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空间行波管排气过程中残余气体的质谱分析
被引量：
1
1
作者
刘晋允
赵世柯
梁文龙
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期829-833,共5页
电真空器件内残余气体直接影响其阴极的发射能力与寿命。本文利用高灵敏度四极质谱仪监测了空间行波管在整个排气过程中的残余气体,对各阶段气体成分及含量进行了分析。结果表明:烘烤前,水为主要气体,占80%。前期擦拭用无水乙醇易污染...
电真空器件内残余气体直接影响其阴极的发射能力与寿命。本文利用高灵敏度四极质谱仪监测了空间行波管在整个排气过程中的残余气体,对各阶段气体成分及含量进行了分析。结果表明:烘烤前,水为主要气体,占80%。前期擦拭用无水乙醇易污染真空系统;升温过程中氢迅速增多,当烘烤温度达到220℃时,H_2成为系统中主要气体;整个烘排过程H_2的分压小于10-3Pa,其余气体分压均小于10^(-4)Pa;烘烤结束后,H_2分压为2. 4×10^(-8)Pa,占74%。H_2O分压为6×10-9Pa,占20%;离子泵与吸气剂泵组可有效抽除残余气体,且对H_2的抽速高于对其他气体抽速;另外,质谱仪自身会放出H_2、H_2O、CH_4、CO_2等气体,在真空系统压力达到10-9Pa范围时,质谱仪自身放气已不可忽略。
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关键词
电真空器件
空间行波管
四极质
谱
仪
残余气体谱
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职称材料
Ⅲ族氮化物光电阴极原位程序升温脱附（英文）
2
作者
成伟
石峰
+2 位作者
杨书宁
周玉鉴
任彬
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第10期211-217,共7页
建立了理论热脱附和原位程序升温脱附方法研究Ⅲ族氮化物光电阴极部件的热除气过程。基于Malev吸附-扩散除气理论搭建了光电阴极的平板模型,利用Fick第一和第二定理计算得到了除气过程中样品吸附气体浓度、瞬时除气速率以及总的气体脱...
建立了理论热脱附和原位程序升温脱附方法研究Ⅲ族氮化物光电阴极部件的热除气过程。基于Malev吸附-扩散除气理论搭建了光电阴极的平板模型,利用Fick第一和第二定理计算得到了除气过程中样品吸附气体浓度、瞬时除气速率以及总的气体脱附量随时间变化的表达式。为便于直观研究,通过截取四阶近似给出不同扩散系数量级下的以上参量随时间的变化曲线。在Ⅲ族氮化物光电阴极TPD动态法实验中,研究并分析了光电阴极部件在不同恒温除气阶段的残余气体谱图,由此得出进入真空中的脱附气体种类。采用最小二乘法拟合得到:恒温1 000 K的条件下,N2的扩散系数为5×10-5cm2/s。通过理论分析结合TPD实验,Ⅲ族氮化物光电阴极部件热清洗的有效去除污染加热温度得到了有效的评估和验证。
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关键词
Ⅲ族氮化物光电阴极部件
程序升温脱附
残余气体谱
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职称材料
题名
空间行波管排气过程中残余气体的质谱分析
被引量：
1
1
作者
刘晋允
赵世柯
梁文龙
机构
中国电子科技集团公司第十二研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期829-833,共5页
文摘
电真空器件内残余气体直接影响其阴极的发射能力与寿命。本文利用高灵敏度四极质谱仪监测了空间行波管在整个排气过程中的残余气体,对各阶段气体成分及含量进行了分析。结果表明:烘烤前,水为主要气体,占80%。前期擦拭用无水乙醇易污染真空系统;升温过程中氢迅速增多,当烘烤温度达到220℃时,H_2成为系统中主要气体;整个烘排过程H_2的分压小于10-3Pa,其余气体分压均小于10^(-4)Pa;烘烤结束后,H_2分压为2. 4×10^(-8)Pa,占74%。H_2O分压为6×10-9Pa,占20%;离子泵与吸气剂泵组可有效抽除残余气体,且对H_2的抽速高于对其他气体抽速;另外,质谱仪自身会放出H_2、H_2O、CH_4、CO_2等气体,在真空系统压力达到10-9Pa范围时,质谱仪自身放气已不可忽略。
关键词
电真空器件
空间行波管
四极质
谱
仪
残余气体谱
Keywords
Vacuum electron devices
Space TWTs
Quadrupole mass spectrometer
Residual gas spectrum
分类号
TN108 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Ⅲ族氮化物光电阴极原位程序升温脱附（英文）
2
作者
成伟
石峰
杨书宁
周玉鉴
任彬
机构
微光夜视技术重点实验室
昆明物理研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第10期211-217,共7页
基金
国防预先研究基金(9140C380502150C38002)
文摘
建立了理论热脱附和原位程序升温脱附方法研究Ⅲ族氮化物光电阴极部件的热除气过程。基于Malev吸附-扩散除气理论搭建了光电阴极的平板模型,利用Fick第一和第二定理计算得到了除气过程中样品吸附气体浓度、瞬时除气速率以及总的气体脱附量随时间变化的表达式。为便于直观研究,通过截取四阶近似给出不同扩散系数量级下的以上参量随时间的变化曲线。在Ⅲ族氮化物光电阴极TPD动态法实验中,研究并分析了光电阴极部件在不同恒温除气阶段的残余气体谱图,由此得出进入真空中的脱附气体种类。采用最小二乘法拟合得到:恒温1 000 K的条件下,N2的扩散系数为5×10-5cm2/s。通过理论分析结合TPD实验,Ⅲ族氮化物光电阴极部件热清洗的有效去除污染加热温度得到了有效的评估和验证。
关键词
Ⅲ族氮化物光电阴极部件
程序升温脱附
残余气体谱
Keywords
Ⅲ-nitride photocathode assembly
temperature programmed desorption
residual gas spectrum
分类号
TN216 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
空间行波管排气过程中残余气体的质谱分析
刘晋允
赵世柯
梁文龙
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
Ⅲ族氮化物光电阴极原位程序升温脱附（英文）
成伟
石峰
杨书宁
周玉鉴
任彬
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019
0
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职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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