墨烯薄膜。基于微机电系统(MEMS)工艺和石墨烯薄膜转移工艺可将上述3个气敏模块集成于一块芯片,实现一种新型集成化石墨烯气敏传感单元。
关键词
石墨烯
气体传感单元
集成化
多功能
Keywords
graphene
gas sensing element
integrated
multifunction
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基于石墨烯的集成化气体传感单元设计
吴超
王峥
庞振江
李良
孙海全
王海宝
《传感器与微系统》
CSCD
2020
1
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