毛细管放电X光激光装置中的预脉冲电源 被引量：2

1

作者 赵永蓬 杨大为 +1 位作者 刘鹏 王骐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期339-342,共4页

　针对目前毛细管放电X光激光装置产生的预脉冲电流幅值过大、持续时间较短的问题,提出了增加预脉冲开关抑制原有预脉冲,再外加由脉冲成形网络组成的预脉冲发生器,产生所需预脉冲的改造方案。可在主脉冲来临之前产生幅度10～50A,持续时... 　针对目前毛细管放电X光激光装置产生的预脉冲电流幅值过大、持续时间较短的问题,提出了增加预脉冲开关抑制原有预脉冲,再外加由脉冲成形网络组成的预脉冲发生器,产生所需预脉冲的改造方案。可在主脉冲来临之前产生幅度10～50A,持续时间约17μs的方波预脉冲电流,来满足毛细管放电泵浦类氖氩X光激光实验的需要。 展开更多

关键词 毛细管放电X光激光装置 预脉冲电源 预脉冲开关 脉冲成形网络 预脉冲发生器 预脉冲电流

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毛细管放电型脉冲等离子体推力器输出特性分析 被引量：2

2

作者 王亚楠 葛崇剑 +2 位作者 程乐 丁卫东 耿金越 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期149-156,共8页

为了研究毛细管放电型脉冲等离子体推力器输出特性,借助电学诊断手段展开实验研究,获得了推力器典型放电波形,系统研究了不同毛细管内径和施加电压对等离子体等效阻抗、沉积能量效率的影响规律。利用微冲量测量台架,测试了不同参数下毛... 为了研究毛细管放电型脉冲等离子体推力器输出特性,借助电学诊断手段展开实验研究,获得了推力器典型放电波形,系统研究了不同毛细管内径和施加电压对等离子体等效阻抗、沉积能量效率的影响规律。利用微冲量测量台架,测试了不同参数下毛细管推力器输出元冲量,并通过计算获得了推力器比冲、总体效率的变化规律。实验结果表明,当毛细管内径不断增大时,能量沉积效率不断下降,元冲量下降,比冲降低。主电容电压增大时,放电能量不断增大,能量沉积效率降低,元冲量和单次等效烧蚀质量不断增大,但推力器比冲和总体效率均先增加并趋于稳定。当毛细管腔体长度为16mm,内径3mm,主电容2.5μF,充电电压为2kV时,输出元冲量350.79±7.50μN·s,比冲531s,总体效率可达18.3%。 展开更多

关键词 毛细管放电 脉冲等离子体推力器 电推进系统 元冲量 效率

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毛细管放电X射线激光研究进展 被引量：2

3

作者 刘鹏 王骐 李思宁 《激光技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期178-183,共6页

近年来 ,毛细管放电X射线激光研究工作十分活跃 ,为短波长激光的研究带来一种全新的概念。较为详尽地总结了这一领域所取得的主要进展 ,并说明今后发展要注意的问题。

关键词 毛细管放电 电子碰撞 X射线激光

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毛细管放电类氖氩X光激光中的准稳态增益 被引量：3

4

作者 郑无敌 彭惠民 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期1-5,共5页

利用与全时间相关速率方程组相耦合的一维辐射磁流体力学程序 ,对类氖氩毛细管放电产生 X光激光全过程进行了数值模拟 ,并根据模拟结果 ,深入细致地分析了产生 4 6 .9nm激光线的增益过程 ,指出其较高的增益来自类 Ne离子的高布居和电子... 利用与全时间相关速率方程组相耦合的一维辐射磁流体力学程序 ,对类氖氩毛细管放电产生 X光激光全过程进行了数值模拟 ,并根据模拟结果 ,深入细致地分析了产生 4 6 .9nm激光线的增益过程 ,指出其较高的增益来自类 Ne离子的高布居和电子温度密度瞬变 ,这与稳态时的低增益情况很不一样 ,通过原子动力学层次的分析 。 展开更多

关键词 毛细管放电 类氖氩X射线激光 准稳态增益 原子动力学分析

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毛细管放电复合X光激光机制的理论研究 被引量：1

5

作者 蓝可 张毓泉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期418-422,共5页

以毛细管放电泵浦产生的 Ｃ 等离子体中，复合机制产生类 Ｈ Ｃ 离子 ３ｄ５／２ －２ｐ３／２跃迁激光线为例，研究毛细管放电复合 Ｘ 光激光中的物理机制。提出在 Ｃ 气中掺入适量的惰气来抑制等离子体被压得过细以至密度过高；... 以毛细管放电泵浦产生的 Ｃ 等离子体中，复合机制产生类 Ｈ Ｃ 离子 ３ｄ５／２ －２ｐ３／２跃迁激光线为例，研究毛细管放电复合 Ｘ 光激光中的物理机制。提出在 Ｃ 气中掺入适量的惰气来抑制等离子体被压得过细以至密度过高；在设计实验方案时，应该使等离子体在电流峰值之后进入膨胀冷却阶段；还要适当降低毛细管中等离子体初始密度以增大毛细管半径，使工艺上更容易实现。 展开更多

关键词 毛细管放电 复合X光激光 机制

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初始充气密度对毛细管放电泵浦的软X射线激光的影响

6

作者 彭惠民 郑无敌 +3 位作者 赵永蓬 程元丽 杨大为 王骐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1441-1444,共4页

利用哈尔滨工业大学的毛细管放电装置的放电参数,对放电过程中毛细管内初始氩气密度的变化对等离子体状态和类氖氩离子3p-3s跃迁线的增益系统的影响进行了全过程的理论模拟计算.给出了毛细管放电中等离子体状态和增益系数的空间分布的... 利用哈尔滨工业大学的毛细管放电装置的放电参数,对放电过程中毛细管内初始氩气密度的变化对等离子体状态和类氖氩离子3p-3s跃迁线的增益系统的影响进行了全过程的理论模拟计算.给出了毛细管放电中等离子体状态和增益系数的空间分布的时间演变过程.理论计算表明能够出现增益的密度范围比较宽,这对于实验是有利的.现有放电参数下,选取初始氩气密度在气压为40～80 Pa情况对获取好的实现结果是比较理想的. 展开更多

关键词 初始密度 毛细管放电 等离子体状态 增益系数

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放电参数对毛细管放电泵浦的软X射线激光的影响

7

作者 彭惠民 郑无敌 +3 位作者 杨大为 赵永蓬 程元丽 王骐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期537-542,共6页

以哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家重点实验室中的Marx发生器的放电脉冲波形为基础,理论上模拟计算了在不同放电参数下充氩气的毛细管放电产生的等离子体状态和类氖氩离子3p-3s跃迁线的增益系数的时空演变过程.中心模型中,选取内径为3... 以哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家重点实验室中的Marx发生器的放电脉冲波形为基础,理论上模拟计算了在不同放电参数下充氩气的毛细管放电产生的等离子体状态和类氖氩离子3p-3s跃迁线的增益系数的时空演变过程.中心模型中,选取内径为3.1 mm的陶瓷毛细管并充入初始密度为1.07×10-6g·cm-3的氩气,电流脉冲峰值为27.81 kA,脉冲宽度为61.4 ns.改变放电参数进行模拟,结果表明:上升前沿越陡,则增益系数越大,电流脉冲上升时间在20～40 ns,电流峰值在25～40 kA,电流脉冲宽度在50～70 ns范围内,毛细管放电产生的等离子体状态比较理想,可获得较高的增益系数. 展开更多

关键词 毛细管放电 上升时间 电流脉冲峰值 脉冲宽度 软X射线激光

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毛细管放电软X光激光装置固有预脉冲的消除

8

作者 栾伯晗 王骐 +2 位作者 赵永蓬 程元丽 李岩 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期106-109,共4页

本文对毛细管放电产生类氖氩46.9nm激光进行了实验研究。实验中发现毛细管放电装置中布鲁姆林(Blumlein)传输线所产生的固有预脉冲对软X光激光的产生及稳定输出都有十分不利的影响。为了消除这种影响,提出了用外加隔离开关和隔离电容的... 本文对毛细管放电产生类氖氩46.9nm激光进行了实验研究。实验中发现毛细管放电装置中布鲁姆林(Blumlein)传输线所产生的固有预脉冲对软X光激光的产生及稳定输出都有十分不利的影响。为了消除这种影响,提出了用外加隔离开关和隔离电容的方法消除固有预脉冲。经过实验验证,确定了隔离开关和隔离电容的最佳位置。结果该方法能够有效隔离固有预脉冲,使整个放电装置达到稳定运行。在此基础上,得到并改善了毛细管放电类氖氩46.9nm激光输出。 展开更多

关键词 X射线激光 软X光激光 毛细管放电 布鲁姆林(Blumlein)传输线 固有预脉冲

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台式毛细管放电X光激光装置调试实验

9

作者 刘鹏 王骐 杨大为 《激光技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期41-43,共3页

对自行研制的台式毛细管放电X光激光装置进行了系统调试 ,在充氩气毛细管负载下 ,输出电流 38kA ,电流脉冲前沿 4 0ns ,并对有关问题进行了讨论。

关键词 毛细管放电 等离子体 X光激光 Blumlein线 调试 台式

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毛细管放电类氖氩46.9nm软X光激光谱线的分辨 被引量：1

10

作者 张兴强 王骐 《湖北汽车工业学院学报》 2011年第2期53-56,共4页

毛细管放电46.9 nm软X光激光以高温高密度氩等离子体作为激光增益介质,在46.9 nm激光谱线附近会出现大量的背景光谱,这对于进一步研究激光及其应用极为不利。本文实验研究了不同气压下毛细管放电输出激光的情况,发现低气压下适于产生激... 毛细管放电46.9 nm软X光激光以高温高密度氩等离子体作为激光增益介质,在46.9 nm激光谱线附近会出现大量的背景光谱,这对于进一步研究激光及其应用极为不利。本文实验研究了不同气压下毛细管放电输出激光的情况,发现低气压下适于产生激光的氩气气压为38 Pa,此时激光信号最大。随着气压的增加,激光信号减小。当气压达到65 Pa时,激光信号完全消失。由于气压相差不多,2种情况下的背景光基本相同,可作为分辨激光谱线时的参考光。利用平焦场光栅谱仪并采用胶片测谱法,分别用胶片记录38 Pa和65 Pa氩气的激光谱线。对比曝光并冲洗后的胶片可找到46.9 nm谱线的大致位置。用黑度扫描仪对冲洗后的胶片进行扫描,再与He+和Ar8+的标准定标谱线比较,经过对谱线的相对位置和强度的分析,最终分辨出46.9 nm软X光激光谱线。 展开更多

关键词 激光技术 毛细管放电 软X光激光 激光光谱

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毛细管放电EUVL光源演示装置 被引量：1

11

作者 张兴强 王骐 《湖北汽车工业学院学报》 2010年第2期46-50,共5页

极紫外光刻(EUVL)技术能突破30 nm技术节点、可应用于大规模工业生产,是下一代光刻技术的核心之一。极紫外(EUV)光源是EUVL的源头,寻找可满足EUVL的合适光源是解决问题的关键,世界上许多发达国家都在积极探索EUVL光源的研究。属于4种气... 极紫外光刻(EUVL)技术能突破30 nm技术节点、可应用于大规模工业生产,是下一代光刻技术的核心之一。极紫外(EUV)光源是EUVL的源头,寻找可满足EUVL的合适光源是解决问题的关键,世界上许多发达国家都在积极探索EUVL光源的研究。属于4种气体放电方式之一的毛细管放电具有较高的能量转换效率,将毛细管放电装置应用于EUV光源研究存在很多优势。基于国家长期发展战略的需要和紧跟世界科技前沿的策略,我国建立了国内首台毛细管放电EUVL光源演示装置。经放电试验和测谱分析,装置可满足EUVL光源研究的需要。 展开更多

关键词 极紫外光源 极紫外光刻 毛细管放电

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毛细管放电X光激光中的预脉冲研究

12

作者 郑无敌 彭惠民 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1545-1548,共4页

　为研究毛细管放电X光激光中预脉冲放电对增益的影响,用简化的XDCH程序,模拟计算了聚乙烯毛细管充Ar气、2μs脉宽的预脉冲放电过程,把预放电之后的等离子体温度、密度和电离度作为初始条件,输入XDCH程序,进行40kA典型主脉冲放电的计算... 　为研究毛细管放电X光激光中预脉冲放电对增益的影响,用简化的XDCH程序,模拟计算了聚乙烯毛细管充Ar气、2μs脉宽的预脉冲放电过程,把预放电之后的等离子体温度、密度和电离度作为初始条件,输入XDCH程序,进行40kA典型主脉冲放电的计算模拟,给出了一些典型预放电幅度下的增益和电子密度分布情况。比较分析的结果发现,对2μs脉宽的预脉冲,100A的电流将得到较好的增益,并且预言激光线时间谱可能出现双峰结构,空间谱会出现环状结构。 展开更多

关键词 毛细管放电 类Ne氩X光激光 预脉冲 增益系数

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毛细管放电软X射线激光传播的解析研究

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作者 张新陆 王骐 程元丽 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期392-393,397,共3页

对于电子密度和增益为抛物线分布的等离子体 ,在几何光学的近似下 ,通过简化模型研究了毛细管放电X射线在柱状长等离子体柱中的传播与增益过程 ,并给出了抛物线近似下X射线激光的输出光强随偏转角的变化关系及偏离轴向的折射角和折射长度。

关键词 毛细管放电 X射线激光 几何光学 等离子体 传播 增益

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不同气压下毛细管放电三束等离子体发光功率

14

作者 张彧熙 蔡青 张兴强 《湖北汽车工业学院学报》 2023年第3期73-77,共5页

在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压... 在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压下的光谱吸收和光学屏蔽极大削弱了极紫外光的输出能量,导致毛细管放电三束等离子体的发光功率随氮气气压的变化表现出特有的规律;与毛细管放电单束等离子体相比,极大输出对应的最佳气压明显提高。 展开更多

关键词 极紫外光刻光源 毛细管放电 三束等离子体 发光功率

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激励软X光激光的毛细管预-主脉冲放电装置 被引量：3

15

作者 赵永蓬 程元丽 +1 位作者 王骐 杨大为 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期733-736,共4页

介绍了主脉冲和预脉冲的产生电路、预 主脉冲延时触发的方案以及对预 主脉冲的联调结果。毛细管放电X光激光装置经改造后 ,抑制了原有电流幅值过大的预脉冲 ,外加预脉冲发生器可以提供幅值几十A的预脉冲。预 主脉冲的联调结果表明 ,... 介绍了主脉冲和预脉冲的产生电路、预 主脉冲延时触发的方案以及对预 主脉冲的联调结果。毛细管放电X光激光装置经改造后 ,抑制了原有电流幅值过大的预脉冲 ,外加预脉冲发生器可以提供幅值几十A的预脉冲。预 主脉冲的联调结果表明 ,预脉冲的电流为 2 0A ,主脉冲的第一个峰的峰值电流为 4 0 .1kA ,前沿为 2 6 .6ns ,脉宽 38ns,预 主脉冲之间的触发延时在 3～ 5 0 展开更多

关键词 毛细管放电 软X光激光 预脉冲 主脉冲

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用于电热化学炮的放电毛细管烧蚀模型研究 被引量：3

16

作者 张玉成 严文荣 +1 位作者 张江波 李强 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期57-60,共4页

为研究毛细管的烧蚀质量参数进而指导点火系统设计,对电热化学发射中等离子体点火用聚乙烯放电毛细管的烧蚀过程进行了理论研究。用电弧等离子体磁流体动力学仿真模型中的烧蚀焓方法,计算了一个典型放电周期过程中烧蚀率的时间分布。辐... 为研究毛细管的烧蚀质量参数进而指导点火系统设计,对电热化学发射中等离子体点火用聚乙烯放电毛细管的烧蚀过程进行了理论研究。用电弧等离子体磁流体动力学仿真模型中的烧蚀焓方法,计算了一个典型放电周期过程中烧蚀率的时间分布。辐射能的计算分别采用灰体辐射模型与净辐射系数模型,对烧蚀过程的影响进行了对比分析。结果表明,等离子体的温度对管壁的烧蚀率有较大影响;在相同输入参数计算条件下,两种模型计算结果存在较大差异;灰体辐射模型理论计算结果与实验值接近。净辐射系数法适用于大管径放电情况,在小管径情况下则会低估烧蚀结果。 展开更多

关键词 物理化学 电热化学炮 等离子体点火 毛细管放电 烧蚀过程 辐射模型

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两间隙毛细管等离子体射流发生器主放电数值模拟 被引量：3

17

作者 夏胜国 刘克富 何俊佳 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期989-993,共5页

消融放电毛细管等离子体发生器产生的等离子体射流具有密度高和温度相对低的特性,在许多领域都具有潜在的应用前景。利用1维流体模型对两间隙毛细管等离子体射流发生器的主放电特性进行了模拟计算分析。模型考虑了焦耳热效应和管壁烧蚀... 消融放电毛细管等离子体发生器产生的等离子体射流具有密度高和温度相对低的特性,在许多领域都具有潜在的应用前景。利用1维流体模型对两间隙毛细管等离子体射流发生器的主放电特性进行了模拟计算分析。模型考虑了焦耳热效应和管壁烧蚀对放电特性的影响。在管壁消融这种反馈稳定机制作用下,毛细管放电处于准稳态,其产生的等离子体温度在放电期间保持恒定。在放电能量为1 kJ的条件下,聚乙烯毛细管等离子体温度可达3 eV,电子密度可达1025m-3量级,射流速度接近10 km/s。改变放电输入的焦耳热功率密度,等离子体温度和速度变化较小,但气压、质量密度以及等离子体电子密度等特性参数均可以获得较大幅度的改变。 展开更多

关键词 毛细管放电 消融控制电弧 等离子体发生器 等离子体射流 数值模拟

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毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响

18

作者 徐强 赵永蓬 +2 位作者 李小强 李琦 王骐 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第9期2873-2877,共5页

极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极... 极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。 展开更多

关键词 毛细管放电 极紫外光刻光源 Xe等离子体 13.5nm辐射 Z箍缩

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毛细管快放电激励X光激光实验设计

19

作者 李思宁 刘鹏 +1 位作者 王骐 杨大为 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期101-104,共4页

近年来 ,有关利用毛细管放电激励产生X光激光的研究十分活跃 ,国际上已经取得了许多显著的成果 ,并且正向实现实用化Table topLaser发展。作者首先介绍了毛细管放电激励X光方案的原理及国内外的重要进展 ,在对两种典型机制的分析的同时 。

关键词 毛细管放电 X光激光 激励 实验设计

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等离子体尺寸对放电极紫外光源影响 被引量：4

20

作者 赵永蓬 徐强 +1 位作者 李琦 王骐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2631-2635,共5页

计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2... 计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2％带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3～6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。 展开更多

关键词 极紫外光刻光源 毛细管放电 Xe等离子体 13 5 nm辐射 Z箍缩

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