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具有大行程的步进型压电致动器研究综述 被引量:2
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作者 张韬 马瑞 +3 位作者 王阳 陈玉国 张健 王宇航 《重庆理工大学学报(自然科学)》 北大核心 2023年第9期280-294,共15页
为了克服单个压电元件工作行程有限的不足,学者们提出了各种步进运动原理,并据此设计了各种结构的步进型压电致动器。重点介绍了步进型压电致动器的3种主要类型,即尺蠖型压电致动器、超声型压电致动器和粘滑型压电致动器,分别阐述了这3... 为了克服单个压电元件工作行程有限的不足,学者们提出了各种步进运动原理,并据此设计了各种结构的步进型压电致动器。重点介绍了步进型压电致动器的3种主要类型,即尺蠖型压电致动器、超声型压电致动器和粘滑型压电致动器,分别阐述了这3种压电致动器的运动原理和发展现状,指出了存在的问题与不足。 展开更多
关键词 压电驱动技术 压电致动器 步进式压电驱动 纳米级定位
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