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题名毫米波腔体滤波器谐振腔平整度误差研究
被引量：3
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作者
南雪莉
张斌珍
赵龙
徐苏坪
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机构
中北大学电子测试技术重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期341-344,共4页
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基金
国家自然基金资助项目(51475438)
国家自然基金资助项目(61401405)
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文摘
平整度误差引起的寄生量变化对毫米波滤波器的自谐振频率及品质因数有重大影响,为获得低插损、高品质因数的滤波器结构,针对滤波器制作中存在的平整度误差,该文开展了一系列的研究。通过对基于SU-8胶的毫米波腔体滤波器电铸工艺实验的反复探索,制定出一套能减小毫米波滤波器谐振腔平整度误差的最优电铸方案,即利用脉冲小电流进行电铸。实验结果表明,利用50mA小电流密度电铸能快速获得平整致密高质量的滤波器谐振腔,其铸层表面平整度误差小于2μm;制作精度高,且能实现快速制作。可见,小电流脉冲电铸得到的铸层平整、致密,可有效减小毫米波滤波器的寄生效应,提高系统的精度及灵敏度。
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关键词
毫米波腔体滤波器
谐振腔平整度
电铸铜
脉冲电铸
小电流
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Keywords
millimeter wave cavity filter
resonantcavity flatness
electroforming copper
pulse electroforming
low current
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分类号
TN385
[电子电信—物理电子学]
TQ153
[化学工程—电化学工业]
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